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公开(公告)号：CN103235390B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201310164685.9
申请日：2013-05-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种用于保偏光纤对轴的调心装置，本发明涉及一种用于保偏光纤对轴的调心装置，本发明为解决现有的基于侧向成像法检测保偏光纤的偏振轴过程中，需要旋转光纤使光纤位于显微镜的视觉内，不利于对轴机构的安装和制造、且光纤的中心轴和电动平台的旋转轴不同轴，导致检测结果误差大的问题。横向电动位移平台固接在平台的上端面上，纵向电动位移平台通过第一转接板安装在横向电动位移平台上，垂直电动位移平台的一端通过第二转接板安装在纵向电动位移平台上，第三转接板安装在垂直电动位移平台的另一端上，二维精密手动位移平台的一端固接在连接块上，二维精密手动位移平台的另一端固接有位移平台连接板。本发明用于保偏光纤对轴中的调心。
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公开(公告)号：CN103193201B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201310115828.7
申请日：2013-04-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种柔顺转移微米级颗粒的装置及方法，属于微米级颗粒转移领域。本发明为解决现有的采用机械夹持或真空吸附方式对微米级颗粒进行转移的过程中，颗粒粘附于操作工具上，以及夹持或吸附时产生的局部高应力造成操作器件或颗粒损伤的问题。装置包括一号三轴位移平台、一号显微镜、支撑架、压电陶瓷管、第一连接件、二号三轴位移平台和毛细管，压电陶瓷管套在毛细管上且二者之间粘接，毛细管设置在支撑架的一端，支撑架的另一端固定在一号三轴位移平台的移动台上，支撑架的两端之间具有间隔，所述一号显微镜通过第一连接件固定在二号三轴位移平台的移动台上，一号显微镜的物镜对准毛细管的下端。本发明用于微米级颗粒的转移。
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公开(公告)号：CN103252792A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310198648.X
申请日：2013-05-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具，它涉及一种真空吸附微操作工具。本发明的目的要解决现有真空吸附微操作工具存在由于粘着力不能脱落和精确放置微操作对象，及正压释放时会出现“吹飞”现象的问题。一种具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具由连接底座、压电陶瓷管、连接套件、外螺纹杆和微吸头组成。在拾取操作时，先将外部气路管通过快插头与连接底座连接，经由连接底座、压电陶瓷管、连接套件和外螺纹杆流到微吸头；操作微吸头靠近待操作对象实现拾取。优点：结构简单、拾取稳定、定位精度高、可靠性高和通用性强。本发明所述的具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具主要用于真空吸附微操作。
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公开(公告)号：CN103235390A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310164685.9
申请日：2013-05-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种用于保偏光纤对轴的调心装置，本发明涉及一种用于保偏光纤对轴的调心装置，本发明为解决现有的基于侧向成像法检测保偏光纤的偏振轴过程中，需要旋转光纤使光纤位于显微镜的视觉内，不利于对轴机构的安装和制造、且光纤的中心轴和电动平台的旋转轴不同轴，导致检测结果误差大的问题。横向电动位移平台固接在平台的上端面上，纵向电动位移平台通过第一转接板安装在横向电动位移平台上，垂直电动位移平台的一端通过第二转接板安装在纵向电动位移平台上，第三转接板安装在垂直电动位移平台的另一端上，二维精密手动位移平台的一端固接在连接块上，二维精密手动位移平台的另一端固接有位移平台连接板。本发明用于保偏光纤对轴中的调心。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102623375A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210068623.3
申请日：2012-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , F16H37/02 , F16H25/22
CPC classification number: F16H25/20 , F16H25/2204 , F16H2025/2053 , F16H2025/2096
Abstract: 一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，它涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域，以解决现有Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形的问题。上安装盖与下安装座上下正对设置，Z轴驱动装置组件与下安装座连接，预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上，预紧轮支撑架与下安装座连接，三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间，同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上，同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上，三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接，下深沟球轴承安装在下安装座的下轴承安装孔内，上深沟球轴承安装在上轴承安装孔内。本发明用于硅片传输机器人上。
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公开(公告)号：CN102506785A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110286383.X
申请日：2011-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 三自由度一体化粘滑式直线定位装置，它涉及一种定位装置，以解决现有定位装置存在的体积大、装配误差大和定位精度低的问题。它包括承载板和与驱动单元相配合的盖套，盖套固接在承载板的板面上，所述的驱动单元包括第一压块、第二压块、弹性驱动座、压电陶瓷驱动器、导向柱、触足、位移板、预紧压板和多个滚珠，压电陶瓷驱动器的上端面与弹性驱动座的上弹性板的下端面连接，压电陶瓷驱动器的下端面与触足的上端面连接，触足的下端面与位移板的上端面连接，预紧压板的下端面与弹性驱动座的下弹性板的上端面连接，位移板的长度方向的两端设置在弹性驱动座的方形空腔的外部且分别与基台可拆卸连接。本发明用于物体的定位。
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公开(公告)号：CN101865215B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201010225878.7
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种同轴联接机构，包括次级传动轮(1)、主传动轮轴(2)、联接板(3)，联接螺钉(4)；所述次级传动轮(1)底面具有止口，所述止口上均布第一组螺孔，所述主传动轮轴(2)上均布第二组螺孔，所述联接板(3)上设置有与所述次级传动轮(1)和主传动轮轴(2)上的螺孔相对应的沉头螺孔，所述次级传动轮(1)与所述主传动轮轴(2)间隙配合，所述联接板(3)设置在所述次级传动轮(1)的止口内，对正其沉头螺孔与主传动轮轴(2)配合端面的螺孔，以一组联接螺钉(4)放入联接板(3)的沉头螺孔内并拧紧，使联接板(3)底面与主传动轮轴(2)的端面紧固。螺纹变形自锁不易脱扣。
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公开(公告)号：CN102176424A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110062759.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。方法通过FORK圆心基准试验台提供确定的双臂FORK圆心基准，通过FORK调整夹头来对FORK组合中的圆心进行调整。经过调整，当T轴处于零位时，可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
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公开(公告)号：CN101788257B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201010300293.7
申请日：2010-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电容传感器的六自由度微位姿测量的装置及方法，涉及微位姿测量的装置及方法。本发明为了能够准确的获得微动机构的末端位姿。本发明的装置：三组电容传感器分别固定在外安装块的三个长方体上的通孔中，内安装块位于外安装块的正方形凹槽中，内安装块的三个互为相邻的表面分别与外安装块的三个内表面平行。本发明的方法：将内安装块的一个表面固定在待测微动机构上；采用三组电容传感器测量待测微动机构的六个自由度的位姿，获得测量结果。本发明适用于微动机构的微位姿的测量场合。
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