公开(公告)号：CN117880726A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202410060925.9

申请日：2024-01-15

Applicant: 山东博华电子科技发展有限公司 ,  济南大学 ,  山东超探电子科技有限公司

Inventor： 刘通 ,  杨长红 ,  黄世峰 ,  牟言鹏 ,  张晓琳

IPC: H04R31/00 ,  H04R17/00

Abstract: 本公开涉及一种微机电系统压电换能器及其制作方法，涉及微机电系统技术领域，微机电系统压电换能器的制作方法，包括：提供基底，在基底的正面上依次形成第一金属层和压电材料层；图案化压电材料层，形成压电薄膜；图案化第一金属层，在压电薄膜的下方形成第一电极；在压电薄膜上形成第二电极，第一电极、压电薄膜和第二电极在基底上形成换能单元；刻蚀基底的背面，在换能单元的下方形成背腔。压电薄膜替代压电陶瓷接收机械应力，减轻了换能单元的重量，有利于换能单元的尺寸减小、提高换能单元的设置密度，微机电系统压电换能器的整体的重量轻、尺寸小，解除了重量和尺寸对微机电系统压电换能器的应用领域的限制。

公开(公告)号：CN115876891A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202211380372.2

申请日：2022-11-04

Applicant: 济南大学

Inventor： 黄世峰 ,  郭瑞 ,  赵耀庭 ,  张晓芳 ,  林秀娟 ,  杨长红 ,  程新

IPC: G01N29/14 ,  G01N29/22 ,  C08K3/22 ,  C08L63/00

Abstract: 本发明公开了一种信号采集、放大和无线传输功能于一体的半埋入式声发射传感器，该传感器由可埋入部分和外部安装部分组成。其中可埋入部分主要由水泥匹配层、1‑3水泥/环氧基压电复合材料和环氧/Fe2O3复合背衬封装材料组成；外部安装部分由电荷放大器、采集卡和无线传输模块通过金属层预封装和水泥/环氧无机材料表层封装组成。该传感器的工作带宽明显变宽，受反射波影响减小，并且实现了信号采集、放大和无线等功能与一体，减小了声发射采集系统的复杂性、提高了与混凝土的耦合性以及简化了大型混凝土声发射监测过程中走线、安装等施工环节。在包括混凝土桥梁、大坝和隧道在内的大型土木工程结构健康监测领域具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN114722689A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202210643741.6

申请日：2022-06-09

Applicant: 淄博高新技术产业开发区MEMS研究院 ,  山东超探电子科技有限公司 ,  济南大学

Inventor： 刘通 ,  何长运 ,  阮勇 ,  牟言鹏 ,  曹丽霞 ,  胡燕威 ,  杨长红 ,  黄世峰

IPC: G06F30/23 ,  G06F30/17 ,  G06F119/14

Abstract: 本申请涉及一种MEMS悬臂梁器件结构优化方法、装置和计算机设备。所述方法包括：基于MEMS悬臂梁器件的预设几何参数，建立MEMS悬臂梁器件的有限元模型；对所述有限元模型进行仿真，获取所述有限元模型的接触电阻的仿真阻值；根据仿真阻值判断所述接触电阻是否符合预设优化标准，若否，调整所述有限元模型的结构，直至所述有限元模型的接触电阻符合预设优化标准。采用本方法能够降低MEMS悬臂梁器件的接触电阻，提高MEMS悬臂梁器件的可靠性。

公开(公告)号：CN108569903A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810618048.7

申请日：2018-06-15

Applicant: 济南大学

Inventor： 张赟慧 ,  吴海涛 ,  杨长红 ,  杨耀康 ,  邢春芳

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/634 ,  C04B35/638

CPC classification number: C04B35/495 ,  C04B35/622 ,  C04B35/62645 ,  C04B35/63492 ,  C04B35/638 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/661

Abstract: 本发明公开了一种满足LTCC应用需求的微波介质陶瓷及制备方法，该陶瓷材料组成表达式为：La2Zr3-3xTi3xMo9O36。其中0.02≤x≤0.1。本发明先将La2O3，ZrO2，TiO2和MoO3等原材料按照表达式进行配料，经球磨、干燥和过筛后于600℃的温度下进行预烧处理；再经二次球磨、干燥后添加10%重量百分比粘合剂进行炒蜡造粒，压制成型为直径为10mm的圆柱坯体，于700~750℃烧结温度下对陶瓷坯体进行烧结得到致密的陶瓷体。本发明微波介质陶瓷材料具有以下特点：较低的烧结温度（700~750℃），制备工艺较为简单，制备过程环保，成本较低，是一种很有发展前途的低介电微波介质材料。

公开(公告)号：CN105777119A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201610093468.9

申请日：2016-02-22

Applicant: 济南大学

Inventor： 吴海涛 ,  毕金鑫 ,  杨长红

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/64

CPC classification number: C04B35/495 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3275 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/65

Abstract: 本发明公开了一种利用反应烧结工艺制备低损耗钨锰铁矿结构微波介质陶瓷的方法。该类陶瓷化学组成表达式为AZrNb2O8，其中A=Mg，Co，Ni，Mn。陶瓷制备时，先将ZrO2、MgO、CoO、NiO、MnO和Nb2O5等原料按照化学式进行配料，经过混料、烘干、过筛，造粒、压制成型等工艺后，利用反应烧结工艺于1250~1300℃烧结，制得AZrNb2O8陶瓷。本发明节省了预烧及二次混料工艺流程，大大降低制备时间，减少制备成本，反应烧结流程工艺简单，制成陶瓷微波介电性能优异，过程环保，在工业上有着极大的应用价值。

公开(公告)号：CN104045335A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410309940.9

申请日：2014-07-02

Applicant: 济南大学

Inventor： 杨锋 ,  刘芬 ,  杨长红 ,  胡广达 ,  宗志豪

IPC: C04B35/26 ,  C04B35/622

Abstract: 本发明公开了一种择优取向生长的Bi5Ti3FeO15多铁性薄膜的制备方法，包括以下步骤：以(111)Pt/Ti/SiO2/Si为衬底，在衬底上先采用溶胶凝胶法沉积CoFe2O4薄膜作为种子层，然后在种子层上再采用溶胶凝胶法沉积Bi5Ti3FeO15薄膜，所得Bi5Ti3FeO15薄膜在c轴择优取向生长。本发明采用溶胶-凝胶法，在(111)Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上实现层状钙钛矿型Bi5Ti3FeO15多铁性薄膜的择优取向生长。该方法所制备的薄膜性能优异，用X射线定量估算c轴择优取向薄膜的择优取向度高达90%，适合研制高密度的非挥发性存储器件以及其他磁电耦合器件。

公开(公告)号：CN103708835A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310195331.0

申请日：2013-05-24

Applicant: 济南大学

Inventor： 吴海涛 ,  杨长红 ,  胡广达 ,  岳云龙

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/624

Abstract: 本发明属于电子陶瓷制备与应用技术领域，尤其涉及一种利用溶胶凝胶法精细合成三元ZnO-Ta2O5-TiO2体系微波介质陶瓷方法。本发明技术方案为：利用溶胶凝胶法精细合成三元ZnO-Ta2O5-TiO2体系微波介质陶瓷方法，包括以下步骤：1）配制Zn离子的柠檬酸水溶液；2）配制Ti与Ta离子的柠檬酸水溶液；3）三元ZnO-Ta2O5-TiO2体系微波介质陶瓷纳米前驱体的合成及陶瓷制备。具有合成温度低、陶瓷颗粒均匀、分散性好、物相纯、粉体具有纳米粒度（

公开(公告)号：CN102244192B

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201110123826.3

申请日：2011-05-13

Applicant: 济南大学

Inventor： 杨长红 ,  芦泽宇 ,  杨锋 ,  胡广达

IPC: H01L41/18 ,  H01L41/39 ,  C01G23/00 ,  C01G49/00

Abstract: 本发明公开了一种基于钛酸铋钠基和铁酸铋基的复合固溶体薄膜及其制备方法，该薄膜以通式(1-x)Na0.5(Bi0.95Ce0.05)0.5TiO3-xBiFe0.97Mn0.03O3表示，所述钛酸铋钠基为Na0.5(Bi0.95Ce0.05)0.5TiO3，所述铁酸铋基为BiFe0.97Mn0.03O3；其中，x为BiFe0.97Mn0.03O3的摩尔含量，0

公开(公告)号：CN102222672A

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：CN201110123820.6

申请日：2011-05-13

Applicant: 济南大学

Inventor： 杨长红 ,  赵媛媛 ,  吴海涛 ,  胡广达

IPC: H01L27/115 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明公开了一种铁酸铋基薄膜层叠结构电容器及其制备方法，该电容器从下到上依次包括底电极、衬底、缓冲层、铁电薄膜层和金属点电极，所述缓冲层为掺锰钛酸锶钡薄膜，化学式为Ba0.6Sr0.4Ti(1-x)MnxO3，x为元素锰的摩尔当量，x=0.005-0.05；所述铁电薄膜层为铁酸铋基薄膜，化学式为Bi(1-y)LnyFeO3，其中，Ln为镧系元素中的一种，y为镧系元素的摩尔当量，y=0.01-0.2。本发明制备方法简单，所得的电容器是铁电场效应晶体管的存储单元，该电容器克服了一般硅衬底上铁酸铋基薄膜电容器界面性能差、工作电压高的缺点，具有良好的存储性能。

公开(公告)号：CN101367671B

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200810140200.1

申请日：2008-09-12

Applicant: 济南大学

Inventor： 胡广达 ,  闫静 ,  武卫兵 ,  杨长红 ,  程玲 ,  殷在梅 ,  王金翠

IPC: C04B41/52

Abstract: 本发明属于铁电复合薄膜材料技术领域，具体涉及一种用于高温压电器件的无铅双层铁电复合薄膜材料及其制备方法。本发明采用化学溶液法结合层层快速退火工艺，制备在衬底材料上生长作为底层的高(110)-或(111)-取向的BiFeO3薄膜和作为表层的高居里点铋系层状钙钛矿薄膜，其中高(110)-或(111)-取向的BiFeO3薄膜，厚度为0.1μm～1μm，高居里点铋系层状钙钛矿薄膜，厚度为10nm～60nm。本发明在500℃～600℃的退火温度下得到了具有大剩余极化、低漏电流、抗疲劳性能好和高压电常数的无铅双层铁电复合薄膜，在未来的高温压电器件中具有良好的实用前景。