公开(公告)号：CN2729708Y

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN200420037022.7

申请日：2004-06-22

Applicant: 浙江大学

Inventor： 杨甬英 ,  卓永模

IPC: G01N21/956 ,  G01N21/88

Abstract: 本实用新型公开了一种光滑表面疵病的自动化检测系统。依次具有光学显微变焦系统、光源、扫描工作台以及图像采集与数据处理系统，光学显微变焦系统依次具有CCD、可变焦的显微放大系统，光源依次具有白炽灯光源、多方位角排布的光纤、柯拉照明头、光纤角度可调架，扫描工作台依次具有子孔径扫描的X、Y工作台驱动电路，X、Y方向扫描的电机、X、Y扫描工作台、在扫描工作台内即被检面的下部设有暗背景，图像采集与数据处理系统具有监控器、图像采集系统、计算机、计算机数字化模式处理系统。本实用新型采用了客观的数字化评价系统，对疵病检测的准确度远远高于目视的主观观察；采用了自动化的扫描及数据处理方法，被测件为大口径时，大大提高了检测的工作效率。

公开(公告)号：CN2356314Y

公开(公告)日：1999-12-29

申请号：CN98247446.6

申请日：1998-12-27

Applicant: 浙江大学现代光学仪器研究所

Inventor： 卓永模 ,  牟旭东 ,  杨甬英 ,  游艺锋

IPC: G01B9/04

Abstract: 一种激光扫描力显微镜，其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成，光源1采用半导体激光器，入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上，形成反射光和衍射光共路干涉，通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较，本方案具有结构简单紧凑，性能稳定可靠，有利于实现小型化等优点，纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。

公开(公告)号：CN2320982Y

公开(公告)日：1999-05-26

申请号：CN98223137.7

申请日：1998-01-21

Applicant: 浙江大学

Inventor： 卓永模 ,  杨甬英 ,  徐敏 ,  张为权

IPC: G01B11/24

Abstract: 一种激光双焦干涉球面轮廓仪,其特征是设有双焦透镜组4和五维扫描工作台6。同现有技术比较,其优点是仪器抗干扰能力强,适用范围广,检测精度高,如能对各种反射率的球面微观轮廓和平面微观轮廓进行精密检测,纵向分辩率为0.1nm,横向分辩率为1μm。