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公开(公告)号：CN101241232A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200710156621.9
申请日：2007-11-08
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种可实现非球面通用化检测的大球差补偿透镜结构及其装置。大球差补偿镜具有双分离镜片，双分离镜片具有两个依次排列的同轴球面负透镜、正透镜，负透镜为凸凹球面透镜、正透镜为凸凸球面透镜。利用大球差补偿透镜进行非球面的通用化检测装置：在同一光轴上依次设有大球差补偿透镜、出瞳、波前检测仪器，在波前检测仪器中设有数字相机。本发明与现有技术相比具有的有益效果主要体现在其可以实现非球面的通用化检测，即大球差补偿镜可以在不同环带产生较大的球差，一定程度上补偿非球面的纵向法线像差，使补偿后的非球面波前不超过波前检测仪器的分辨能力；利用一个大球差补偿镜即可对多个非球面达到补偿目的，从而实现通用化检测。
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公开(公告)号：CN100373142C
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200510049076.4
申请日：2005-02-06
Applicant: 浙江大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统及其方法。它依次具有激光器、双凹透镜、由负透镜、正透镜组成的双分离准直镜。在标定中，利用特定的测量方法来验证本装置所具有的误差，通过实施测量例中严格的数据处理，可以论证本装置波前畸变量远小于1/15波长的均方根值，完全可以作为一个近红外波段的近似理想准直扩束器用于标定脉冲波前畸变检测干涉仪的系统误差。本发明可以对10-150mm口径的近红外高功率脉冲波前畸变检测干涉仪进行系统误差的标定，该方法适用于其它可见光、中、远红外波段的干涉仪的系统误差的标定，为各类干涉仪检测系统的检测可靠性提供了极为有效的标定装置及方法。
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公开(公告)号：CN1438468A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN03114760.7
申请日：2003-01-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明是一种非接触的测量技术，等矢高系数比较法数字化无损检测系统特别适用于各类宽范围大曲率半径的测量。用激光偏振干涉体系产生非接触的牛顿环，并与CCD图象处理技术相结合的测量方法，可测量的曲率半径为1－25米，具有很宽的测量范围，非接触测量不会损坏高精度表面，并可测试任意反射率的凹、凸球面，而测试体系结构都非常紧凑。干涉条纹经计算机数据处理可自动、快速获得测量结果。
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公开(公告)号：CN102680477B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210123930.7
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸光学元件高精度调平方法与装置。本发明利用高倍率显微镜对元件表面不同位置的三特征点分别进行连续多幅暗场灰度图像采集，计算图像灰度信息熵值，拟合灰度信息熵值与显微镜轴向移动距离曲线，通过搜寻曲线中极小值的方法，获得正焦位置，获得各特征点离焦量。设计一种两板式弹性预紧，两点调整俯仰与侧摆的调平装置。通过建立离焦量与调整量换算模型，将三特征点处的离焦量换算为两调整点的调整量，进行调平操作。本发明解决了大尺寸光学元件在显微镜全范围扫描检测过程中出现的因光学元件与显微镜焦平面的不平行而造成的离焦问题。
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公开(公告)号：CN102207378B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201110056028.3
申请日：2011-03-09
Applicant: 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种球面干涉检测中基于波前差分的高精度调整误差校正方法。本发明解决了高精度球面干涉检测中被测面的倾斜和离焦调整误差难以有效校正的难题。本发明通过干涉仪测得待测球面对应微米量级的两组不同离焦量的原始波面数据，再对该波面数据取差值得到波前差分，根据波前差分的波面拟合对应项系数与离焦项的比值，从原始波面数据中分离出离焦调整误差所引入的高阶像差，最后消去原始波面数据中的常数项、倾斜项、离焦项及其对应高阶像差项，进而实现对倾斜、离焦调整误差的高精度校正。本发明为光学球面，尤其是大数值孔径球面的高精度面形干涉检测提供了一种高精度的调整误差校正方法，并具有极其重要的实际应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102636496A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210121716.8
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/93
Abstract: 本发明公开了一种光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法。本发明解决了疵病检测中物面疵病的实际宽度与CCD成像像素宽度的关联问题。本发明的技术特点在于：为模拟存在疵病的光学表面，制作一个刻有一系列标准宽度刻线的石英定标板，并用扫描电镜标定刻线的实际宽度；使用一个光学表面疵病暗场检测系统，利用其中的精密导轨移动石英定标板并配合CCD采集每条定标线的暗场灰度图；对这些灰度图进行特征识别和特征提取，并与其实际宽度进行比对建立暗场物像关联函数。获得暗场物像关联函数后即可通过处理在同样成像条件下采集的被测件图像来对其表面划痕的宽度进行标定。实现了对光学表面宽度在微米及亚微米量级的疵病的标定的标准化。
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公开(公告)号：CN102155926A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110056021.1
申请日：2011-03-09
Applicant: 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种非球面顶点球曲率半径测量系统及方法。本发明解决了非球面顶点球曲率半径在传统装置中无法精确测量的难点。本发明的技术特点在于，利用一个承担大球差的会聚透镜与辅助消球差补偿镜组合后形成起定位作用的齐明镜组，将非球面精确定位在齐明镜猫眼位置，再运用导轨系统移动非球面到指定的位置形成检测光路，再移去辅助消球差补偿镜组，与参考光路形成了一个非球面顶点球曲率半径测量系统。在光学设计类软件中，如ZEMAX等，对该测量系统进行建模，不断改变非球面顶点球曲率半径值，直至建模系统中仿真条纹及其波像差泽尼克系数和实验测量系统条纹及其波像差泽尼克系数相一致。该方法为高精度面形检测提供了精确的顶点球曲率半径。
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公开(公告)号：CN101086482A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710070044.1
申请日：2007-07-17
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/956 , G01R31/308 , G06F19/00
Abstract: 本发明公开了一种表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置及方法。在检测大口径精密元件表面时，需要将扫描的成百上千帧子孔径图利用数字图像处理的方法实施图像拼接。本发明针对影响全孔径拼接时的误差—CCD坐标与扫描轨迹坐标间的夹角α，提出根据被测大口径元件尺寸、物方视场大小及所需拼接的N×N的子孔径数，从而确定相应的最大角度容差αmax。本发明设计了特定的角度调整机构，可以实现CCD坐标系与扫描轨迹坐标系一致性的调整。本发明提出了利用具有标准刻线的标准板、XY扫描系统及专门的图像处理软件组合可以实现按照特定的调整方法使两个坐标系的夹角α小于αmax，从而保证全孔径的正确拼接，达到表面疵病等级和位置的正确评定。
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公开(公告)号：CN1313821C
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200410017628.9
申请日：2004-04-09
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种光滑表面疵病的自动化检测方法及其系统。根据疵病标准及其疵病的光散射特性，建立了新颖的适合于大口径子孔径扫描散射成像的计算机辅助的数字化检测装置；它采用了多光纤多方位角布局的具有柯拉照明的冷光源，实现被检面疵病的散射光的反射式成像；表面疵病的散射光经光学显微变焦系统收集并成像于CCD上；被测面为大口径时，计算机控制X、Y移动工作台进行表面的多个子孔径扫描；建立了对疵病图像基于数学形态学的模式识别的数学模型及疵病尺度定标的软件体系。本发明采用了客观的数字化评价系统，对疵病检测的准确度远远高于目视的主观观察；采用了自动化的扫描及数据处理方法，被测件为大口径时，大大提高了检测的工作效率。可以对几个微米以上尺度的表面疵病进行识别分类及定标评价。
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公开(公告)号：CN2773642Y
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200520100549.4
申请日：2005-02-06
Applicant: 浙江大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本实用新型公开了一种近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统。它依次具有激光器、双凹透镜、由负透镜、正透镜组成的双分离准直镜。在标定中，利用特定的测量方法来验证本装置所具有的误差，通过实施测量例中严格的数据处理，可以论证本装置波前畸变量远小于1/15波长的均方根值，完全可以作为一个近红外波段的近似理想准直扩束器用于标定脉冲波前畸变检测干涉仪的系统误差。本实用新型可以对10－150mm口径的近红外高功率脉冲波前畸变检测干涉仪进行系统误差的标定，该方法适用于其它可见光、中、远红外波段的干涉仪的系统误差的标定，为各类干涉仪检测系统的检测可靠性提供了极为有效的标定装置及方法。
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