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公开(公告)号：CN105378139B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201480039163.9
申请日：2014-03-04
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C16/458 , H01L27/3241 , H01L51/50 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供能够高精度地形成薄膜的图案的蒸镀装置和蒸镀方法以及显示品质优异的有机电致发光显示装置的制造方法。本发明是一种使用扫描蒸镀法的蒸镀装置，其中，限制部件包括：第一板部；与第一板部之间隔开间隔地设置的第二板部；和将第一板部与第二板部连接的连接部，在第一板部设置有开口，在第二板部设置有与第一板部的开口相对的开口，在第一板部的开口与第二板部的开口之间存在第一空间，在与基板的法线方向和基板的扫描方向正交的方向上的第一空间的旁边，在第一板部与第二板部之间存在第二空间，第一空间与第二空间连接，在基板的扫描方向上的第二空间的旁边，在限制部件之外存在第三空间，第二空间与第三空间连接。
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公开(公告)号：CN106574358A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580041850.9
申请日：2015-07-24
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246 , H01L51/001 , H01L51/50 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 在蒸镀装置(11)中设置有：第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)；与该第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)连接的共用配管(27)；与共用配管(27)连接并且放出来自第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒放出源(29)；与蒸镀颗粒放出源(29)连接的排气阀(32)；和与排气阀(32)连接的排气泵(34)。
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公开(公告)号：CN106463634A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580029523.1
申请日：2015-06-03
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/504 , H01L27/3211 , H01L27/322 , H01L51/002 , H01L51/0026 , H01L51/5012 , H01L51/5052 , H01L51/5056 , H01L51/506 , H01L51/5064 , H01L51/5068 , H01L51/5076 , H01L51/508 , H01L51/5084 , H01L51/5218 , H01L51/5265 , H01L51/5271 , H01L51/56
Abstract: 有机EL元件(1)具备：阳极(4)；阴极(5)；设置在该阳极(4)与阴极(5)之间的发光层(6)；设置在阳极(4)与发光层(6)之间的空穴输送层输送层(9)，其中，阴极(5)由反射电极构成。电子输送层(9)由添加有n型的掺杂材料的掺杂电子输送层(9b)和未添加n型的掺杂材料的无掺杂电子输送层(9a)构成，在该掺杂电子输送层(9b)与无掺杂电子输送层(9a)的界面，设置有对来自发光层(6)的光进行反射的第一反射面(11)。(7)；和设置在阴极(5)与发光层(6)之间的电子
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公开(公告)号：CN105794320A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201480066214.7
申请日：2014-09-17
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/3211 , H01L51/0017 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供能够防止混色的发生、提高显示品质并且提高制造效率的有机EL显示面板的制造方法。本发明的有机EL显示面板的制造方法依次包括以下工序：在第一像素形成显示第一发光色的发光材料的膜而形成第一发光层的工序(1)；对包含相邻的第一像素和第二像素的区域进行蚀刻处理，留下上述第一发光层，将在上述工序(1)中附着于上述第二像素的比上述第一发光层薄的显示上述第一发光色的发光材料的薄膜除去的工序(2)；在上述第二像素形成显示与上述第一发光色不同的第二发光色的发光材料的膜而形成第二发光层的工序(3)；和对包含上述第一像素和上述第二像素的区域进行蚀刻处理，留下上述第二发光层，将在上述工序(3)中附着于上述第一像素的比上述第二发光层薄的显示上述第二发光色的发光材料的薄膜除去的工序(4)。
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公开(公告)号：CN103340013B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201280007201.3
申请日：2012-03-02
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/45578 , H01L51/0011
Abstract: 具备：蒸镀源（60），该蒸镀源（60）具备放出蒸镀颗粒（91）的多个蒸镀源开口（61）；限制单元（80），该限制单元（80）具备多个限制开口（82）；和蒸镀掩模（70），该蒸镀掩模（70）仅在分别通过多个限制开口的蒸镀颗粒到达的多个蒸镀区域（72）内形成有多个掩模开口（71）。多个蒸镀区域，沿与基板（10）的法线方向和基板的移动方向正交的第二方向，夹着蒸镀颗粒不到达的非蒸镀区域（73）配置。在沿基板的法线方向看时，相对于与第二方向平行的直线上的非蒸镀区域，在基板的移动方向上的不同位置，形成有蒸镀颗粒通过的掩模开口。由此，能够在基板上的期望的位置稳定地形成端缘的模糊被抑制的蒸镀覆膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103238375B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201180058067.5
申请日：2011-12-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L22/10 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 使基板(10)与蒸镀掩模(70)在隔开固定间隔的状态下相对地移动，同时使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)依次通过限制板单元(80)所具有的多个限制板(81)间的空间(82)和蒸镀掩模的掩模开口(71)并附着在基板上，形成覆膜(90)。判断是否需要对多个限制板中的至少一个的X轴方向位置进行校正，在需要进行校正的情况下，对多个限制板中的至少一个的X轴方向位置进行校正。由此，能够在大型基板上的预期位置上稳定地形成抑制了端缘的模糊的覆膜。
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公开(公告)号：CN103429784B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201280012570.1
申请日：2012-03-05
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/564 , H01L21/02104 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀颗粒射出装置（20）具备：坩锅（22）；具有至少1个射出口（21a）的保持件（21）；和设置在保持件（21）内的板状部件（23～25）。板状部件（23～25）具有与射出口（21a）对应设置的开口部（23a～25a），并且板状部件（23～25）在与开口面垂直的方向上相互分离地设置。射出口（21a）和各开口部（23a～25a）在俯视时彼此重叠。
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公开(公告)号：CN102860132B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201180021351.5
申请日：2011-05-02
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/56
Abstract: 依次配置蒸镀源（60）、多个限制板（81）和蒸镀掩模（70）。使基板相对于蒸镀掩模以隔开一定间隔的状态相对地移动。从蒸镀源的蒸镀源开口（61）放出的蒸镀颗粒（91），通过相邻的限制板之间，并通过在蒸镀掩模形成的掩模开口（71）附着于基板，而形成覆膜（90）。限制板限制向掩模开口入射的蒸镀颗粒的、沿基板的相对移动方向看时的入射角度。由此，在大型的基板也能够以不扩大像素间距、不降低开口率等的方式形成有机EL元件。
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公开(公告)号：CN103415645B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201280012934.6
申请日：2012-03-07
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C16/448 , C23C14/042 , C23C14/243 , H01L51/0003 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀颗粒射出装置(30)包括设置有第一喷嘴部和第二喷嘴部(50、60)的中空的旋转体(40)、旋转机构和热交换器(52、62)，当通过旋转机构使旋转体(40)旋转时，热交换器(52、62)与各喷嘴部的配置相应地切换冷却和加热，使面向外部的喷嘴部比蒸镀材料成为气体的温度低，使另一喷嘴部成为蒸镀材料成为气体的温度以上的温度。
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公开(公告)号：CN103270186B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201180060616.2
申请日：2011-12-16
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: B03C1/005 , B03C1/30 , B03C2201/20 , C23C14/12 , C23C14/564 , H01L51/0016
Abstract: 在腔室内构成物(70)的至少与成膜材料接触的部分，设置有包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)。成膜材料的回收方法包括：剥离工序，将附着在腔室内构成物(70)的表面的附着物(22)剥离；和分离工序，使剥离工序中被剥离的包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)的碎片吸附在磁铁(202a)上，从附着物(22)分离，从而回收附着物(22)。
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