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公开(公告)号:CN101204880A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200710160045.5
申请日:2007-12-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/162 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2002/14475 , B41J2202/11 , G03F1/00 , G03F1/50 , G03F1/70
Abstract: 本发明提供了制造液体排出头的方法,该液体排出头包括生成用于排出液体的能量的能量生成元件、和配备在面对能量生成元件的位置上并具有用于排出液体的排出口的排出部分。该方法包括如下步骤:在基板上形成用于形成排出口的构件的负光敏树脂层,以及将该层曝光于i线,以便形成在从基板到排出口的方向上变尖的排出部分,其中,对于用于曝光的光,该层具有每1μm厚度大约0.02到大约0.07的吸光度。
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公开(公告)号:CN1968816A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200580019606.9
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1645
Abstract: 一种制造喷墨头的方法,包括:在具有能量产生元件的基板上形成光降解性正型光刻胶层,通过光降解性正型光刻胶层的曝光和显影而形成变成油墨流路的结构,将具有所述结构的基板涂以负型光刻胶层,在负型光刻胶层中形成排墨口,和通过去除所述结构而形成油墨流路,其中光降解性正型光刻胶层包括至少包含得自(甲基)丙烯酸酯的单元和进一步包含得自(甲基)丙烯酸的单元的丙烯酸共聚物组合物。丙烯酸共聚物组合物包含比例5至30%重量的(甲基)丙烯酸单元,丙烯酸共聚物的重均分子量是50000至300000。
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公开(公告)号:CN1968815B
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN200580019601.6
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/038 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2002/14475 , Y10T29/49401
Abstract: 根据本发明,一种用于制造排液头的方法包括步骤:在其上排列有能量产生元件(2)以产生用于排出液体的能量的基板(1)上,形成用于形成流路的固体层(3);在其上设置有固体层的基板上形成用于覆盖固体层的涂层(4);在沉积在固体层的涂层中通过光刻工艺形成用于排出液体的排出口(7);和去除固体层以形成与能量元件和排出口连通的流路(8),其中用于涂层的材料包含阳离子聚合性化合物,阳离子光聚合反应引发剂和阳离子光聚合反应的抑制剂,和其中固体层的材料包含甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物,所述固体层与其中形成涂层的排出口的那部分形成边界。
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公开(公告)号:CN101204880B
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN200710160045.5
申请日:2007-12-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/162 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2002/14475 , B41J2202/11 , G03F1/00 , G03F1/50 , G03F1/70
Abstract: 本发明提供了制造液体排出头的方法,该液体排出头包括生成用于排出液体的能量的能量生成元件、和配备在面对能量生成元件的位置上并具有用于排出液体的排出口的排出部分。该方法包括如下步骤:在基板上形成用于形成排出口的构件的负光敏树脂层,以及将该层曝光于i线,以便形成在从基板到排出口的方向上变尖的排出部分,其中,对于用于曝光的光,该层具有每1μm厚度大约0.02到大约0.07的吸光度。
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公开(公告)号:CN1977219A
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN200580021473.9
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法,包括:形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应,并用显影液进行显影,从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤;以及,通过在预定区域中进行分解反应并进行显影,在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而,在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号:CN1977219B
公开(公告)日:2011-12-28
申请号:CN200580021473.9
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法,包括:形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应,并用显影液进行显影,从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤;以及,通过在预定区域中进行分解反应并进行显影,在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而,在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号:CN101103311B
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN200580021433.4
申请日:2005-06-24
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/038 , C08G59/18 , C08G59/40 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/40
Abstract: 阳离子可光致聚合环氧树脂组合物包括环氧树脂、阳离子光致聚合引发剂、阳离子聚合抑制剂和具有氟代烷基基团并且在其末端具有取代基的化合物,其中该取代基允许与该环氧树脂的环氧基发生交联反应。该阳离子可光致聚合环氧树脂组合物还包括热阳离子聚合催化剂。
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公开(公告)号:CN1229228C
公开(公告)日:2005-11-30
申请号:CN03146787.3
申请日:2003-07-10
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1645 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639
Abstract: 本发明提供一种为了制备便宜、精密、可信度高的液体喷出头的有用的微细结构体和微细空洞结构体的制备方法,还提供一种使用这些微细结构体的制备方法和微细空洞结构体的制备方法的液体喷出头的制备方法和由此得到的液体喷出头。将正型感光性材料作为微细结构体形成用材料使用,所述正型感光性材料含有3元共聚物,所述3元共聚物以丙烯酸酯为主体,含有热交联化用的丙烯酸和用于扩大灵敏度区域的单体单元。
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公开(公告)号:CN1475350A
公开(公告)日:2004-02-18
申请号:CN03146783.0
申请日:2003-07-10
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1637 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , Y10T29/49401
Abstract: 提供使液体流路的3维形状优化,抑制弯曲液面振动,可高速地进行记录液体的再填充的流路形状和制造其喷液头的方法。在已形成了加热器的基板2011上用正型感光材料形成上、下2层结构的液体流路的模图案,对下层来说,在热交联化之后用于液体流路的形成。
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公开(公告)号:CN1977218B
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN200580021603.9
申请日:2005-06-24
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1631 , B41J2/1603 , B41J2/1639 , G03F7/0392 , G03F7/2024
Abstract: 提供正型光敏树脂组合物,至少含有:在分子中具有羧酸酐结构的丙烯酸树脂;和当用光辐射时产生酸的化合物。
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