公开(公告)号：CN104704283B

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201380021762.3

申请日：2013-04-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 稻田敏之 ,  松田隆博 ,  小艾睦典

IPC: F17D1/02 ,  F16K27/00

CPC classification number: F15B13/0817 ,  F15B13/0814 ,  F15B13/0871 ,  F15B13/0896 ,  F16K27/003 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/87885

Abstract: 提供一种能够削减部件数量且能够容易地进行列数增减等变更的流体控制装置。作为下层的通路块而具有跨越多列地配置的多列用(3列用)通路块(21)。多列用通路块(21)跨越3列地支承流量控制器(16)的入口侧伸出部(16b)及与其呈串联状地配置的2个入口侧开关阀(14、15)。在多列用通路块(21)内设有：用于将串联排列的流体控制设备的通路彼此连通的纵向通路；和用于将相邻列的流体控制设备彼此连通的横向通路。

公开(公告)号：CN102341760A

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN200980157836.X

申请日：2009-11-06

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  株式会社富士金

Inventor： 广濑润 ,  手塚一幸 ,  内田阳平 ,  小艾睦典 ,  松田隆博 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06 ,  C23C16/52 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/45561 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/0396

Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。流体控制装置(1)具有流体控制部(2)和流体导入部(3)。流体导入部(3)被分成三部分，包括：配置在入口侧且分别由2×N/2个开闭阀(23)构成的第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)；由4×M个开闭阀(23)构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)和流体控制部(2)之间的流体控制部侧阻断开放部(7)。