公开(公告)号：CN104570334B

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201410578340.2

申请日：2014-10-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 儿嶋长子 ,  沟口安志

IPC: G02B26/10 ,  G02B27/01

CPC classification number: G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  G02B27/0101 ,  G02B27/0172

Abstract: 本发明涉及光扫描仪、图像显示装置、头戴式显示器以及平视显示器。光扫描仪的特征在于，具备：可动板，其具备光反射部；第一扭杆弹簧部，其将上述可动板支承为能够绕第一轴摆动；位移部，其与上述第一扭杆弹簧部连接；第二扭杆弹簧部，其将上述位移部支承为能够绕与上述第一轴交叉的第二轴摆动；永磁铁，其以相对于上述第一轴以及上述第二轴倾斜的方式设置于上述位移部；以及线圈，其与上述位移部隔开设置，并产生作用于上述永磁铁的磁场，上述位移部具备包围上述可动板的框部、和厚度比上述框部薄且从上述框部向与上述第二扭杆弹簧部延伸的方向交叉的方向延伸的阻尼部。

公开(公告)号：CN109683308A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201910104795.3

申请日：2019-02-01

Applicant: 西安知微传感技术有限公司

Inventor： 宋秀敏 ,  夏长锋 ,  游桥明 ,  乔大勇 ,  何伟

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/085

Abstract: 本发明属于微光机电领域，具体涉及降低摇摆运动的电磁驱动振镜，包括电磁振镜芯片、结构体及驱动磁路；结构体用于固定电磁振镜芯片及驱动磁路；电磁振镜芯片包括可动结构、扭转梁及固定框架，可动结构通过扭转梁固定在固定框架上；驱动磁路用于驱动可动结构运动；可动结构包括可动镜面及设置在可动镜面反面的磁性材料；定义可动镜面位于水平位置时，可动镜面上表面中心为原点，Z轴垂直于可动镜面；可动结构重心在Z轴上，且可动结构重心Z向坐标与扭转梁Z向中心坐标相同。通过匹配振镜扭转梁与振镜重心的位置，减小振镜扭转梁与振镜重心的偏离程度，降低了振镜摇摆运动。

公开(公告)号：CN109283779A

公开(公告)日：2019-01-29

申请号：CN201710595171.7

申请日：2017-07-20

Applicant: 深圳光峰科技股份有限公司

Inventor： 李屹

IPC: G03B21/20 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/08 ,  G03B21/20 ,  G03B21/2046 ,  G02B26/085

Abstract: 本发明公开了一种用于改变光路的装置及其可调的激光投影装置。该用于改变光路的装置包括：主结构；至少一个轴芯，以及缠绕设置在所述轴芯上的线圈；承载件，设置在所述轴芯的一端，用于承载所述轴芯；反射件，设置在所述承载件上，用于反射入射光；至少两个弹性连接件，所述弹性连接件用于将所述承载件固定在所述主结构上；至少一个磁性件，设置在所述主结构靠近所述轴芯的表面上；在所述线圈输入驱动电流时，所述线圈和所述轴芯带动所述承载件沿朝向或者远离所述磁性件的方向运动，使得所述承载件带动所述反射件产生偏转，以改变经所述反射件反射后出射光的光路。本发明通过驱动电流控制用于改变光路的装置的运动，实现快速和准确地改变光路。

公开(公告)号：CN103969827B

公开(公告)日：2018-02-27

申请号：CN201410039671.9

申请日：2014-01-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 沟口安志

IPC: G02B26/10 ,  G02B27/01

CPC classification number: G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  G02B27/1053

Abstract: 本发明提供一种能够降低反射光的亮度来提高通过反射光的扫描而描绘的图像的对比度的光扫描仪、图像显示装置、头戴式显示器以及光扫描仪的制造方法。光扫描仪（4）具有能够绕第1轴J1摆动的可动部（41）、和将可动部（41）支承为能够绕第1轴J1摆动的第1轴部（421、422）。另外，可动部（41）具有与第1轴部（421、422）连接的基部（411）、被基部（411）支承的具有透光性的光透过部（412）、以及设置在光透过部（412）的表面并降低光反射的第1光反射降低部（413）。

公开(公告)号：CN103229074B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201180058265.1

申请日：2011-09-22

Applicant: 爱克发医疗保健公司

Inventor： G.赖泽 ,  S.迈尔

IPC: G01T1/29 ,  G02B26/10 ,  G02B27/02 ,  G03B42/02 ,  H04N1/00 ,  H04N1/047 ,  H04N1/053 ,  G06K15/12 ,  G02B26/08 ,  H02K33/16

CPC classification number: G01T1/2014 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  G03B42/08 ,  H04N1/053 ,  H04N1/1135 ,  H04N2201/0412 ,  H04N2201/0471 ,  H04N2201/04729 ,  H04N2201/04732 ,  H04N2201/04744 ,  H04N2201/04755 ,  H04N2201/04789

Abstract: 本发明涉及用于读取在存储荧光层（1）中所存储的X射线信息的设备和相应的方法，所述设备具有：光源（2），用于产生激励光束（3），所述激励光束可以激发存储荧光层（1）用以发出发射光；和偏转元件（4），用于以如下方式偏转激励光束（3），使得偏转的激励光束（3’）在存储荧光层1）上运动。为了以尽可能简单和成本低的方式实现所获得的X光图像的尽可能高的质量，设置驱动装置（5），用于通过根据所偏转的激励光束3’）的方位和/或根据偏转元件（4）的位置、尤其是角位置向偏转元件（4）给出驱动能量来驱动偏转元件（4）。

公开(公告)号：CN104221058B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380015506.3

申请日：2013-03-13

Applicant: 苹果公司

Inventor： N·查亚特 ,  Y·格森

IPC: G06T17/00 ,  G02B26/10

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01S7/4817 ,  G01S17/10 ,  G01S17/42 ,  G01S17/89 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105 ,  H01L21/50

Abstract: 本发明公开了一种光学扫描设备(64)，该光学扫描设备包括基底(68)，该基底被蚀刻以限定两个或更多个平行微镜(102)的阵列(100)以及围绕微镜的支座(72)。相应主轴(106)将微镜连接到支座，从而限定微镜相对于支座的相应平行旋转轴。一个或多个柔性耦合构件(108)连接到微镜以便同步微镜围绕相应轴的振荡。

公开(公告)号：CN103430434B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201280014388.X

申请日：2012-03-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 日野真希子 ,  沟口安志

IPC: H02K33/00 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10

CPC classification number: H02K33/16 ,  G02B26/085

Abstract: 一种致动器，其特征在于，具有：可动部，其能够绕摆动轴摆动；连结部，其从上述可动部延伸出，并且随着上述可动部的摆动而产生扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，在从上述可动部的厚度方向进行俯视观察时，上述可动部呈十字状。

公开(公告)号：CN103238099B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201080070446.1

申请日：2010-12-01

Applicant: 英特尔公司

Inventor： L.基尔赫尔 ,  N.阿贝勒

IPC: G02B26/08 ,  H04N9/31 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/101 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0858 ,  G02B26/0866

Abstract: 根据本发明，提供一种投射图像的方法，该方法包括以下步骤：提供光信号，光信号构造成使得其能够被投射到显示表面上以显示图像；使用与第一反射表面可操作地相配合的致动器通过将第一致动信号应用于第一反射表面来使第一反射表面振动，以在显示表面上扫描光信号，其中第一致动信号的上升时间或下降时间与第一反射表面的振动的谐振频率成反比。

公开(公告)号：CN105229511A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201380055371.3

申请日：2013-10-22

Applicant: 苹果公司

Inventor： R·埃尔里奇 ,  Y·格尔森 ,  A·斯庞特

IPC: G02B26/08 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/58 ,  H01L21/68

CPC classification number: G02B26/0833 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  B81C1/00484 ,  B81C1/00904 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/0001

Abstract: 本发明公开了一种用于由半导体材料的晶片(170)加工器件(206)的方法，该方法包括通过使用湿法蚀刻工艺从晶片的至少第一侧移除半导体材料来在器件的区域中局部减薄晶片至预定义的厚度，并且在器件的区域中蚀穿所减薄的晶片以便释放器件的运动部件(202)。还描述了用于进行加工的其他方法和系统。

公开(公告)号：CN105143958A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201380075931.1

申请日：2013-04-24

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·穆霍 ,  H·格鲁茨埃克 ,  F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 ,  Z·莱什詹 ,  S·赖斯

IPC: G02B26/08 ,  H01F7/06

CPC classification number: H02K41/0356 ,  G02B26/085 ,  H01F2007/068 ,  H02K15/0068 ,  Y10T29/49011

Abstract: 本发明涉及一种微机械部件，其具有：保持装置(10)；驱动体(12)，所述驱动体具有至少一个设置在其上的线圈装置(16)，所述线圈装置通过至少一个弹簧(20)如此与所述保持装置(10)连接，使得所述驱动体(12)由于引导通过所述至少一个线圈装置(16)的电流的和在所述至少一个线圈装置(16)上出现的磁场(24)的相互作用可以置于驱动运动；调节元件(14)，所述调节元件如此与所述驱动体(12)连接，使得所述调节元件(14)可以借助已置于所述驱动运动的驱动体(12)置于具有至少一个围绕转动轴线(32)定向的运动分量的偏移运动，其中所述驱动体(12)和所述调节元件(14)通过所述至少一个连接元件(28，30)如此彼此布置，使得所述转动轴线(32)与所述驱动体(12)的重心(S)间隔开地延伸。此外，本发明还涉及一种用于微机械部件的制造方法。