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公开(公告)号：CN1306247C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200510010286.2
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统，它涉及一种平面定位系统。本发明的目的是为解决现有高速高精度定位系统在行程、速度/加速度和精度各有不足，而又各自独立的问题。本发明的X轴微动平台(19)与X轴宏动平台(16)之间设有X轴柔性铰链(17)，X轴压电陶瓷(18)设置在X轴微动平台(19)内，内导向板(28)和外导向板(30)之间固定有缓冲铰链(29)，Y轴压电陶瓷(24)的一端与Y轴微动平台(23)相连接，两个轴承(34)分别与Y轴宏/微动平台(8)上的内导向板(28)和外导向板(30)滚动连接。本发明的系统既满足了厘米级的运动范围和高速、高加速度的要求，又达到了纳米级的定位精度。工作范围为25mm×25mm，分辨率为10nm，重复定位精度为±20nm，X轴和Y轴的最大加速度分别为50m/s2和100m/s2。
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公开(公告)号：CN1581362A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410013768.9
申请日：2004-05-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 直接驱动三自由度串并联混合精密定位机构，它涉及一种精密定位机构的改进。本发明弯板(11)固定在机座(10)的一侧上，一号电机(1)和二号电机(9)的底座分别固定在机座(10)上，一号连杆(2)的一端与弯板(11)铰接，一号连杆(2)的另一端与三号连杆(4)和四号连杆(7)的一端铰接，二号连杆(3)的一端与一号电机(1)的输出端铰接，三号连杆(4)的另一端、二号连杆(3)的另一端和输出模块(5)由上至下依次铰接，四号连杆(7)的另一端与二号电机(9)的输出端铰接，四号连杆(7)的中段与五号连杆(8)的一端铰接，五号连杆(8)的另一端与输出模块(5)铰接，直线运动模块(6)固定在输出模块(5)上。本发明具有结构紧凑，定位精度高，动态性能好的优点。
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公开(公告)号：CN102200181B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201110062758.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16H25/22 , F16H25/24 , H01L21/677
Abstract: 一种Z轴传动结构，使用三角支撑滑套(6)及三套LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)替代立柱，作为主体支撑结构。由于LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)具有很高的传动精度，而且安装在圆周内呈120°均布，因此使三角支撑滑套(6)只均匀地承受T轴与R轴机构的重量，而不会因受力不均产生额外的翻转力矩，极大的改善了受力状态，使Z轴传动结构更加合理。
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公开(公告)号：CN102157417B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201110062743.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 一种硅片传输机器人，用于完成较大传输空间的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径过大而不能及、且行走轨迹较为复杂时，采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。特殊结构的硅片传输机器人之所以特殊，在于这种结构并没有传统意义上的R轴，而是在随T轴旋转的机箱盖上，通过铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右活动臂前后平移；而左右活动臂上也铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右取片臂前后平移，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN102207119B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201110062741.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双螺母同轴联接机构，结构合理，能够适应正反转交变扭矩、具有高同轴回转精度、高可靠性、无空回程、高效率传递扭矩、节省空间。通过控制传动轮(1)、传动轴(4)的加工精度，可以控制其联接精度。通过两个螺母的拧紧力使其贴合面产生很大的静摩擦力，而扭矩的传递完全是通过摩擦力来实现的。此外，由于紧固螺钉承受拉力使螺距产生微观拉长，形成自锁不易松扣。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101908497B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201010225906.5
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B25J13/00 , B25J19/00
Abstract: 一种应用于洁净环境下的双臂传输机器人，用于高洁净度环境下、大直径半导体硅片的传输与高精度定点置放的。双臂传输机器人的结构形式为R-θ型，其工作原理是基于柱坐标系的空间结构，具有各运动轴可以独立控制的特点。双臂传输机器人主要由R轴左臂机构、R轴右臂机构、T轴旋转机构、Z轴升降机构等组成，并且采用了特殊的密封装置封闭传动机构对外部环境的污染，以适应高洁净度的生产环境要求。
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公开(公告)号：CN102723296A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210145405.5
申请日：2012-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种双层直线电机驱动的XY运动平台，包括底板组件(1)、X轴直线电机组件(2)、运动平台组件(3)、Y轴直线电机组件(4)、底板(5)、X轴光栅尺读数头(6)、X轴精密运动导轨(8)、Y轴直线电机动子(9)、Y轴光栅尺读数头(12)、Y轴精密运动导轨(18)、X轴直线电机动子(19)等。本发明具有更大的驱动能力、更快的运动速度、更合理的直线电机解耦方式、更小的结构尺寸，适用在生产流水线等狭小空间进行的半导体集成芯片的高速封装作业。
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公开(公告)号：CN101865291B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201010225903.1
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16J15/43
Abstract: 一种应用于高洁净环境下的磁流体密封结构，包括磁流体密封圈挡圈(1)、导磁套(2)、O型密封圈(3)、磁流体密封圈外接套(4)、联接螺钉(5)、磁流体密封圈(6)，所述磁流体密封结构将O型密封圈(3)套在磁流体密封圈外接套(4)外径的环型槽内；所述磁流体密封圈(6)装入磁流体密封圈外接套(4)的内径孔内，推至贴紧底面；所述磁流体密封圈挡圈(1)底面凸缘与磁流体密封圈外接套(4)内径相配合，使用联接螺钉(5)拧紧；所述导磁套(2)通过过盈配合装配在相对于磁流体密封机构旋转的心轴上。磁流体密封结构的系统(如R轴大臂)中的装配精度是通过精度替换法获得的。本发明的结构密封可靠。
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公开(公告)号：CN102126209B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201110062737.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴差轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程；由于高度尺寸较小，适用于对高度方向尺寸有一定限制的R轴空间结构。本发明的W轴差轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴差轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴差轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
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公开(公告)号：CN102200181A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110062758.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16H25/22 , F16H25/24 , H01L21/677
Abstract: 一种Z轴传动结构，使用三角支撑滑套(6)及三套LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)替代立柱，作为主体支撑结构。由于LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)具有很高的传动精度，而且安装在圆周内呈120°均布，因此使三角支撑滑套(6)只均匀地承受T轴与R轴机构的重量，而不会因受力不均产生额外的翻转力矩，极大的改善了受力状态，使Z轴传动结构更加合理。
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