公开(公告)号：CN101092233A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710004745.5

申请日：2007-01-30

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 高泳哲 ,  赵镇佑 ,  朴勇和 ,  郑喜文

IPC: B81B5/00 ,  B81C5/00 ,  H02K16/02 ,  H02K21/00 ,  H02K29/00 ,  H01F7/00

CPC classification number: B81B3/0062 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/085 ,  H02K33/18

Abstract: 本发明提供一种双轴微机电系统(MEMS)装置。该MEMS装置包括移动板、台、驱动线圈、一对磁体、以及轭磁性体。该移动板被共轴支承在垂直于第二轴设置的第一轴上从而绕该第一轴枢转地移动。该台在该移动板的内部区域中被共轴支承在该第二轴上。该驱动线圈包括沿该驱动板的第一轴布置且通过所述台在中心分开的共轴线圈部分、以及第一连接线圈部分和第二连接线圈部分。该对磁体分别设置。该轭磁性体设置在该对磁体之间在该磁体之上或之下的区域中并由能够被该磁体磁化的材料形成，从而根据该对磁体之间的距离突然地改变磁通密度。该MEMS装置提供了绕两个轴的可靠驱动并使旋转力加倍。