一种电磁式振动能量收集器

    公开(公告)号:CN112886863A

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202110138651.7

    申请日:2021-02-01

    Abstract: 本发明公开了一种电磁式振动能量收集器,包括壳体、上盖、波形弹簧、永磁体、电磁线圈和线圈管,所述壳体的上表面中心处开设螺纹通孔,所述壳体螺纹连接与螺纹通孔相配适的上盖,上盖的下表面外侧开设上安装槽,上安装槽呈环形槽状,上安装槽的顶部通过圆周布置的多个弹簧一连接环形垫板,上盖下表面中心处固定波形弹簧,上盖与波形弹簧的波峰处可拆卸连接,波形弹簧的下部固定永磁体;壳体的底部设有与上安装槽对称设置的下安装槽,下安装槽内环设橡胶垫层,壳体内的中心处垂直安装线圈管,线圈管的上下两端分别安装在上安装槽和下安装槽中,线圈管上缠绕有多匝电磁线圈。整个结构可拆卸,安装、检测方便,波形弹簧方便更换,延长了使用寿命。

    MEMS一氧化碳传感器气敏薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114624293B

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202111149527.7

    申请日:2021-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS一氧化碳传感器气敏薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1:将二氧化锡靶材和金靶材分别安装在磁控溅射仪的不同的磁控溅射靶上,将高纯度的氩气接入磁控溅射仪的进气口,将微加热板放入磁控溅射仪内,调整磁控溅射靶与微加热板之间的溅射距离H;S2:将磁控溅射仪的工作靶材选为二氧化锡靶材,开启磁控溅射仪的总电源,开始抽真空,将真空室的气压调整至5*10‑3Pa以下,设置微加热板的温度为25℃;S3:打开射频溅射电源开始在微加热板表面镀二氧化锡薄膜;S4:镀二氧化锡薄膜结束后,在二氧化锡薄膜表面镀金薄膜;镀金薄膜结束后,得到金修饰的二氧化锡气敏薄膜。利用本发明,能够提高MEMS一氧化碳传感器的响应灵敏度、稳定性,并能够批量化制备MEMS一氧化碳传感器。

    MEMS氧气传感器气敏薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114674881A

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202111149521.X

    申请日:2021-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS氧气传感器气敏薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1:将二氧化钛靶材和金靶材分别安装在磁控溅射仪的不同的磁控溅射靶上,将微加热板放入磁控溅射仪内;S2:将磁控溅射仪的工作靶材选为二氧化钛靶材,开启磁控溅射仪的总电源,启动机械泵并打开截止阀,开始抽真空,设置微加热板的温度为T。S3:打开调压开关,打开进气阀,打开流量计,通入氮气并调节真空室内的气压至0.8Pa‑1.2Pa,打开射频溅射电源开始在微加热板表面镀二氧化钛薄膜。S4:镀二氧化钛薄膜结束后,打开射频溅射电源开始在二氧化钛薄膜表面镀金薄膜;镀金薄膜结束后,得到金修饰的二氧化钛气敏薄膜。利用本发明,能够提高MEMS氧气传感器的响应灵敏度、稳定性,解决批量化制备MEMS氧气传感器技术难题。

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