公开(公告)号：CN1977219A

公开(公告)日：2007-06-06

申请号：CN200580021473.9

申请日：2005-06-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 久保田雅彦 ,  铃木工 ,  佐藤环树 ,  柬理亮二 ,  服田麻纪 ,  浅井和宏 ,  芝昭二 ,  石仓宏惠 ,  冈野明彦

IPC: G03F7/095 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1603 ,  B41J2/1404 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1645 ,  B41J2202/11 ,  G03F7/095 ,  Y10T29/49401

Abstract: 一种用于制造微细结构的方法，包括：形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应，并用显影液进行显影，从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤；以及，通过在预定区域中进行分解反应并进行显影，在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而，在所述衬底中制造出凸形图案。

公开(公告)号：CN1951696A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200610136289.5

申请日：2006-10-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 锅岛直纯 ,  山根彻 ,  铃木工 ,  久保田雅彦 ,  佐藤环树 ,  柬理亮二 ,  服田麻纪 ,  浅井和宏

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1404 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1645 ,  Y10T29/49401

Abstract: 一种液体排送头，其包括：基底，其具有能量发生元件，用于产生排送液体所需的能量；排送端口，其用于排送液体，并被设置成与能量发生元件成相对的关系；壁板构件，其围成了腔室，该腔室适于存贮由能量发生元件产生的、排送液体所需的能量；排送部分，其形成了连接腔室与排送端口的流体通路；供应通路，其便于将液体输送到所述腔室中；以及成对的中空部分，它们被设置在壁板构件中，其中，中空部分相互对置，且在从排送端口到基底的方向上，中空部分至少夹置着整个排送端口，且中空部分与腔室是独立的。