一种微纳米多孔结构制造装置及制造方法

    公开(公告)号:CN101844406B

    公开(公告)日:2012-08-15

    申请号:CN201010160736.7

    申请日:2010-04-23

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种微纳米多孔结构制造装置及制造方法,涉及一种微纳米多孔结构。设有电纺丝溶液储存管、注射泵、输液管、电纺丝喷头、装置支架、上下旋转电机、加热器、收集带、骨架溶液槽、升降平台。收集带缠绕于上下旋转电机转动轴之间,电纺丝喷头位于上旋转电机上方,升降台位于装置支架底座,骨架溶液正好接触收集带最低处。制备时随着收集带的转动,电纺丝纳米纤维可以收集带表面均匀沉积,骨架溶液在收集带表面形成涂层,获得纳米纤维膜与溶液涂层交替的多层膜状结构。将多层膜状结构从收集带上取下,对多层结构边缘进行裁剪去除部分骨架溶液涂层出现纳米纤维膜,再浸泡于选择性溶解液中去除纳米纤维膜,加热形成多孔结构,孔径100~800nm。

    可起停控制的电纺直写喷头

    公开(公告)号:CN102019240B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201010611543.9

    申请日:2010-12-29

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 可起停控制的电纺直写喷头,涉及一种电纺直写喷头。提供一种可自动起停控制、降低喷射开启电压、实现喷射与直写图案特征有机结合、完成复杂图案微纳米结构直写的可起停控制的电纺直写喷头。设带喷头空心套管、带螺纹调节塞、线圈、衔铁、回位弹簧、探针、排气管道;带喷头空心套管前端设有喷孔和注入孔,带螺纹调节塞设于带喷头空心套管后端,线圈套在带喷头空心套管外侧,衔铁设于带喷头空心套管内,探针与衔铁固连,探针前端位于带喷头空心套管前端的喷孔中,探针后端与回位弹簧一端固连,回位弹簧另一端与带螺纹调节塞内端固连,排气管道设于带螺纹调节塞上,排气管道内端与带喷头空心套管内腔相通,排气管道外端与外界相通。

    一种量产纳米纤维电纺装置

    公开(公告)号:CN102191573A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN201110131494.3

    申请日:2011-05-19

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种量产纳米纤维电纺装置,涉及一种纺丝装置。提供一种可克服现有批量电纺技术存在的喷射电压阈值高、针管易堵塞、溶液难以回收、不易清理等缺点的量产纳米纤维电纺装置。设有收集板、溶液槽、直流高压电源、驱动装置和导液耙;收集板设于溶液槽上方,溶液槽内设有导电层,驱动装置设有电机和机械传动机构,电机输出轴与机械传动机构动力输入端连接,机械传动机构动力输出端与导液耙联动连接,直流高压电源的正极与溶液槽内的导电层电连接,直流高压电源的负极与收集板电连接并接地。

    微纳米结构直写装置
    44.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1966399A

    公开(公告)日:2007-05-23

    申请号:CN200610135261.X

    申请日:2006-11-28

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 微纳米结构直写装置,涉及一种亚微米线宽的聚合物材料直写装置。提供一种基于“近场静电纺丝”技术,实现高分子材料或具有一定粘性材料的快速直写,最小直径/线宽可低于300nm/20μm,突破了喷印技术的线宽限制,应用范围更加广泛的微纳米结构直写装置。设有微探针控制平台、集成高压静电电源、流量控制器、X-Y平台、探针和CCD显微镜;集成高压静电电源用于为探针提供电压,集成直流高压电源的正极接探针,负极接地;流量控制器固定在微探针控制平台上,流量控制器由管道连接探针;探针作为材料直写的喷丝头,探针安装于微探针控制平台上;显微镜用于观察静电纺丝过程及材料写入图形的效果,显微镜设于微探针控制平台上。

    硅金键合方法
    45.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1958437A

    公开(公告)日:2007-05-09

    申请号:CN200610135263.9

    申请日:2006-11-28

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 硅金键合方法,涉及一种硅金键合方法。提供一种可提高硅金键合晶片的键合品质,基于硅基多孔氧化铝的新型MEMS器件硅金键合方法。步骤为采用两步恒压阳极氧化法制备硅基多孔氧化铝薄膜:用电子束蒸发方法在硅片上制备一层厚度1.0~1.5μm的铝膜,一次氧化后用6wt%的磷酸和1.8wt%的铬酸混合液去除一次氧化膜,再二次氧化后用5wt%的磷酸进行扩孔处理;制备键合晶片:将2片硅片放入键合器,烘干后在N2保护下退火得键合晶片。硅金键合晶片的键合强度由1.78MPa提高到3.03MPa,晶片的键合品质得到显著提高;而晶片的断裂界面没有发生什么变化,说明基于AAO的硅金键合晶片依然遵循硅金键合晶片的断裂特性。

    一种多自由度软体打印装置

    公开(公告)号:CN115320098B

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202211128310.2

    申请日:2022-09-16

    Applicant: 厦门大学

    Inventor: 吴德志 张扬

    Abstract: 一种多自由度软体打印装置,属于3D打印领域。包括高压发生器、接口电路、软体导管、供液装置、控制器和支架;高压发生器的RS485接口与控制器相连,控制器与接口电路相连,高压发生器与接口电路相连;高压发生器通过接口电路与软体导管上的柔性电极相连,控制器可直接控制高压发生器的输出值的大小,控制器通过接口电路控制高压发生器的开关,通过控制高压发生器的输出值的大小以及开关控制软体导管弯曲及伸长变形,以实现三维多自由度运动,供液装置与软体导管连接,用于运输打印流体,软体导管的底部柔性电极可实现瞬间调控流体的流量。纳米纤维结构加入,调控圆柱形侧壁介电弹性体局部的弹性模量,抑制软体导管非必要的变形。

    湿度传感器及湿度传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN118275508A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410193825.3

    申请日:2024-02-21

    Abstract: 本申请公开一种湿度传感器和湿度传感器的制备方法。湿度传感器包括晶圆及湿敏膜。晶圆包括基底和设置在基底上的电极。湿敏膜位于电极的表面,湿敏膜包括第一湿敏膜和第二湿敏膜,第一湿敏膜由未完全亚胺化的聚酰亚胺制成,第二湿敏膜由氟化聚酰亚胺制成,第二湿敏膜位于电极与第一湿敏膜之间。一方面使得在低湿度的情况下,可利用第一湿敏膜实现对水分敏感,实现低湿度感知。另一方面利用第二湿敏膜中的含氟官能团来提高第二湿敏膜的高湿稳定性和降低第二湿敏膜的迟滞性。如此,基于第一湿敏膜和第二湿敏膜的湿度传感器可在全湿度范围内完成检测,即实现宽量程,且在全湿度范围内可实现低迟滞性和高湿稳定性,从而减少湿度传感器的使用限制。

    一种基于微重力环境的流体输运装置

    公开(公告)号:CN117262426A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311435231.0

    申请日:2023-10-31

    Abstract: 本申请公开了一种基于微重力环境的流体输运装置,包括带微流道导流槽的表面张力储液罐和密封顶盖,顶盖上开设有流道口,流道口内部设计有键槽,通过溅射工艺在底板上沉积一层叉指电极阵列,随后将电极板与流道内壁的键槽配合,电极板上的叉指电极阵列的引脚端与高电压低电流的直流电源相连,通过调控电压的大小进而控制罐内介电液体的供液流量。本装置用于太空微重力环境下介电液体(如润滑油)的可控有效供给,将电液动力驱动电极集成于表面张力储液罐内,并在储液罐内表面上设计圆周分布的微流道凹槽,在失重的情况下,利用表面张力实现液体的自动汇集,有效实现空间流体管理,并通过驱动电极的电场作用,使介电液体形成定向流动。

    一种检测锂电池电芯膨胀的薄膜压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115855324A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211679633.0

    申请日:2022-12-26

    Abstract: 本发明公开了一种检测锂电池电芯膨胀的薄膜压力传感器及其制备方法。其中所述传感器包括,从外至内,从上至下依次包括:封装层、隔绝层、敏感层、共面叉指电极;其中,所述敏感层具有靠近所述共面叉指电极的侧表面,所述侧表面的部分与共面叉指电极固接;还包括:微结构阵列,所述微结构阵列设置于所述侧表面未与所述共面叉指电极固接的部分,所述微结构阵列包括呈放射状结构布置的多个微结构。本发明提供的传感器通过创新的结构形式,具有信号稳定、耐腐蚀、温漂抑制等特点,制造工艺简单,适合大规模化生产,可应用于车载动力电池的实况检测,能够实现锂电池运行过程的内部信息采集和安全监控。

    可设计线性灵敏度传感器半球形超弹性微结构的确定方法

    公开(公告)号:CN114878034B

    公开(公告)日:2023-02-14

    申请号:CN202210453163.X

    申请日:2022-04-27

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了可设计线性灵敏度传感器半球形超弹性微结构的确定方法,传感器敏感单元层上的半球形微结构面直接与一接触电极接触,使得在施加压力后由超弹性体制成的半球形微结构会随之发生结构变形,改变接触电极和敏感层之间的接触面积而使得传感器电阻发生线性变化;其确定方法利用超弹性体变形的连续性假设,推导出单个微结构变形后的接触面面积及所产生的高度变化,进而根据多阶半球形微结构下法向受力分配平衡条件及预设变形阈值,计算出微结构不同阶梯尺寸、数量及布局,实现对采用超弹性材料作为压阻式传感器敏感层的设计确定,进行定量设计线性灵敏度的应用需求;该方法能够满足计算简便且准确率高的要求,实现传感器可设计线性灵敏度的目的。

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