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公开(公告)号：CN110892182A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880047616.0
申请日：2018-06-06
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 气体供给系统(1)包括：自动阀(18)，其设置在流路(6)中并通过自动开闭来调节向腔室(4)供给的工艺气体的流量；以及手动阀(20)，其设置在流路(6)中的自动阀(18)的下游且位于腔室(4)附近，通过手动开闭来调节工艺气体的流量。手动阀(20)是具有隔膜(24)的直接隔膜阀，该隔膜(24)随着开闭与阀杆(32)和阀盘(28)联动，从而落座于阀座(44)或从阀座(44)离开，该手动阀(20)具有调节阀行程的行程调节机构(36)。
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公开(公告)号：CN104704283A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201380021762.3
申请日：2013-04-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F15B13/0817 , F15B13/0814 , F15B13/0871 , F15B13/0896 , F16K27/003 , H01L21/67017 , Y10T137/87885
Abstract: 提供一种能够削减部件数量且能够容易地进行列数增减等变更的流体控制装置。作为下层的通路块而具有跨越多列地配置的多列用(3列用)通路块(21)。多列用通路块(21)跨越3列地支承流量控制器(16)的入口侧伸出部(16b)及与其呈串联状地配置的2个入口侧开关阀(14、15)。在多列用通路块(21)内设有：用于将串联排列的流体控制设备的通路彼此连通的纵向通路；和用于将相邻列的流体控制设备彼此连通的横向通路。
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公开(公告)号：CN111201393A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201880063249.3
申请日：2018-09-04
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/16 , F16K31/524 , F16K31/60
Abstract: 本发明提供一种适用于小型化、集成化而成的流体控制装置的手动阀装置。手动阀装置具有内置驱动机构(50)的筒状的壳体(70)、用于使驱动机构(50)进行工作的操作构件(110)、以及将作用于该操作构件(110)的力转换为该驱动机构的驱动力的凸轮部(80)，该手动阀装置具有设于壳体(70)的上端侧并将操作构件(110)的至少局部覆盖的保护罩(100)，操作构件(110)具有安装部(110a)，用于使驱动机构(50)的工作所需的力作用于操作构件(110)的辅助工具(600)能够拆卸地安装于该安装部(110a)，保护罩(100)形成为能够使辅助工具(600)到达操作构件(110)的安装部(110a)。
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公开(公告)号：CN110301165A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201880012221.7
申请日：2018-03-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种可提高流体的加热效率的流体加热器、流体控制装置以及流体加热器的制造方法。流体加热器(20)具备：形成有流路(22c)的流路部件(22)、以及用于对流路部件(22)进行加热的加热器(25)，流路(22c)呈螺旋状，且沿着长度方向的剖面的形状呈多边形状。流路部件(22)的造型方向(M)与多边形的一个对角线平行。流路部件(22)呈大致圆柱形，其长度方向与流路部件(22)的造型方向为相同方向。
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公开(公告)号：CN107923558A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680050463.6
申请日：2016-07-14
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种管接头，其包括：第一部件2；第二部件10；焊接部8，其使第一外周端14a与第二外周端10b遍及全周地抵接，在产生横向收缩的同时使第一外周端14a与第二外周端10b接合；环状密封部分42，其借由横向收缩使第一按压部22和第二按压部28向彼此靠近方向移动而形成；热传递抑制部件16，其配置在第一部件2和第二部件10中的焊接部与密封部分42之间的空间26中，用以抑制焊接热从焊接部8向密封部分42的传递；以及第一卡环36，其安装于热传递抑制部件16的外周面16a，用以将热传递抑制部件16卡止于第一或第二部件2、10的内表面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110301165B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201880012221.7
申请日：2018-03-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种可提高流体的加热效率的流体加热器、流体控制装置以及流体加热器的制造方法。流体加热器(20)具备：形成有流路(22c)的流路部件(22)、以及用于对流路部件(22)进行加热的加热器(25)，流路(22c)呈螺旋状，且沿着长度方向的剖面的形状呈多边形状。流路部件(22)的造型方向(M)与多边形的一个对角线平行。流路部件(22)呈大致圆柱形，其长度方向与流路部件(22)的造型方向为相同方向。
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公开(公告)号：CN110730869B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN111065852A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880056569.6
申请日：2018-08-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种实现小型化并且不使用焊接就能够进行制造的接头块。该接头块具有块主体(10)和安装在形成于块主体(10)的长度方向的另一端侧的凹部(15)的封闭构件(50)，该接头块具有：密封机构，其具有形成于块主体(10)的相对面(15b)的圆环状突起(13)，并且在第1流路(12c)的开口(12p)的周围圆环状突起(13)咬入于另一方的相对面(50e)，由此将块主体(10)与封闭构件(50)之间密封；铆接部(16)，其是将封闭构件(50)朝向块主体(10)的相对面(15b)按压而在块主体(10)形成的；以及卡合部(EN)，其由凹部(15)的内周部(15a)和封闭构件(50)的与凹部(15)的内周部(15a)卡合的外周部(51)形成，由铆接部(16)和卡合部(EN)分担将密封机构的圆环状突起(13)向另一方的相对面(50e)按压的按压力。
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公开(公告)号：CN107614955B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201680030545.4
申请日：2016-05-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16L37/14 , F16L23/036
CPC classification number: F16L37/15 , F16L23/036 , F16L37/144
Abstract: 一种管接头的接头方法，包括：准备第一管件(4)、第二管件(6)、推压部件(10)、以及壳体(8)，该壳体(8)具有第一开口(22)、第二开口(24)、第三开口(26)、凸缘收容空间(1)(32)和收容空间(2)(28)；通过将第一管件(4)自第二开口(24)向第一开口(22)插入，使第一管件(4)的第一凸缘部(16)卡止于凸缘收容空间(1)(32),将第二管件(6)自其第二凸缘部(18)插入第二开口(24)；通过将推压部件(10)自第三开口(26)插入并收容于收容空间(2)(28)，将第二凸缘部(18)向第一凸缘部(16)推压以形成将第一凸缘部(16)和第二凸缘部(18)密封的密封部。
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公开(公告)号：CN103732962A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280028298.6
申请日：2012-05-31
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K15/026 , F16K15/025 , F16K17/0466 , F16K25/005 , Y10T137/7924
Abstract: 本发明提供一种止回阀，提高耐热性并且解决了伴随高温使用而导致“栓体向密封构件的粘附”的技术课题，由此在高温条件下也能够使用。通过使被弹压构件（7）弹压的栓体（5）与密封构件（4）抵接而使设置在第1阀体（2）上的流体通路（2a）的开口成为关闭状态。密封构件（4）为进行了二次硫化的全氟橡胶制密封垫。在栓体（5）上形成有与密封构件（4）线接触的环状的密封部（6）。
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