MEMS光纤声振动传感器及其制备方法、性能标定系统和标定方法

    公开(公告)号:CN114509149A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202210082560.0

    申请日:2022-01-24

    Applicant: 上海大学

    Inventor: 王驰 陈伟

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS光纤声振动传感器及其制备方法、性能标定系统和标定方法。传感器以硅晶片为基底,在硅晶片上部有二氧化硅层和氮化硅层,在二氧化硅层下部有金层;超小光纤镜头封装在陶瓷插芯内。本发明标定系统包括扫频激光器、宽带50/50熔融耦合器、环形器、标准声压计、MEMS光纤声振动传感器、扬声器、信号发生器、光纤准直器、平面反射镜、光电平衡探测器、数据采集卡、计算机。标定方法:将传感器和标准声压计同距离正对扬声器,通过调节信号发生器输入信号电压,发射声压大小不同的声音信号,标准声压计用于检测传感器所受声压大小,信号解调后得到传感器薄膜振动幅值,获得传感器薄膜振动幅值与声压大小关系,得到传感器的声压灵敏度标定函数。本发明可实现干涉光信号的解调,达到还原声音信号的目的,适用于电磁干扰、易燃易爆、狭长深孔空间等恶劣环境的声音信息采集。

    一种三自由度并联微动平台

    公开(公告)号:CN109093598A

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201811000643.0

    申请日:2018-08-30

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种三自由度并联微动平台,包括静平台、动平台、柔性铰链、薄壁驱动器件;所述动平台通过直角型的柔性铰链与静平台连接在一起,所述薄壁驱动器件直接黏贴在柔性铰链上,实现动平台在平面内的两个方向直线运动及平面内旋转运动。本发明由于连接动静平台的四个柔性铰链是对称分布以及驱动器为薄壁驱动器件,所以微动平台可以单独实现一维、二维和三维的运动。薄壁驱动器件直接黏贴在柔性铰链上,所以微动平台结构紧凑、尺寸较小,还可进行振动抑制。

    超小光纤镜头的制作装置
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105511021B

    公开(公告)日:2018-08-07

    申请号:CN201610002525.8

    申请日:2016-01-06

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明公开了种超小光纤镜头的制作装置及方法,本装置主要包括光纤熔接单元、光纤切割单元、固定底座和外封装箱体,光纤熔接单元和所述光纤切割单元置于所述固定底座固定,光纤熔接单元、光纤切割单元和固定底座利用所述外封装箱体封装;固定底座包括卡槽、卡槽二;光纤熔接单元和光纤切割单元分别通过卡槽和卡槽二固定于固定底座上。根据本发明提供的超小光纤镜头的制作装置及方法,可实现超小光纤镜头的快速、精确制作,而且操作容易、便捷。

    自聚焦光纤聚焦常数g的测量装置和方法

    公开(公告)号:CN104535302B

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201410823903.X

    申请日:2014-12-26

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明公开了一种自聚焦光纤聚焦常数g的测量装置及方法,本测试装置包括预处理光纤装置及测量光纤折射率装置。将盖玻片凝胶于样品腔底部开孔处中心,清洁样品腔并注入匹配液至充满。将裸光纤装入光纤夹具中,经切割、抛光处理后,装夹在夹持架中。推动光纤直到其端面与盖玻片接触。在计算机中设置自动对准和一维线性扫描方式,快速获取折射率分布轮廓图。根据测量装置检测的折射率分布轮廓图,提取纤芯内折射率数据,采用曲线拟合算法,实现对自聚焦光纤聚焦常数g和中心折射率n0的测量。

    车载式声-地震耦合检测装置

    公开(公告)号:CN102768363B

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201210239765.1

    申请日:2012-07-12

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明公开了一种车载式声-地震耦合检测装置,包括由信号发生器、调音台、功率放大器、扬声器、扬声器承载车构成的声波发射系统,由地震检波器、数据采集卡和计算机构成的地表振动速度检测系统。扬声器承载车包括扬声器固定框、高度调整板、角度调整板、承载车底座、带挡块的万向脚轮和不带挡块的万向脚轮。本发明的声波入射角和声源高度可以进行连续调整,可以用于声-地震耦合的理论研究,特别是为声-地震耦合的最佳入射角和声源高度对声-地震耦合效率的影响问题研究提供了一个便捷的检测装置。

    一种方位可调的高频变低频声波发射装置

    公开(公告)号:CN103008217B

    公开(公告)日:2014-12-31

    申请号:CN201210532323.6

    申请日:2012-12-12

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明公开了一种方位可调的高频变低频声波发射装置,包括计算机、信号处理器、电机控制模块、转动平台和声学参量阵,所述计算机依次通过导线连接信号处理器和所述声学参量阵,构成声波发射系统;所述转动平台通过导线连接所述电机控制模块和所述计算机,构成方位调整系统。声波发射系统用于发出高指向性正弦声波,在发射方向的某一位置会产生一个幅值较大的低频声波,该低频声波可用于声学探测。所述声学参量阵安装在所述转动平台上,可通过计算机控制方位调整系统使之实现两个方向的转动。本发明可实现对一个区域内任意点远距离高指向性低频声波的发射。

    地雷固有频率的声光测量装置及方法

    公开(公告)号:CN103017888B

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201210532324.0

    申请日:2012-12-12

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明公开了一种地雷固有频率的声光测量装置,包括信号发生器、声波发射系统、激光多普勒振动计、数据采集卡、计算机、地雷箱、土壤样品和小反射镜,信号发生器通过导线连接声波发射系统,激光多普勒振动计依次通过数据线连接所述数据采集卡和计算机,土壤样品装入地雷箱,在装入地雷箱中的土壤样品上放置所述小反射镜。通过信号发生器发出连续扫频的低频声波,并通过激光多普勒振动计检测小反射镜上的振动信号,求出在有、无地雷样品掩埋情况下的振动信号的幅频特性曲线,并通过求比值的方法找出地雷的固有频率。本发明提供的地雷固有频率声光检测装置及方法能实现地雷固有频率的非接触式快速准确测量。

    远距离高指向性低频声波发射与测量装置及方法

    公开(公告)号:CN103033258A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210532224.8

    申请日:2012-12-12

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明公开了一种远距离高指向性低频声波发射与测量装置及方法,装置包括计算机、信号处理器、声学参量阵、声级计和数据采集卡,所述计算机依次通过导线连接所述数据采集卡、所述信号处理器和所述声学参量阵,构成的声波发射系统;所述声级计依次通过导线连接所述数据采集卡和所述计算机,构成的声波测量系统。声波发射系统发出高指向性的高频声波,在待测参考位置产生低频声波,由声压级检测装置检测待测参考位置处的声波频率和声压级幅值。本发明提供的远距离高指向性低频声波发射与测量装置及方法能实现低频声波的远距离、高指向性发射与实时测量。

    一种地雷谐振强度测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN102540245A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201210002642.6

    申请日:2012-01-06

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明公开了一种地雷谐振强度测量装置,包括信号发生器、调音台、功率放大器、扬声器,信号发生器通过导线依次连接调音台、功率放大器和扬声器,构成的声波发射系统;本装置还包括地震检波器、数据采集卡和计算机,地震检波器通过数据线经数据采集卡与计算机连接,构成的地表振动速度检测系统。一种地雷谐振强度测量方法,采用上述的测量装置,具体实施步骤为:1)检测并计算在无地雷情况下地表振动速度幅频特性曲线;2)检测并计算在有地雷情况下地表振动速度幅频特性曲线;3)对上述步骤的两条曲线求比值,得到有、无地雷地表振动速度相对值的幅频特性曲线。本发明测量装置和测量方法能实现地雷谐振强度的高精度、快速测量。

    光学元件亚表面缺陷数字全息检测装置

    公开(公告)号:CN102519976A

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN201110440846.3

    申请日:2011-12-26

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种光学元件亚表面缺陷数字全息检测装置。该装置中光束分成一束测量光束和参考光束,实现测量光路斜入射被测物体以及对称接收反射光,反射光与参考光产生干涉,从干涉图样中获得来自于亚表面缺陷的散射光信息,抑制从表面直接反射的光以及系统中的杂散光,获得光学元件亚表面缺陷的散射光信息。该检测装置的特点包括:(1)光源为短相干光源,可以抑制系统中的杂散光;(2)装置中测量光路为斜入射与对称接收反射光,可以抑制光学元件表面的直接反射光,保证只接收来自亚表面缺陷的散射光,提高了信号的信噪比;(3)装置中还采用了光纤探针接收散射光信息,克服了高倍率下采用显微物镜对于接收亚表面缺陷部分的限制;(4)对于采集的图像,采用数字全息计算原理来分析和处理,从而得到亚表面缺陷深度的定量信息。

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