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公开(公告)号：CN1968815B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200580019601.6
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/038 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2002/14475 , Y10T29/49401
Abstract: 根据本发明，一种用于制造排液头的方法包括步骤：在其上排列有能量产生元件(2)以产生用于排出液体的能量的基板(1)上，形成用于形成流路的固体层(3)；在其上设置有固体层的基板上形成用于覆盖固体层的涂层(4)；在沉积在固体层的涂层中通过光刻工艺形成用于排出液体的排出口(7)；和去除固体层以形成与能量元件和排出口连通的流路(8)，其中用于涂层的材料包含阳离子聚合性化合物，阳离子光聚合反应引发剂和阳离子光聚合反应的抑制剂，和其中固体层的材料包含甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物，所述固体层与其中形成涂层的排出口的那部分形成边界。
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公开(公告)号：CN1977219A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200580021473.9
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法，包括：形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应，并用显影液进行显影，从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤；以及，通过在预定区域中进行分解反应并进行显影，在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而，在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号：CN103358702A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310123781.9
申请日：2013-04-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/14 , B41J2/14129 , B41J2/1603 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/13
Abstract: 本发明涉及液体排出头及其制造方法。本发明的液体排出头的制造方法包括以下步骤：在基板的第一面上，在对应于形成独立供给口的区域的部分上形成蚀刻停止层；从第二面侧对所述基板进行干法蚀刻处理，直到被蚀刻的部分到达所述蚀刻停止层；并且在进行所述干法蚀刻处理之后，通过各向同性蚀刻去除所述蚀刻停止层以形成独立供给口，其中所述各向同性蚀刻是以在所述蚀刻停止层的侧面周围形成对所述各向同性蚀刻具有耐蚀刻性的侧部蚀刻阻止部的状态进行。
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公开(公告)号：CN103213398A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310024376.1
申请日：2013-01-23
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/14 , B41J2/14145 , B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2002/14467
Abstract: 液体喷出头及其制造方法。一种液体喷出头的制造方法，包括下述步骤：（1）在基板的第二表面形成凹部以形成共用供给口，（2）形成蚀刻掩模，蚀刻掩模规定独立供给口的在共用供给口的底面的开口位置，以及（3）在采用蚀刻掩模作为掩模的状态下使用等离子体进行离子蚀刻，由此形成独立供给口。蚀刻掩模中形成的开口图案使得从喷出能量产生元件到与该喷出能量产生元件邻近的两个独立供给口的在基板的第一表面侧的开口的各自的距离彼此相等。
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公开(公告)号：CN1968816A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200580019606.9
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1645
Abstract: 一种制造喷墨头的方法，包括：在具有能量产生元件的基板上形成光降解性正型光刻胶层，通过光降解性正型光刻胶层的曝光和显影而形成变成油墨流路的结构，将具有所述结构的基板涂以负型光刻胶层，在负型光刻胶层中形成排墨口，和通过去除所述结构而形成油墨流路，其中光降解性正型光刻胶层包括至少包含得自(甲基)丙烯酸酯的单元和进一步包含得自(甲基)丙烯酸的单元的丙烯酸共聚物组合物。丙烯酸共聚物组合物包含比例5至30％重量的(甲基)丙烯酸单元，丙烯酸共聚物的重均分子量是50000至300000。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103213398B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310024376.1
申请日：2013-01-23
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/14 , B41J2/14145 , B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2002/14467
Abstract: 液体喷出头及其制造方法。一种液体喷出头的制造方法，包括下述步骤：（1）在基板的第二表面形成凹部以形成共用供给口，（2）形成蚀刻掩模，蚀刻掩模规定独立供给口的在共用供给口的底面的开口位置，以及（3）在采用蚀刻掩模作为掩模的状态下使用等离子体进行离子蚀刻，由此形成独立供给口。蚀刻掩模中形成的开口图案使得从喷出能量产生元件到与该喷出能量产生元件邻近的两个独立供给口的在基板的第一表面侧的开口的各自的距离彼此相等。
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公开(公告)号：CN102529381A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110381820.6
申请日：2011-11-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1603 , Y10T29/49401
Abstract: 提供一种液体喷射头的制造方法，其顺次包括：步骤A，准备好具有流路模具的基板；步骤B，以覆盖流路模具的方式配置作为流路壁构件的第一层；步骤C，固化第一层的作为流路的侧壁的部分；步骤D，以覆盖第一层的固化部分和流路模具的方式配置第二层；步骤E，通过朝向基板侧按压第二层而使第二层平坦化；步骤F，在第一层和第二层中配置喷射口；和步骤G，通过去除流路模具而形成流路。
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公开(公告)号：CN1977219B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200580021473.9
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法，包括：形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应，并用显影液进行显影，从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤；以及，通过在预定区域中进行分解反应并进行显影，在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而，在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号：CN1229228C
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN03146787.3
申请日：2003-07-10
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1645 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639
Abstract: 本发明提供一种为了制备便宜、精密、可信度高的液体喷出头的有用的微细结构体和微细空洞结构体的制备方法，还提供一种使用这些微细结构体的制备方法和微细空洞结构体的制备方法的液体喷出头的制备方法和由此得到的液体喷出头。将正型感光性材料作为微细结构体形成用材料使用，所述正型感光性材料含有3元共聚物，所述3元共聚物以丙烯酸酯为主体，含有热交联化用的丙烯酸和用于扩大灵敏度区域的单体单元。
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公开(公告)号：CN1475350A
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：CN03146783.0
申请日：2003-07-10
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1637 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , Y10T29/49401
Abstract: 提供使液体流路的3维形状优化，抑制弯曲液面振动，可高速地进行记录液体的再填充的流路形状和制造其喷液头的方法。在已形成了加热器的基板2011上用正型感光材料形成上、下2层结构的液体流路的模图案，对下层来说，在热交联化之后用于液体流路的形成。
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