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公开(公告)号:CN1097688C
公开(公告)日:2003-01-01
申请号:CN99120387.9
申请日:1999-09-24
Applicant: SMC株式会社
IPC: F16K23/00
CPC classification number: H01L21/6715
Abstract: 根据电致动器的驱动作用,在从所述闭阀操作指令时间,直到所述开/关阀(14)到达使从所述喷口(18)排出的所述液体的所述流线处于收紧态的所述预定快速闭阀操作位置的时间周期内,控制所述阀栓塞的提升量。在达到所述闭阀操作位置后,控制所述开/关阀(14)的阀栓塞,使之处于关闭位置。由此,可以防止在电开/关阀(14)的闭阀操作时来自喷嘴(18)的失禁液滴。
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公开(公告)号:CN1249214A
公开(公告)日:2000-04-05
申请号:CN99120387.9
申请日:1999-09-24
Applicant: SMC株式会社
CPC classification number: H01L21/6715
Abstract: 根据电致动器的驱动作用,在从所述闭阀操作指令时间,直到所述开/关阀(14)到达使从所述喷口(18)排出的所述液体的所述流线处于收紧态的所述预定快速闭阀操作位置的时间周期内,控制所述阀栓塞的提升量。在达到所述闭阀操作位置后,控制所述开/关阀(14)的阀栓塞,使之处于关闭位置。由此,可以防止在电开/关阀(14)的闭阀操作时来自喷嘴(18)的失禁液滴。
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