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公开(公告)号：CN116124286A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211621634.X
申请日：2022-12-16
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种基于MEMS可动微平台的光谱检测装置及其加工方法，属于光谱分析技术领域。本发明包括超表面、MEMS可动微平台、光阑、单点探测器和信号处理系统。超表面、MEMS可动微平台、光阑、单点探测器均位于入射光光轴上。超表面用于对入射光进行分光并汇聚，超表面由特征尺寸小于光谱仪工作波段的微结构构成。超表面所在平面与入射光光轴方向垂直。所述超表面用于对入射光进行聚焦，并根据波长不同，在光轴方向上不同位置产生相应焦点。本发明采用超表面作为色散元件，显著压缩色散元器件的体积；通过将超表面集成于MEMS可动微平台上，配合单点探测器即能够实现光谱信息的动态检测，无需昂贵的阵列探测器，显著降低光谱检测装置成本。
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公开(公告)号：CN115486800A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202210915262.5
申请日：2022-08-01
Applicant: 北京理工大学 , 佛山光微科技有限公司
Abstract: 本发明公开的一种基于MEMS的双模态耳科检测仪，属于医学成像领域。本发明包括OCT成像模块、超声成像模块、控制器、成像探头。将MEMS微镜、环形MEMS超声换能器等器件内置集成在检测仪成像探头端，通过MEMS微镜和超声换能器的通孔设置，充分利用MEMS微镜的小尺寸和大扫描角度，环形MEMS超声换能器小型化等特点，使得微镜实现前视扫描，提供更大OCT成像视场的同时保持较小的探头直径，达到OCT前视扫描成像与超声成像的双模态同时成像的效果。本发明还公开一种基于MEMS的大视场双模态耳科检测仪，成像探头端通过紧凑的光电和结构共轴设计，在保持较小尺寸的同时能够实现更大的OCT扫描成像范围。
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公开(公告)号：CN114019675B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202111155662.2
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本公开公开了一种二维微镜。该二维微镜包括外框架及套设于所述外框架内侧的内框架；所述外框架与所述内框架之间设置有第一驱动器；所述内框架的内侧设置有第二驱动器；所述第一驱动器和所述第二驱动器均为电热驱动器，或者，所述第一驱动器为电热驱动器、所述第二驱动器为静电驱动器；所述第一驱动器包括支撑梁及驱动臂组件；所述支撑梁连接在所述内框架的外侧，所述驱动臂组件与所述支撑梁连接，所述驱动臂组件设置有多个，多个所述驱动臂组件沿第一方向排布，所述第一方向为所述支撑梁的长度方向。
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公开(公告)号：CN110927960B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201911243735.6
申请日：2019-12-06
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
IPC: G02B26/06
Abstract: 本发明公开了一种热驱动可变形微镜，属于自适应光学系统技术领域。该微镜由镜片、电极、支梁和硅结构框架组成，支梁将镜片悬空支承在硅结构框架的中央，镜片由上至下分为三层，依次为金属反射层、二氧化硅层和硅层，支梁与镜片的硅层为同种材质整体成型，硅结构框架与支梁之间由二氧化硅层绝缘，电极设置在硅结构框架的表面与支梁相连，对电极通电后，支梁和镜片形成电流回路并发热，利用金属和硅的热膨胀系数不同使得镜片产生变形。本发明通过通电控制金属和硅两种不同材料的加热温度，达到镜面变形的目的。
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公开(公告)号：CN113796831B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202111015041.4
申请日：2021-08-31
Applicant: 佛山光微科技有限公司 , 北京理工大学
Abstract: 本申请提供了一种旋转内窥OCT探头，其技术方案要点是：包括用于伸入生物组织内的透明导管以及光纤，所述光纤设置在所述透明导管内，用于传输由光源发射的光线，其特征在于，所述透明导管内还包括有沿光线从光纤入射至生物组织方向依次排列的：自聚焦透镜，用于会聚光线；直角棱镜，用于将经过所述自聚焦透镜会聚后的光线反射至垂直于所述透明导管的方向；柱面镜，用于接收经过所述直角棱镜反射的光线，所述柱面镜靠近所述直角棱镜的一侧为平面，另一侧为凸面，所述柱面镜与所述透明导管之间设置有硅油。本申请提供的一种旋转内窥OCT探头具有成像分辨率高、体积小、结构紧凑的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119461230A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411634464.8
申请日：2024-11-15
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS的面内三轴大位移致动平台及其制造方法，主要包括外框架、十字岛框架、双向梳形驱动单元、长弹簧梁和短弹簧梁，制造步骤包括：使用磁中性环路放电等离子体（NLD）各向异性刻蚀玻璃衬底上的空腔结构，使用阳极键合工艺将带有空腔结构的BF33玻璃晶圆与低阻硅晶圆键合，减薄低阻硅晶，深硅刻蚀（DRIE）低阻硅晶圆形成电隔离沟道并填充BCB材料，使用化学机械抛光（CMP）工艺去除低阻硅晶圆表面BCB，溅射金属层及剥离（lift‑off）工艺形成导线层，深硅刻蚀（DRIE）低阻硅晶圆形成最终器件。本发明的有益效果：提升器件填充率，减小尺寸，提升结构刚度，响应速度，谐振频率和散热性能，同时提供一种将微动平台与CMOS芯片异质集成的打线方法。
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公开(公告)号：CN119197874A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411302954.8
申请日：2024-09-18
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种兼容CMOS的皮拉尼真空计的制造及温度补偿方法，涉及皮拉尼真空计领域，该制造方法包括：在硅衬底依次沉积第一层二氧化硅、多晶硅牺牲层、第二层二氧化硅、多晶硅热敏电阻部分、第三层二氧化硅和铝层；所述铝层用于形成引线和焊盘；采用反应离子刻蚀选择性去除二氧化硅，暴露出需要蚀刻的多晶硅牺牲层或硅衬底；采用各向同性刻蚀技术蚀刻所述多晶硅牺牲层，得到T型器件结构；或采用深硅刻蚀技术及各向同性刻蚀技术蚀刻所述硅衬底，得到L型器件结构。本发明可制造两种兼容CMOS的皮拉尼真空计；同时通过本发明的温度补偿方法还可以基于环境温度对输出性能的影响进行具体分析。
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公开(公告)号：CN118026086A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410202479.0
申请日：2024-02-23
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种CMOS MEMS双模态气体压力传感器及制作方法，属于传感器领域。双模态气体压力传感器，包括硅衬底层和二氧化硅结构层；二氧化硅结构层设置于硅衬底层上方；二氧化硅结构层包括禁锢区域和设置于中央的电容式与压阻式双模态的压力传感结构。本发明通过压阻式与电容式的双模态检测来实现高压与低压兼容的高线性度的精确检测，并利用压阻式与电容式压力传感器各自的压力传感优势，能够同时实现低压以及高压的精确检测，增大传感器的气压检测范围。本发明还公开双模态气体压力传感器的制作方法，利用CMOS工艺在同一传感器垂直方向上同时制作电容式与压阻式两种压力传感结构，且本发明制作无需掩模的Post‑CMOS工艺，避免复杂的光刻步骤。
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公开(公告)号：CN114047625B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202111157004.7
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本公开实施例提供了一种MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法；其中，MEMS微镜包括基底，镜面，静电吸合装置及驱动装置；镜面悬置于基底上；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于基底上，第二静电电极位于镜面上；驱动装置的一端与基底连接，驱动装置的另一端与镜面连接，驱动装置能够发生弯曲，驱动装置被构造为能够带动镜面相对于基底发生运动；在驱动装置弯曲的状态下，镜面能够朝向第一静电电极运动，并能够通过第二静电电极静电吸合在第一静电电极上。本公开实施例为MEMS微镜提供了一种抗冲击振动的方案，其镜面在不使用的情况下可以通过静电吸合在基底上。
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公开(公告)号：CN111580265B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202010349895.5
申请日：2020-04-28
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 公开了一种微机电系统微镜及其制作方法，该微镜包括：驱动器，驱动器包括驱动部和由驱动部支撑的结构平台，驱动部带动结构平台移动或转动；镜面结构，位于结构平台远离驱动部的一侧，且镜面结构远离结构平台的一侧至少具有一个可反射镜面；定位结构，包括至少一个凸起部和至少一个凹陷部，凸起部和凹陷部中的任意一者位于结构平台上，另一者位于镜面结构上，且凸起部与凹陷部相匹配，其中，结构平台在驱动部的带动下向靠近镜面结构的方向运动，由定位结构将结构平台和镜面结构相互连接匹配，形成微机电系统微镜。通过驱动部来使结构平台朝向镜面结构运动，又有定位部使二者相匹配，提高了微镜的表面质量，且无需人工参与，保护了微镜结构。
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