低温氢气传感元件及其制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116465935A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310449580.1

    申请日:2023-04-24

    Abstract: 本发明公开了一种低温氢气传感元件及其制备方法,包括:检测基板,所述检测基板上涂覆有传感材料,所述传感材料内分布有Pt的单原子结构,传感材料的电导率随氢气浓度的变化而变化。本发明提供了一种全新的低温氢气传感元件来对氢气浓度进行检测,通过在检测基板上涂覆内部分布Pt的单原子结构的传感材料,通过Pt的单原子对氢气有较高灵敏度响应,使得通过检测基板的电导率反映氢气浓度,在低温条件下,本发明的氢气传感元件能够稳定工作,同时本发明的低温氢气传感元件成本低,能够长时间使用,受外界环境影响小,检测结果更加稳定可靠。

    MEMS一氧化碳传感器气敏薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114624293B

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202111149527.7

    申请日:2021-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS一氧化碳传感器气敏薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1:将二氧化锡靶材和金靶材分别安装在磁控溅射仪的不同的磁控溅射靶上,将高纯度的氩气接入磁控溅射仪的进气口,将微加热板放入磁控溅射仪内,调整磁控溅射靶与微加热板之间的溅射距离H;S2:将磁控溅射仪的工作靶材选为二氧化锡靶材,开启磁控溅射仪的总电源,开始抽真空,将真空室的气压调整至5*10‑3Pa以下,设置微加热板的温度为25℃;S3:打开射频溅射电源开始在微加热板表面镀二氧化锡薄膜;S4:镀二氧化锡薄膜结束后,在二氧化锡薄膜表面镀金薄膜;镀金薄膜结束后,得到金修饰的二氧化锡气敏薄膜。利用本发明,能够提高MEMS一氧化碳传感器的响应灵敏度、稳定性,并能够批量化制备MEMS一氧化碳传感器。

    智能托辊及其电源控制方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117023035A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202311060864.8

    申请日:2023-08-21

    Abstract: 本发明涉及带式输送机托辊运行状态检测技术领域,尤其涉及一种智能托辊及其电源控制方法,包括金属托辊、传感检测模块、电源管理模块、通信发送模块、通信接收及组网模块、外置启动器及控制器,金属托辊、传感检测模块、电源管理模块、通信发送模块、通信接收及组网模块、外置启动器均与控制器信号连接,电源管理模块、传感检测模块及通信发送模块安装在金属托辊的内部,通信接收及组网模块安装在金属托辊的尾部,外置启动器设置在金属托辊的外壁,外置启动器实现金属托辊内部电源模块的启动。本发明的智能托辊,采用跨金属无线通信,实现辊内状态数据的检测并进行传输,电源采用自发电与电池结合方式,托辊在转或不转状态下均可实现参数的检测。

    拨抓一体式机械手
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116968062A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202310949394.4

    申请日:2023-07-31

    Abstract: 本发明公开了一种拨抓一体式机械手,包括:连接法兰,所述连接法兰用于安装在机械臂的末端;拨爪组件,所述拨爪组件安装在所述连接法兰的一侧,所述拨爪组件用于从煤炭中将杂质拨开;抓手组件,所述抓手组件安装在所述连接法兰的另一侧,所述拨爪组件和所述抓手组件相背设置,所述抓手组件用于从煤炭中将杂质抓取出来;通过旋转连接法兰切换所述拨爪组件和所述抓手组件中的一者分选出杂质。本发明结构简单紧凑,通过在连接法兰上设置拨爪组件和抓手组件,通过转动即可切换拨或抓两种分选杂质的方式,无需停机进行拆装,整个分选过程更加稳定可靠,效率更高。

    MEMS氧气传感器气敏薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114674881A

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202111149521.X

    申请日:2021-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS氧气传感器气敏薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1:将二氧化钛靶材和金靶材分别安装在磁控溅射仪的不同的磁控溅射靶上,将微加热板放入磁控溅射仪内;S2:将磁控溅射仪的工作靶材选为二氧化钛靶材,开启磁控溅射仪的总电源,启动机械泵并打开截止阀,开始抽真空,设置微加热板的温度为T。S3:打开调压开关,打开进气阀,打开流量计,通入氮气并调节真空室内的气压至0.8Pa‑1.2Pa,打开射频溅射电源开始在微加热板表面镀二氧化钛薄膜。S4:镀二氧化钛薄膜结束后,打开射频溅射电源开始在二氧化钛薄膜表面镀金薄膜;镀金薄膜结束后,得到金修饰的二氧化钛气敏薄膜。利用本发明,能够提高MEMS氧气传感器的响应灵敏度、稳定性,解决批量化制备MEMS氧气传感器技术难题。

    MEMS氧气传感器气敏薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114674881B

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202111149521.X

    申请日:2021-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS氧气传感器气敏薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1:将二氧化钛靶材和金靶材分别安装在磁控溅射仪的不同的磁控溅射靶上,将微加热板放入磁控溅射仪内;S2:将磁控溅射仪的工作靶材选为二氧化钛靶材,开启磁控溅射仪的总电源,启动机械泵并打开截止阀,开始抽真空,设置微加热板的温度为T。S3:打开调压开关,打开进气阀,打开流量计,通入氮气并调节真空室内的气压至0.8Pa‑1.2Pa,打开射频溅射电源开始在微加热板表面镀二氧化钛薄膜。S4:镀二氧化钛薄膜结束后,打开射频溅射电源开始在二氧化钛薄膜表面镀金薄膜;镀金薄膜结束后,得到金修饰的二氧化钛气敏薄膜。利用本发明,能够提高MEMS氧气传感器的响应灵敏度、稳定性,解决批量化制备MEMS氧气传感器技术难题。

    氧化铝修饰的氧化锌气敏薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114622172B

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202111148326.5

    申请日:2021-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种氧化铝修饰的氧化锌气敏薄膜的制备方法,包括:S1:将氧化锌靶材和铝靶材分别安装在磁控溅射仪的不同的磁控溅射靶上,将高纯度的氧气接入磁控溅射仪的进气口,将微加热板放入磁控溅射仪内,关闭磁控溅射仪的腔门和放气阀,关闭流量计;S2:将磁控溅射仪的工作靶材选为氧化锌靶材,将真空室的气压调整至5*10‑3Pa以下,设置微加热板的温度为25℃;S3:打开调压开关,打开进气阀,打开流量计,通入氧气并调节真空室内的气压至0.5Pa‑5Pa,打开射频溅射电源开始在微加热板表面镀氧化锌薄膜;S4:镀氧化锌薄膜结束后,再在氧化锌薄膜表面镀氧化铝薄膜;镀氧化铝薄膜结束(56)对比文件邱美艳;孙以材;潘国锋;杜鹏;李辉.ZnO薄膜的丙酮气敏特性研究.电子元件与材料.2007,(第05期),第46-48页.王超楠;黄保进;鲁听;罗笙芸;任达森;江志明;杨林.ZnO薄膜包装材料溅射制备工艺与阻隔性能研究.包装工程.2018,(第15期),全文.张茹;胡季帆;韩周祥;赵玛;吴占雷;魏剑英.基于磁控溅射的金属氧化物气敏薄膜的研究进展.真空.2010,(第05期),全文.

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