多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法

    公开(公告)号:CN102795627A

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN201210203820.1

    申请日:2012-06-19

    CPC classification number: Y02P20/124

    Abstract: 本发明公开了一种多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法,包括有多参量红外监测探头、红外图像处理与视觉测量模块、工艺优化控制模块,通过多参量红外监测探头获取炉内硅棒红外图像,经数据采集模块采集、转换为数字图像后再由图像处理模块进行分析、处理,通过视觉测量技术得到硅棒直径和生长率,采用比色测温方法测量硅棒表面的温度分布,所得数据经用户接口接入显示器通过分析获取的测量数据,建立优化控制模型,结合不同多晶硅还原炉型进行闭环优化控制。本发明可对硅棒生长工艺过程进行优化控制,对节能降耗、提高生产效率、保障生产安全、减轻劳动强度均有极为重要的意义。

    远距离散射物微振动信号测量和保真拾取干涉仪

    公开(公告)号:CN1548936A

    公开(公告)日:2004-11-24

    申请号:CN03113478.5

    申请日:2003-05-14

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 远距离散射物微振动信号测量和保真拾取干涉仪,以光纤激光器为光源,其输出经保偏光纤和准直器后至偏振分束器A,其后,一路经λ/4波片投射出望远系统,聚焦到远距离目标物上,以其散射光为信号光;另一路作为本地参考光经由λ/4波片和反射镜反射回偏振分束器A;望远系统收集的信号光及本地参考光透过偏振分束器A后,先经半波片、再经过偏振分束器B分别至形成干涉信号的光电检测器D1和D2。本发明有效提高光源功率利用效率、降低系统相位噪声,实现远距离无合作目标微振动信号的测量和保真拾取。

    一种基于偏振原理的红外相机

    公开(公告)号:CN217643510U

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202221095458.6

    申请日:2022-05-09

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于偏振原理的红外相机,整个装置的结构包括底座,底座内部由两个红外相机模块和偏振分光棱镜构成的,底座的左侧面上有调节相机各种参数的按钮和相机电源的接口以及连接相机信号传输的接口,通过这些按钮和接口才能使相机正常的工作。与底座连接的一个长镜筒,两者是通过螺旋转动连接的。镜筒上有可以调节光圈大小的结构、一个手动调节相机焦距的结构以及一个方便将相机固定在观察工业探头上的卡槽。本实用新型的有益效果是提供了一种结构简单,且操作方便的红外相机,通过显示装置可以实现对检测结果的直接显示,方便了用户的观测,并且由于结构简单降低了成本,由相机偏振和红外特性可以透过雾霾和水汽观察目标现场的情况。

    一种基于Mie散射理论水雾中红外辐射衰减校正系统

    公开(公告)号:CN218765637U

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202223442566.9

    申请日:2022-12-21

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于Mie散射理论水雾中红外辐射衰减校正系统,包括,近红外CCD模拟相机探测器、七芯耐高温通讯电缆、网络视频服务器、电源模块和工控机,近红外CCD模拟相机探测器架设在连铸二冷室的墙壁上,本实用新型所述的一种基于Mie散射理论水雾中红外辐射衰减校正系统,采用Mie散射理论相关软件结合现场水雾粒子特性计算出水雾区的消光系数βext(λ)作为辐射测温系统的修正因子导入,提高现场非接触式测温的精度,基于Mie散射理论计算消光系数结合朗伯比尔定律对红外辐射测温仪的测量值进行修正,能够满足现场的生产需要,从而避免现场人工测量温度的滞后造成的产品问题,同时也能保障现场工人的安全。

    远距离散射物微振动信号测量和保真拾取干涉仪

    公开(公告)号:CN2612937Y

    公开(公告)日:2004-04-21

    申请号:CN03221860.5

    申请日:2003-05-14

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 远距离散射物微振动信号测量和保真拾取干涉仪,以光纤激光器为光源,其输出经保偏光纤和准直器后至偏振分束器A,其后,一路经λ/4波片投射出望远系统,聚焦到远距离目标物上,以其散射光为信号光;另一路作为本地参考光经由λ/4波片和反射镜反射回偏振分束器A;望远系统收集的信号光及本地参考光透过偏振分束器A后,先经半波片、再经过偏振分束器B分别至形成干涉信号的光电检测器D1和D2。本实用新型有效提高光源功率利用效率、降低系统相位噪声,实现远距离无合作目标微振动信号的测量和保真拾取。

    一种用于克服对射光路中炉壁形变影响的光机安装装置

    公开(公告)号:CN214582577U

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202120410530.9

    申请日:2021-02-25

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本实用新型属于对射式光路的光路准直方法技术领域,尤其为一种用于克服对射光路中炉壁形变影响的光机安装装置;包括加热炉炉壁和调整支架,所述加热炉炉壁的两侧通过法兰盘对称固定连接耐高温风管,所述耐高温风管的另一端通过法兰盘分别固定连接防爆箱;两个所述防爆箱内部分别固定连接光电探测器和激光二极管,所述耐高温风管上固定连接导气管,所述导气管上固定连接气阀开关;调整支架可以六向调节实现对防爆箱调节,有效的对激光出射光路进行调整,使得的发射端与接收端处于同一直线,气阀开关有效的控制氮气吹扫,一方面有助于于耐高温风管内环境清洁,另一方面能够使防爆箱和于耐高温风管得到有效的降温。

    基于彩色和近红外双CCD的图像测温探头

    公开(公告)号:CN2697613Y

    公开(公告)日:2005-05-04

    申请号:CN200320120719.6

    申请日:2003-12-12

    Abstract: 基于彩色和近红外双CCD的图像测温探头,其特征是采用带有高温护套的双光路高温光学镜头及两台CCD摄像机组成高温图像探头,两台CCD摄像机一台为高温彩色CCD摄像机、另一台为高温近红外CCD摄像机;该高温图像探头由位于炉壁外部的固定支架固定安装在开设在炉壁中的摄像孔中,由高温护套保护的双光路高温光学镜头置入在炉壁中。本实用新型可用于对炉膛内部工况进行监视、对加热件目标进行温度监测。还可通过进一步数据处理进而实现对炉内工况进行控制,以及对炉膛的燃烧控制,大大扩展工业电视的应用范围及功能。

    高温光纤光源
    38.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2646558Y

    公开(公告)日:2004-10-06

    申请号:CN03277339.0

    申请日:2003-07-30

    Abstract: 高温光纤光源,其特征是以导光光纤束为光源,导光光纤束设置在敞口金属护套内,在金属护套的外围设置有防护套,在防护套与金属护套之间形成有环状气流通道,该环状气流通道的出口位于导光光纤束的出光端,环状气流通道的入口位于防护套的尾部,并设置与外接气源连通的管接头。炉内所需不断补充的氮气或压缩空气在气流通道中流过,并由前端敞口充入炉膛,从而对导光光束进行强迫制冷,导光光纤束始终处于170℃以下的适温环境中。本实用新型照明区域大、热能及电能损耗小、运行成本低、能够在300~1800℃的内炉高温环境中正常工作。

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