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公开(公告)号：CN108780332A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780004964.5
申请日：2017-02-23
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明所涉及的流量控制装置具有：控制阀；设置于所述控制阀的下游侧的第一流路；第二流路；和设置于所述第一流路和所述第二流路之间的扩张室，所述第二流路设置在与所述第一流路的延长线不同的位置。
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公开(公告)号：CN1114059C
公开(公告)日：2003-07-09
申请号：CN00801268.7
申请日：2000-09-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明实现了不用烘烤法、而通过常温排气处理即可有效地除去吸附水分的供气系统的水分去除法。本发明为一种使除水分气体在供气系统中流动而除去残留在供气系统内的水分的方法，其特征为，将除水分气体的流压设定成大于或等于其气流成为粘性流的最小压力，并且小于或等于除水分气体流通温度的饱和水蒸气压。此外，所述除水分气体成为粘性流的条件是通过气体分子的平均自由行程小于供气系统配管的直径来判定。如果在这样的条件下对除水分气体进行常温排气，则能够有效地除去在配管内面或阀及过滤器件内的吸附水分。
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公开(公告)号：CN1279582C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200410003341.0
申请日：2000-07-21
IPC: H01L21/00
CPC classification number: B01J3/006 , B01J7/00 , B01J12/007 , C01B5/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种安全的减压型水分发生供给装置，该装置减压供给(例如数托)水分气体，较高地保持水分发生用反应炉的内压，这样，可防止氢的自燃，本发明的另一目的是提供一种水分发生用反应炉，是通过对水分发生用反应炉高效率地进行冷却，便可在不增大反应炉尺寸的情况下使水分发生量大幅度增加的水分发生用反应炉。因此，本发明的减压型水分发生供给装置的特征在于：由水分发生用反应炉和减压机构构成，其中水分发生用反应炉是由氢和氧通过催化剂反应而发生水分气体；减压机构设在该水分发生用反应炉的下流侧，水分气体通过该减压机构减压后供给下流侧，与此同时较高地保持反应炉内的内压。本发明的散热式水分发生用反应炉由将入口侧炉主体部件和出口侧炉主体部件组合起来而形成有内部空间的反应炉主体、和贴紧在上述各炉子主体部件的外壁面上的散热片底板、及立设在该散热片底板上的多个散热用散热片构成，利用上述散热用散热片对发生的热量进行强制性辐射，使反应炉的温度降低。并且，对散热用散热片进行氧化铝膜加工，使热辐射率大幅度提高，而使散热效率进一步提高。
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公开(公告)号：CN1376914A
公开(公告)日：2002-10-30
申请号：CN02107863.7
申请日：2002-03-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N27/16
Abstract: 一种未反应气体检测装置,可准确地检测出残留在目标气体中的可燃性未反应气体浓度,安全地供应原料气体。本发明的未反应气体检测装置40包括:炉主体;与炉主体相连接的传感器主体44;形成于该传感器主体44内,使上述目标气体流通的测定用空间46;具有促进反应用的催化剂层74的温度测定部72c的;设有温度测定部70c的目标气体温度检测传感器70。利用上述促进反应用催化剂层74使残留于目标气体中的未反应气体反应,检测温度测定部72c的温度上升情况,同时用上述温度测定部70c测定目标气体温度To,根据未反应气体检测传感器温度T与目标气体温度之温度差ΔT(=T－To)检测未反应气体浓度。
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公开(公告)号：CN1316044A
公开(公告)日：2001-10-03
申请号：CN00801268.7
申请日：2000-09-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明实现了不用烘烤法、而通过常温排气处理即可有效地除去吸附水分的供气系统的水分去除法。本发明为一种使除水分气体在供气系统中流动而除去残留在供气系统内的水分的方法,其特征为,将除水分气体的流压设定成大于或等于其气流成为粘性流的最小压力,并且小于或等于除水分气体流通温度的饱和水蒸气压。此外,所述除水分气体成为粘性流的条件是通过气体分子的平均自由行程小于供气系统配管的直径来判定。如果在这样的条件下对除水分气体进行常温排气,则能够有效地除去在配管内面或阀及过滤器件内的吸附水分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103003766B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201180037208.5
申请日：2011-06-28
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F7/005 , G01F1/34 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F25/0053 , G05D7/0652 , Y10T137/0324
Abstract: 仅将被校正流量控制器的出口侧开闭阀开放，而使设定流量的气体向校正单元（5）流入，在箱内气体压力及气体温度稳定的时刻t0，计测第1次的箱内的气体温度T0及气体压力P0，然后将校正单元（5）的出口侧开闭阀（V2）封闭，进行向箱（BT）内的气体的积累，在时刻t1将入口侧开闭阀（V1）封闭，并在该入口侧开闭阀（V1）的封闭后的时刻t2计测第2次的气体温度T2及气体压力P2，根据各计测值将气体流量Q作为Q=（22.4V/R？Δt）×（P2/T2－P0/T0）（其中，V是箱（BT）的内容积，R是气体常数，Δt是积累时间t1－t0）运算，通过设定气体流量与运算气体流量Q的对比进行流量校正。
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公开(公告)号：CN103003766A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180037208.5
申请日：2011-06-28
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F7/005 , G01F1/34 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F25/0053 , G05D7/0652 , Y10T137/0324
Abstract: 仅将被校正流量控制器的出口侧开闭阀开放而使设定流量的气体向校正单元（5）流入，在箱内气体压力及气体温度稳定的时刻t0，计测第1次的箱内的气体温度T0及气体压力P0，然后将校正单元（5）的出口侧开闭阀（V2）封闭而进行向箱（BT）内的气体的积累，在时刻t1将入口侧开闭阀（V1）封闭，并在该入口侧开闭阀（V1）的封闭后的时刻t2计测第2次的气体温度T2及气体压力P2，根据各计测值将气体流量Q作为Q=（22.4V/R･Δt）×（P2/T2－P0/T0）（其中，V是箱（BT）的内容积，R是气体常数，Δt是积累时间t1－t0）运算，通过设定气体流量与运算气体流量Q的对比进行流量校正。
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公开(公告)号：CN100341775C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN00801626.7
申请日：2000-07-21
IPC: C01B5/00
CPC classification number: B01J3/006 , B01J7/00 , B01J12/007 , C01B5/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种安全的减压型水分发生供给装置，该装置减压供给(例如数托)水分气体，较高地保持水分发生用反应炉的内压，这样，可防止氢的自燃，本发明的另一目的是提供一种水分发生用反应炉，是通过对水分发生用反应炉高效率地进行冷却，便可在不增大反应炉尺寸的情况下使水分发生量大幅度增加的水分发生用反应炉。因此，本发明的减压型水分发生供给装置的特征在于：由水分发生用反应炉和减压机构构成，其中水分发生用反应炉是由氢和氧通过催化剂反应而发生水分气体；减压机构设在该水分发生用反应炉的下流侧，水分气体通过该减压机构减压后供给下流侧，与此同时较高地保持反应炉内的内压。本发明的散热式水分发生用反应炉由将入口侧炉主体部件和出口侧炉主体部件组合起来而形成有内部空间的反应炉主体、和贴紧在上述各炉子主体部件的外壁面上的散热片底板、及立设在该散热片底板上的多个散热用散热片构成，利用上述散热用散热片对发生的热量进行强制性辐射，使反应炉的温度降低。并且，对散热用散热片进行氧化铝膜加工，使热辐射率大幅度提高，而使散热效率进一步提高。
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公开(公告)号：CN1202987C
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN00801205.9
申请日：2000-06-05
IPC: C01B5/00
Abstract: 本发明的主要目的为，更彻底地防止水分发生用反应炉体内部中氢气着火或气体供给源一侧回火的发生以及镀铂触媒层的剥离，进一步提高水分发生用反应炉的安全性，同时减少反应炉体的内部空间的未利用空间，使反应炉体进一步小型化。为此，在本发明中，有气体供给口1a的入口侧炉体构件1和有水汽出口2a的出口侧炉体构件2对置状组装，通过将两者焊接形成反应炉体A，其内部空间V内设有反射体的同时在前述出口侧炉体构件2的内壁面形成镀铂触媒层8，从气体供给口1a供给反应炉体A的内部空间V内的氢气与氧气与镀铂保护膜8b接触使其活性化反应，从而使氢气与氧气在非燃烧状态下反应，产生水。
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