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公开(公告)号：CN1952034A
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200610137146.6
申请日：1999-08-31
Applicant: 日立化成工业株式会社 , 株式会社日立制作所
IPC: C09K3/14 , C23F1/18 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供金属用研磨液及研磨方法，该金属用研磨液含有(1)金属的氧化剂，(2)氧化金属溶解剂，(3)通过在金属膜表面形成物理吸附和/或化学结合而形成称为氨基酸或唑类的保护膜的第1保护膜形成剂、(4)辅助第1保护膜形成剂形成称为聚丙烯酸、聚酰胺酸或者其盐的第2保护膜形成剂，以及(5)水。
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公开(公告)号：CN1204602C
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN99812776.0
申请日：1999-08-31
Applicant: 日立化成工业株式会社 , 株式会社日立制作所
IPC: H01L21/304 , H01L21/308 , C23F1/16
CPC classification number: C09G1/02 , C23F3/00 , C23F3/06 , H01L21/3212
Abstract: 本发明提供金属用研磨液及研磨方法，该金属用研磨液含有(1)金属的氧化剂，(2)氧化金属溶解剂，(3)通过在金属膜表面形成物理吸附和/或化学结合而形成称为氨基酸或唑类的保护膜的第1保护膜形成剂、(4)辅助第1保护膜形成剂形成称为聚丙烯酸、聚酰胺酸或者其盐的第2保护膜形成剂，以及(5)水。
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公开(公告)号：CN1149619C
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：CN99127508.X
申请日：1999-12-22
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: H01J29/503 , H01J2229/4841
Abstract: 彩色阴极射线管在其电子束聚焦部分包括第三、第四和第五电极及阳极。在第三电极第二构件42的侧端面上的电子束孔和邻近第二构件42的第四电极5之间形成电子透镜。在所述第五电极的所述第一和第二组构件之间形成第一类型静电四极透镜，用于随着所述第一聚焦电压和所述第二聚焦电压之间的聚焦电压差值的增加而使所述多束电子束在水平方向上愈加聚焦，并且使所述多束电子束在垂直方向上愈加发散；在所述第三电极的所述第一和第二组构件之间形成至少一个第二类型静电四极透镜，用于随着所述聚焦电压差值的增加而使所述多束电子束在垂直方向愈加聚焦，并且使所述多束电子束在水平方向上愈加发散。
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公开(公告)号：CN1045842C
公开(公告)日：1999-10-20
申请号：CN92114831.3
申请日：1992-12-02
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: H01J29/488
Abstract: 一字排列式电子枪组件的三个电子束先后通过所加电压前者高于后者的第一、第二电极单元。该电极单元各有非圆形横截面的圆筒和设置在圆筒内壁上的栅板，以把三个并排的电子束通孔限定在圆筒之内，通孔平行圆筒的横截面的纵长方向排列，各电极单元栅板上至少有一孔用作中心电子束的通孔，第一和第二电极单元形成主静电透镜而起电子束聚焦和散焦的相复合的功能。两电极单元栅板的孔径不同，以加强聚焦和散焦中的一个功能。
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公开(公告)号：CN1080090A
公开(公告)日：1993-12-29
申请号：CN93104902.4
申请日：1993-04-21
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: H01J29/488 , H01J29/503
Abstract: 装有成一直线电子枪的彩色阴极射线管，包括由两个相互以一定间隔关系安装的圆筒形电极构成的主透镜。每个电极具有椭圆形横截面的开口，其上的平板电极带有电子束通道区，两个电极带有不同的电压。适用下列不等式5.0＞S，D＞S和55S-20D＞147S是相邻电子束之间的束间隔，D是两个圆筒电极相对端的横截面的垂直直径。
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