一种ZnS发光薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108410460A

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201810560531.4

    申请日:2018-06-04

    CPC classification number: C09K11/672

    Abstract: 本发明公开一种ZnS发光薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面油污和杂质;S2、采用磁控溅射设备,以ZnS靶、Pb靶为靶材,衬底置于磁控溅射设备的真空腔体内,ZnS靶采用直流与射频电源,Pb靶采用直流电源,通入氩气,在衬底表面溅镀Zn过量且Pb掺杂的ZnS发光薄膜;采用磁控溅射进行ZnS、Pb共掺杂薄膜的制备,工艺简单,可控性、操作性强;ZnS靶采用直流和射频相结合的电源,进行薄膜的镀制,Pb靶采用直流电源,制备的薄膜致命性高,结晶质量好;通过工艺参数的改变能很好调节薄膜中的Zn和S的比例。

    一种用于磁控溅射的以气体为掺杂源的供气装置

    公开(公告)号:CN108165942A

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201711456534.5

    申请日:2017-12-28

    CPC classification number: C23C14/35

    Abstract: 本发明涉及一种用于磁控溅射的以气体为掺杂源的供气装置,包括供气环(1),在供气环(1)的内壁(2)上均布一组出气孔(3),在供气环(1)内设有环形腔体,在每个出气孔(3)均与环形腔体连通,在供气环(1)上还连接进气管(4),进气管(4)连接环形腔体,在供气环(1)上还连接吊耳(5)。本发明的优点:本装置克服了现有供气系统中气体分布不均匀,离化程度不高,掺杂量达不到目标值以及不能进行定量分析等缺陷,有效促进掺杂气体源进行离子化,提高了气体的利用率,提高掺杂量,达到有效进行掺杂完成镀膜的目的,同时还能精准进行定量分析,为多元素掺杂磁控溅射的进一步研究开发提供了一个更好的精确方案。

    一种Al、Mn共掺杂ZnO薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108165940A

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201711415330.7

    申请日:2017-12-25

    CPC classification number: C23C14/352 C23C14/086

    Abstract: 本发明公开一种Al、Mn共掺杂ZnO薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面污垢;S2、在磁控溅射设备的溅射腔内设置ZnO靶材、Al2O3靶材与MnO2靶材,三个靶材依次间隔呈弧形分布;S3、清洗后的衬底置于溅射腔内的样品架上,样品架采用可旋转式样品架,使溅射时衬底能够以圆周方式运行,并依次经过三个靶材;S4、当溅射腔内真空度满足要求时,通入溅射气体氩气,在衬底上溅射沉积得到Al、Mn共掺杂ZnO薄膜;设置三个相互独立的靶材,每个靶材的溅射参数可根据需要单独设置,可制备任意掺杂量的Al、Mn共掺杂ZnO薄膜;制备工艺简单,重复性好,并且可节约大量靶材成本。

    一种表面色彩可调的低辐射中空玻璃及其制备方法

    公开(公告)号:CN108164159A

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201711427522.X

    申请日:2017-12-26

    Abstract: 本发明提供一种表面色彩可调的低辐射中空玻璃及其制备方法,它包括室内玻璃基片,自室内玻璃基片表面向外依次为低辐射镀膜层、中空层、彩色镀膜层和室外玻璃基片。将镀有低辐射膜层的室内玻璃基片和镀有彩色膜层的室外玻璃基片送入合片胶粘机,将两片玻璃四周用间隔条垫为中空形状,中间植入干燥剂,周边用密封条抹上粘结剂粘结为中空型玻璃,随即送入烘干机烘干后得到成品。本发明结构简单、制造方便、解决了低辐射中空玻璃颜色单一的问题,且与利用着色剂得到的有色玻璃相比,其对低辐射中空玻璃隔热及光学性能的影响也较小等优点。

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