公开(公告)号：CN101788721B

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201010128136.2

申请日：2006-01-18

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 谷津修 ,  广田弘之 ,  重松幸二 ,  栗田信一

IPC: G02B27/28 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02B26/00 ,  G02B26/008 ,  G02B26/06 ,  G02B27/286 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/70991

Abstract: 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交叉的方向可相对移动的2个偏角棱镜。

公开(公告)号：CN101788721A

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN201010128136.2

申请日：2006-01-18

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 谷津修 ,  广田弘之 ,  重松幸二 ,  栗田信一

IPC: G02B27/28 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02B26/00 ,  G02B26/008 ,  G02B26/06 ,  G02B27/286 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/70991

Abstract: 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交叉的方向可相对移动的2个偏角棱镜。

公开(公告)号：CN101164142B

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200680000686.8

申请日：2006-01-18

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 谷津修 ,  广田弘之 ,  重松幸二 ,  栗田信一

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02B26/00 ,  G02B26/008 ,  G02B26/06 ,  G02B27/286 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/70991

Abstract: 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交叉的方向可相对移动的2个偏角棱镜。

公开(公告)号：CN101078814A

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200710110951.4

申请日：2005-01-14

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 谷津修 ,  重松幸二 ,  广田弘之 ,  松山知行

IPC: G02B27/28 ,  G03F7/20 ,  G02B5/30

Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。

公开(公告)号：CN101078813A

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200710110950.X

申请日：2005-01-14

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 谷津修 ,  重松幸二 ,  广田弘之 ,  松山知行

IPC: G02B27/28 ,  G03F7/20 ,  G02B5/30

Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。

公开(公告)号：CN101078811A

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200710110948.2

申请日：2005-01-14

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 谷津修 ,  重松幸二 ,  广田弘之 ,  松山知行

IPC: G02B27/28 ,  G03F7/20 ,  G02B5/30

Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。