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公开(公告)号：CN105629674A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610023023.3
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716 , H02N15/00
Abstract: 基于双层水冷的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，采用平面片簧和电磁阻尼器组成的被动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用具有双层水冷结构的动磁钢式磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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公开(公告)号：CN105549332A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610023032.2
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70775
Abstract: 本发明提供一种应用于工件台多刚体结构的三自由度位移测量方法，该方法通过建立各连接结构之间的坐标位置转换关系，将坐标值层层迭代，最终得到微动台坐标系中任意一点在支撑框架坐标系中的坐标值。本方法解决了，光刻机工件台在换台结束后，激光干涉仪处于无法跟踪微动台的盲点问题，接替激光干涉仪知道微动台运动，进行归零设置。
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公开(公告)号：CN105511234A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201610023022.9
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/02 , G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于无线能量传输的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、无线能量发射装置、无线能量接收装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用激光干涉仪对工件台位置进行测量，采用无线能量传输装置对微动台中传感器提供能量，工件台采用磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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公开(公告)号：CN105487344A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610023028.6
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于干涉仪测量动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用激光干涉仪对工件台位置进行测量，采用双电机曲柄摇杆机构组成的主动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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公开(公告)号：CN105425548A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201610023010.6
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于人字形线圈排布的动线圈磁浮无线微动台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，工件台采用磁悬浮平面电机驱动，平面电机动子采用人字形线圈排布，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台，工件台采用无线信号传输、充电模块供电，摆脱了线缆台束缚；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102495528B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201110377833.6
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个随动防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，随动防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案换台节拍多、冲击转矩大、现有旋转换台方案双工件台传感器和标记板相位反转、线缆缠绕及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。
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公开(公告)号：CN101917837B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201010239355.8
申请日：2010-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05K9/00
Abstract: 一种具有经纬形网栅结构的电磁屏蔽共形光学窗，属于光学透明件的电磁屏蔽技术领域，包括共形光学窗壳体，①在共形光学窗壳体内侧面上制作经纬形金属网栅，该经纬形金属网栅将共形光学窗壳体内侧表面整体覆盖，或者②在共形光学窗壳体内表面上从外至内依次制作经纬形金属网栅和共形光学窗内壳体，且经纬形金属网栅将共形光学窗壳体的内表面和共形光学窗内壳体的外表面整体覆盖；经纬形金属网栅由金属经线和金属纬线组成，金属经线沿圆周方向以等圆心角均匀排列，金属纬线沿母线方向以金属网栅周期等间距排列，且金属经线和金属纬线互相电气连接；本发明适用于遥测遥感、医疗诊断、保密通讯、航空航天装备等军用和民用共形光学窗的电磁屏蔽技术。
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公开(公告)号：CN115647793B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202211178405.5
申请日：2022-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于数字孪生的大型高速回转装备间隙堆叠装配装置与装配方法，涉及发动机装配测量技术领域。解决了多级回转部件在间隙堆叠时，装配误差大导致的回转部件转动不平衡现象，进而导致大型高速回转设备在工作过程中产生噪声和振动，并直接影响到整机的性能和使用寿命的问题。本发明包括装配装置实体、数据采集装置和上位机；装配装置实体通过数据采集装置与上位机建立数据通讯，上位机建立虚拟装配模型；根据所述装配装置，得出一种装配方法，根据所述装配方法获得虚拟装配模型和多级回转部件间隙堆叠的最佳同轴度，利用所述虚拟装配模型和多级回转部件间隙堆叠的最佳同轴度对装配过程进行控制。本发明适用于控制回转部件的装配过程。
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公开(公告)号：CN115435722B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202211107417.9
申请日：2022-09-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于公差分配领域；公开了一种基于轴径双向补偿的大型回转装备公差分配方法。步骤1：建立的七参数误差圆柱轮廓测量模型；步骤2：得到简化的轴径七偏置误差圆柱轮廓测量模型；步骤3：基于步骤2简化的轴径七偏置误差圆柱轮廓测量模型，估计被测面偏心误差进而得到被测零部件偏心误差目标函数；步骤4：基于步骤3的被测零部件偏心误差目标函数，得到测量面偏心误差概率密度及接触面跳动与偏心误差概率关系；步骤5：基于步骤4的测量面偏心误差概率密度及接触面跳动与偏心误差概率关系得到大型回转装备被测零部件的公差分配方案。用以解决大型高速回转装备装配同轴度低、装配质量差，振动大的问题。
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公开(公告)号：CN118960610A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411084857.6
申请日：2024-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种航空发动机涡轮轴表面轮廓远心线阵动态扫描测量方法，属于精密测量与仪器技术领域；该方法包括以下步骤：建立世界坐标系、相机坐标系、图像坐标系和像素坐标系，通过坐标变换推导出特征点在世界坐标系中的坐标与在像素坐标系中的投影点坐标的坐标变换关系，建立航空发动机涡轮轴(8)表面轮廓远心线阵动态扫描测量模型，将航空发动机涡轮轴(8)进行装夹、图像采集、图像边缘数据提取，结合系统标定结果实现航空发动机涡轮轴(8)表面轮廓远心线阵动态扫描测量；本发明提高了航空发动机涡轮轴(8)表面轮廓测量精度，同时解决了调整环节多和硬件调整精度受限的问题。
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