基板处理装置及基板处理方法

    公开(公告)号:CN105632978B

    公开(公告)日:2018-10-30

    申请号:CN201610122229.1

    申请日:2011-04-11

    Abstract: 基板处理装置及基板处理方法,具备:基板供应部,在使形成为带状的基板的短边方向竖立的状态下供应基板;基板处理部,具有搬送部及多个处理部,该搬送部,将从该基板供应部供应的基板在竖立状态下搬送,该多个处理部,是沿着该搬送部的基板的搬送路径配置,对竖立状态的基板的被处理面进行处理;以及基板回收部,将在该基板处理部进行处理后的基板在竖立状态下回收。

    信息取得系统及携带型终端

    公开(公告)号:CN103605672B

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201310522786.9

    申请日:2010-02-17

    Abstract: 本发明提出一种信息取得系统,具备携带型终端与信息检索系统,信息检索系统根据从携带型终端输入的路径信息检索与路径相关的信息,并将检索结果发送至携带型终端,其中,携带型终端,具备用以导引从出发地至目的地为止的路径的导航部;信息检索系统具备:数据库,与路径信息对应储存有与路径相关的信息;以及信息检索服务器,根据路径信息从数据库检索与路径相关的信息,并根据与路径相关的信息将路径中的交通机关的预约信息自该交通机关的预约系统取得;信息检索服务器,是将与路径相关的信息及预约信息发送至携带型终端。

    可挠性基板的搬送装置及显示元件或电子电路的制造系统

    公开(公告)号:CN103153830B

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201280003198.8

    申请日:2012-02-20

    CPC classification number: B65H18/103 B65H2301/51 B65H2402/32 B65H2701/173

    Abstract: 具有形成为带状、具有可挠性的基板(S)的搬送装置(1),其具有:供应滚筒(5b),送出基板(S);回收滚筒(6b),卷取基板(S);以及驱动部(8),将供应滚筒(5b)与回收滚筒(6b)驱动于相对从基板(S)的运送方向交叉的方向(X,Z)。供应滚筒(5b)被导引于第一轨(3),回收滚筒(6b)被导引于第二轨(4)。轨驱动机构(7)变更两滚筒(5b,6b)间的间隔。配置于轨(3,4)间的处理部(PA),对树脂或不锈钢制的基板(S)进行成膜、曝光、洗净等处理。处理部(PA),沿轨(3,4)配置有多个。通过以多个处理部(PA)依序处理沿两滚筒(5b,6b)与轨(3,4)被运送的基板(S),于基板(S)上形成有机EL元件。

    基板处理装置
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103384637A

    公开(公告)日:2013-11-06

    申请号:CN201280009995.7

    申请日:2012-02-22

    CPC classification number: B05B13/04 B05B14/30 B05C1/083

    Abstract: 本发明是关于一种基板处理装置(FPA),具有供应滚筒(5b)、腔室(CB)、以及回收滚筒(6b)。由树脂膜或不锈钢箔构成的挠性基板(S),从供应滚筒(5b)被送出,通过腔室(CB)中而被回收滚筒(6b)卷取。在腔室(CB)中,以转印装置(11)对基板(S)涂布液。供应滚筒(5b)沿往与基板(S)的运送方向(Y)正交的方向(X)延伸的第一轨(3)移动,回收滚筒(6b)与供应滚筒(5b)同步地沿第二轨(4)移动。伴随这样的移动,基板(S)进出于腔室(CB)。在其他装置(FPA2)中,以电浆装置(12)处理基板(S)。

Patent Agency Ranking