Patent search ap:("株式会社尼康") AND inv:"林田洋祐" Page 3

21.

发明公开
基板处理装置有权

公开(公告)号：CN108919607A

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201810608818.X

申请日：2014-06-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 铃木智也 , 小宫山弘树 , 加藤正纪 , 渡边智行 , 鬼头义昭 , 堀正和 , 林田洋祐 , 木内彻

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及基板处理装置，目的在于进一步减少对曝光单元带来的振动，通过曝光单元良好地进行曝光。基板处理装置(U3)具有：设在设置面(E)上的减振台(131)；设在减振台(131)上且对供给的基板(P)进行曝光处理的曝光单元(121)；和设在设置面(E)上且与曝光单元(121)以非接触的独立状态设置、并作为对曝光单元(121)进行处理的处理单元的位置调整单元(120)及驱动单元(122)。

Patent Agency Ranking