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公开(公告)号：CN1596461A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN03801601.X
申请日：2003-09-11
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67034 , H01L21/02052
Abstract: 本发明提供一种旋转式硅晶片清洗装置，通过使以药物和纯水进行清洗处理后的硅晶片的氢气终端进行得更为完全，可使硅晶片的稳定性得到进一步提高。为此，本申请发明作为一种箱壳内设置有硅晶片的支持·旋转驱动装置，对经过药物清洗后的硅晶片以纯水进行清洗的旋转式硅晶片清洗装置，设置有硅晶片干燥装置，该硅晶片干燥装置由，附设在箱壳中的供给由含有0.05Vol％以上的氢气的氢气与惰性气体的混合气体的气体供给板块、一端连接在上述气体供给板块的气体混合器上的混合气体供给管、对上述混合气体供给管内的混合气体进行加热的混合气体加热装置、在与经上述混合气体加热装置加热的高温混合气体接触的部位具有可形成氢自由基的白金涂覆被膜的氢自由基生成装置等构成，通过将含有由上述氢自由基生成装置生成的氢自由基的混合气体，喷射到清洗后的进行旋转的硅晶片上，对硅晶片的外表面进行干燥和氢封端处理。
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公开(公告)号：CN1188250C
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN00815779.0
申请日：2000-11-06
IPC: B24B19/16
Abstract: 即使以一个砂轮和一台电焊条磨削机，也能够高效率且高精度地将电焊条的前端部整形成最终形状，并且能够将电焊条的头部精磨成镜面。为此，由本体1、磨削马达2、砂轮3、摇动板4、保持器导向器6、电焊条保持器7、电焊条旋转马达8、摇动板移动装置9构成电焊条磨削机；并且，电焊条A的中心线φa顺沿于与马达驱动轴2a的中心线φ相垂直的直线，同时，砂轮3的磨削部3a呈与电焊条A的最终形状相对应的形状形成，而且，在使砂轮3在磨削马达2的驱动下旋转的同时，使电焊条A在电焊条旋转马达8的驱动下旋转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1160562C
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：CN00809901.4
申请日：2000-06-05
CPC classification number: G01N25/32 , G01N33/0013
Abstract: 本发明的主要目的是简化气体检测传感器的构造，并且在有H2O和O2存在的条件下，可高精度地检测被检测气体内的可燃性气体的浓度和含有可燃性气体的被检测气体内的氧气的浓度。为了达到上述目的，本发明的气体检测传感器是通过可燃性气体的接触反应而使传感器发热，通过该发热而发出可燃性气体的检测信号的气体检测传感器，由以下部分构成：膜片，该膜中在被检测气体所接触的接气面上具有白金镀层薄膜；第1检测传感器，该检测传感器由两种不同金属的一端分别接近上述膜片的非接气面地固定的热电偶构成，通过可燃性气体的接触反应而被加热；具有与被检测气体相接触的接气面的膜片；对被检测气体的温度进行检测的第2检测传感器，该传感器由两种不同金属的一端分别接近上述膜片的非接气面地固定的热电偶构成。
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公开(公告)号：CN1516235A
公开(公告)日：2004-07-28
申请号：CN200410003341.0
申请日：2000-07-21
IPC: H01L21/00
CPC classification number: B01J3/006 , B01J7/00 , B01J12/007 , C01B5/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种安全的减压型水分发生供给装置，该装置减压供给水分气体，较高地保持水分发生用反应炉的内压，这样，可防止氢的自燃，本发明的另一目的是提供一种水分发生用反应炉，是通过对水分发生用反应炉高效率地进行冷却，便可在不增大反应炉尺寸的情况下使水分发生量大幅度增加的水分发生用反应炉。因此，其特征在于：由水分发生用反应炉和减压机构构成，其中水分发生用反应炉是由氢和氧通过催化剂反应而发生水分气体；减压机构设在该水分发生用反应炉的下流侧，水分气体通过该减压机构减压后供给下流侧，与此同时较高地保持反应炉内的内压。
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公开(公告)号：CN1376632A
公开(公告)日：2002-10-30
申请号：CN02107862.9
申请日：2002-03-25
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: C01B5/00 , B01J12/007
Abstract: 一种高效率地产生水分发生反应的水分发生用反应炉。包括:供给原料气体的入口侧炉主体部件4:从水气供给路28供应水气的出口侧炉主体部件20;密封地夹在两个炉主体部件4和20之间的反射体12,在其主要部位设有数个吹入孔16,以便与入口侧空间部8连通;在反射体12和出口侧炉主体部件20之间留有微小间隙d而形成的反应室18;形成于出口侧炉主体部件上的喷嘴孔24,以连通反应室18和出口侧炉主体部件20的水气供给路28;形成于与反射体12相向的反应室壁面20a上的包覆催化剂层21,其特征在于:氢和氧从反射体12的吹入孔16呈紊流状地流入反应室18内,利用上述包覆催化剂层21的活性化作用,使氢和氧在非燃烧状态下反应产生水气。
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公开(公告)号：CN1356961A
公开(公告)日：2002-07-03
申请号：CN00801205.9
申请日：2000-06-05
IPC: C01B5/00
Abstract: 本发明的主要目的为,更彻底地防止水分发生用反应炉体内部中氢气着火或气体供给源一侧回火的发生以及镀铂触媒层的剥离,进一步提高水分发生用反应炉的安全性,同时减少反应炉体的内部空间的未利用空间,使反应炉体进一步小型化。为此,在本发明中,有气体供给口1a的入口侧炉体构件1和有水汽出口2a的出口侧炉体构件2对置状组装,通过将两者焊接形成反应炉体A,其内部空间V内设有反射体的同时在前述出口侧炉体构件2的内壁面形成镀铂触媒层8,从气体供给口1a供给反应炉体A的内部空间V内的氢气与氧气与镀铂保护膜8b接触使其活性化反应,从而使氢气与氧气在非燃烧状态下反应,产生水。
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公开(公告)号：CN1319075A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：CN00801626.7
申请日：2000-07-21
IPC: C01B5/00
CPC classification number: B01J3/006 , B01J7/00 , B01J12/007 , C01B5/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种安全的减压型水分发生供给装置,该装置减压供给(例如数托)水分气体,较高地保持水分发生用反应炉的内压,这样,可防止氢的自燃,本发明的另一目的是提供一种水分发生用反应炉,是通过对水分发生用反应炉高效率地进行冷却,便可在不增大反应炉尺寸的情况下使水分发生量大幅度增加的水分发生用反应炉。因此,本发明的减压型水分发生供给装置的特征在于:由水分发生用反应炉和减压机构构成,其中水分发生用反应炉是由氢和氧通过催化剂反应而发生水分气体;减压机构设在该水分发生用反应炉的下流侧,水分气体通过该减压机构减压后供给下流侧,与此同时较高地保持反应炉内的内压。本发明的散热式水分发生用反应炉由将入口侧炉主体部件和出口侧炉主体部件组合起来而形成有内部空间的反应炉主体、和贴紧在上述各炉子主体部件的外壁面上的散热片底板、及立设在该散热片底板上的多个散热用散热片构成,利用上述散热用散热片对发生的热量进行强制性辐射,使反应炉的温度降低。并且,对散热用散热片进行氧化铝膜加工,使热辐射率大幅度提高,而使散热效率进一步提高。
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