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公开(公告)号：CN102594015A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210080223.4
申请日：2012-03-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K7/102
CPC classification number: H02K7/1023
Abstract: 一种集成断电制动装置的Z轴伺服电机，属于半导体芯片设备制造领域，为了解决现有Z轴伺服电机的制动装置响应不够迅速、制动力矩不够大的问题。它由Z轴伺服电机和断电制动装置组成，断电制动装置包括环形侧壁、固定磨擦片、间距定位套、牙嵌齿轮、牙嵌磨擦片、活动磨擦片、弹性装置和电磁铁线圈，环形侧壁固定在Z轴伺服电机的端盖上，电磁铁线圈套在Z轴伺服电机的Z轴电机轴外侧，活动磨擦片与Z轴伺服电机端盖之间设置有弹性装置，牙嵌磨擦片套在Z轴电机轴的外侧，牙嵌齿轮位于Z轴电机轴和牙嵌磨擦片之间，和牙嵌磨擦片滑动啮合连接，固定磨擦片套在Z轴电机轴外，与Z轴伺服电机端面间设有间距定位套。用于硅片传输机器人的Z轴驱动装置。
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公开(公告)号：CN101888137A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN201010225879.1
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种伺服直驱模块，包括：编码器组件(1)、制动器组件(2)、制动器固定座(3)、电机后端盖(4)、电机前端盖(5)、滚珠丝母组件(6)、丝杠电机轴(7)、端部支撑器(8)、制动器定位平键(9)、轴承锁紧螺母(10)、轴承座(11)、轴承(12)、轴承压盖(13)、轴承定位套(14)、电机定子/转子组件(15)。本发明将分别独立的电机轴、传动丝杠、编码器/制动器安装轴合三为一，设计为一体式的丝杠电机轴(7)，具有更高的集成度、更好的传动精度、更小的结构尺寸的伺服直驱模块。
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公开(公告)号：CN101873036A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010225876.8
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K15/00
Abstract: 一种伺服电机转子与轴的联接结构，其中，伺服电机转子(2)、专用胶粘剂由伺服电机制造商提供，伺服电机转子配合孔公差为φD(H7)。伺服电机轴(1)与伺服电机转子(2)的配合部位开有直辊花槽。装配时，先将伺服电机转子(2)放入沸水中煮5～10min，同时将电机轴(1)配合表面清洗干净，表面均匀地涂一薄层胶粘剂。然后将伺服电机转子(2)从沸水中捞出，待表面水滴蒸发干净后，迅速套在电机轴(1)的相应部位，并以台虎钳压入到位。冷却后，进行胶粘剂的固化程序。结构合理，具有更高的联接精度、联接刚度和联接可靠性、可有效降低成本的联接结构。
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公开(公告)号：CN101865291A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010225903.1
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16J15/43
Abstract: 一种应用于高洁净环境下的磁流体密封结构，包括磁流体密封圈挡圈(1)、导磁套(2)、O型密封圈(3)、磁流体密封圈外接套(4)、联接螺钉(5)、磁流体密封圈(6)，所述磁流体密封结构将O型密封圈(3)套在磁流体密封圈外接套(4)外径的环型槽内；所述磁流体密封圈(6)装入磁流体密封圈外接套(4)的内径孔内，推至贴紧底面；所述磁流体密封圈挡圈(1)底面凸缘与磁流体密封圈外接套(4)内径相配合，使用联接螺钉(5)拧紧；所述导磁套(2)通过过盈配合装配在相对于磁流体密封机构旋转的心轴上。磁流体密封结构的系统(如R轴大臂)中的装配精度是通过精度替换法获得的。本发明的结构密封可靠。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN101436562B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810209690.6
申请日：2008-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J3/00 , B25J18/00 , B25J19/00
Abstract: 双臂晶圆传输机械手，它涉及一种晶圆传输机械手。本发明解决了现有的晶圆传输机械手存在的线路及气管连接的可靠性低、使用寿命短、竖直方向行程受限制而不能满足竖直方向大伸缩比运动的需求和拆装维修不便的问题。本发明的辅助丝杠驱动总成的辅助丝杠轴的上端穿过中法兰盘并保持悬浮状态，主丝杠驱动总成的主丝杠轴的上端穿过中法兰盘、Z轴滑动支架、T轴下法兰盘、T轴上法兰盘和R轴下法兰盘并保持悬浮状态，主花键导轨总成的主花键导轨花键轴的下端与中法兰盘固接，走线模块总成设置在T轴上法兰盘和R轴下法兰盘之间。本发明具有线路及气管连接的可靠性高、使用寿命长、实现了竖直方向较大的行程和拆装维修极方便的优点。
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公开(公告)号：CN100478133C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200410013768.9
申请日：2004-05-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 直接驱动三自由度串并联混合精密定位机构，它涉及一种精密定位机构的改进。本发明弯板(11)固定在机座(10)的一侧上，一号电机(1)和二号电机(9)的底座分别固定在机座(10)上，一号连杆(2)的一端与弯板(11)铰接，一号连杆(2)的另一端与三号连杆(4)和四号连杆(7)的一端铰接，二号连杆(3)的一端与一号电机(1)的输出端铰接，三号连杆(4)的另一端、二号连杆(3)的另一端和输出模块(5)由上至下依次铰接，四号连杆(7)的另一端与二号电机(9)的输出端铰接，四号连杆(7)的中段与五号连杆(8)的一端铰接，五号连杆(8)的另一端与输出模块(5)铰接，直线运动模块(6)固定在输出模块(5)上。本发明具有结构紧凑，定位精度高，动态性能好的优点。
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公开(公告)号：CN100342211C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200510010288.1
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双光栅位移传感器计数方式的位置检测装置及其检测方法，它具体涉及基于光栅位移传感器的大行程、高精度、高速度的位置检测装置及其方法，它是为了解决单个精密光栅尺无法同时达到大行程、高速度和高精度的位置检测要求的问题。本发明装置中微米级光栅位移传感器和纳米级光栅位移传感器的输出端分别连接计数及切换电路的两个输入端。本发明采用双光栅位移传感器计数方式，即在高速运动阶段由微米级光栅位移传感器检测高速位移；当进入低速运动时刻，由纳米级光栅位移传感器检测系统运动位移。本发明解决了现有的位置检测单元测量高速度与高精度相矛盾的问题，达到了cm级的测量行程、m/s级的测量速度和nm级的测量精度。
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公开(公告)号：CN1332786C
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200410013785.2
申请日：2004-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 滚珠花键驱动的三自由度串并联混合式机器人，它涉及一种具有新结构的工业机器人。现有机器人存在运动间隙、惯量大，机械建立时间也较长等不足。本发明所述导轨(5)的两端分别与上部基座(1-1)和底部基座(1-2)固接，所述丝杠(4)的上端与伺服电机(6)连接，所述第一花键驱动轴(3-8)的上端与第一音圈伺服电机(7-1)连接，所述第二花键驱动轴(3-9)的上端与第二音圈伺服电机(7-2)连接，所述第一花键驱动轴(3-8)和第二花键驱动轴(3-9)上的外环(3-3)分别与移动平台(2)相连，本发明的机器人结构新颖紧凑，移动惯量小、重量轻，可实现三自由度高速高精度运动，连杆的高刚度和光栅的全闭环控制保证了系统的高重复定位精度，因此该机器人系统可实现高速、高精度的三自由度运动。
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