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公开(公告)号：CN105738997B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201510966938.3
申请日：2015-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率降低的光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备。光学滤波器装置具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备固定基板(51)、与固定基板相对且具有相对于固定基板进退的可动部(521)的可动基板(52)、设置在固定基板上的固定反射膜(54)、及设置在可动基板的可动部且与固定反射膜相对的可动反射膜(54)；固定波长可变干涉滤波器的底座(62)；以及固定材料(64)，将各基板(51、52)中的至少一方，在沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在底座，其中，以通过固定材料固定的固定位置作为固定端的波长可变干涉滤波器的一阶共振频率，在可动部的一阶共振频率的一半以下。
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公开(公告)号：CN110196490A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201910137184.9
申请日：2019-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
Abstract: 一种分光装置、温度特性导出装置、分光系统以及分光方法，能够高精度地对目标波长的光进行分光。分光装置具备：分光模块、检测所述分光模块的温度的温度检测部和控制所述分光模块的模块控制部，所述分光模块包括：干涉滤波器，具有一对反射膜以及通过施加电压改变所述一对反射膜之间的间隔尺寸的间隔变更部；以及电容检测电路，输出与所述一对反射膜之间的静电电容对应的检测信号，所述模块控制部根据所述分光模块的温度特性和由所述温度检测部检测到的检测温度校正从所述电容检测电路输出的检测信号的目标值，控制施加在所述间隔变更部的所述电压以便于成为校正从所述电容检测电路输出的检测信号的所述目标值。
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公开(公告)号：CN108955877A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810768082.2
申请日：2013-09-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01J3/02 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/32 , G01J3/42 , G01J3/50 , G02B26/00
Abstract: 本发明提供了驱动方法以及分光测定方法，该驱动方法用于驱动波长可变滤波器，所述驱动方法包括：向致动器施加与作为m+1次光的第一测定光的波长对应的第一电压，m是自然数；获取所述第一测定光的光量；在获取到所述第一测定光的光量后，向所述致动器施加与作为m次光的第二测定光的波长对应的第二电压；以及获取所述第二测定光的光量，所述第一电压小于所述第二电压。
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公开(公告)号：CN105022160B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201510487456.X
申请日：2012-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
Abstract: 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；与第一基板相对配置的第二基板；配置在第一、第二基板之间的第一反射镜；配置在第一反射镜和第二基板之间的第二反射镜；配置在第一、第二基板之间的第一电极；以及配置在第一电极和第二基板之间的第二电极，其中，第一基板具有与第二基板相对配置的第一电极面、与第一电极面交叉配置的第一面和第二面、与第二面交叉并朝向第一基板的外周配置的第三面，第二基板具有与第一电极面相对配置的第二电极面，第一电极配置在第一、第二电极面之间，并覆盖第二面的至少一部分和第三面的至少一部分，第二电极在第一、第二电极面之间与第一电极通过接触而电连接。
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公开(公告)号：CN103676135B
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201310384238.4
申请日：2013-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
CPC classification number: G02B5/28 , G02B5/284 , G02B26/001 , Y10T156/10 , Y10T156/1052
Abstract: 本发明提供了波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5）具备：具有固定反射膜（55）的第一基板（51）、与第一基板（5）1接合且具备可动部（522）及固定于可动部（522）的可动反射膜（56）的第二基板（52）、以及在第一基板（51）的相反侧与第二基板（52）接合的第三基板（53），且波长可变干涉滤波器（5）还包括：通过第一基板（51）和第二基板（52）夹着的第一内部空间（581）、连通第一内部空间（581）和外部的第一间隙（591）、通过第二基板（52）和第三基板（53）夹着的第二内部空间（582）、连通第二内部空间（582）和外部的第二间隙（592），第一间隙（591）和第二间隙（592）通过密封材料（518）密封。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105738997A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201510966938.3
申请日：2015-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率降低的光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备。光学滤波器装置具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备固定基板(51)、与固定基板相对且具有相对于固定基板进退的可动部(521)的可动基板(52)、设置在固定基板上的固定反射膜(54)、及设置在可动基板的可动部且与固定反射膜相对的可动反射膜(54)；固定波长可变干涉滤波器的底座(62)；以及固定材料(64)，将各基板(51、52)中的至少一方，在沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在底座，其中，以通过固定材料固定的固定位置作为固定端的波长可变干涉滤波器的一阶共振频率，在可动部的一阶共振频率的一半以下。
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公开(公告)号：CN104808333A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510038264.0
申请日：2015-01-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B26/00 , G02B26/02 , G05B6/00 , G05B6/02 , H02N1/00 , H02N1/006
Abstract: 本发明涉及致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法。分光测定装置具备：静电致动器(56)，通过被施加驱动电压而驱动；间隙检测器(151)，检测间隙(G1)的尺寸；闭环系统(15L)，根据来自间隙检测器(151)的检测信号，控制向静电致动器(56)施加的驱动电压；以及增益设定单元(164)，根据基于间隙检测器(151)的检测信号的静电致动器(56)的驱动特性，设定闭环系统(15L)中的增益。
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公开(公告)号：CN104345365A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410348032.0
申请日：2014-07-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
IPC: G02B5/28 , G02B26/00 , G01J3/46 , G01N21/65 , G01N21/359
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 提供能够抑制性能降低的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备。光学滤波器装置(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备设置有固定反射膜的固定基板(51)和设置有可动反射膜的可动基板(52)；壳体(610)，具有可容纳波长可变干涉滤波器(5)的内部空间(611)；以及固定部(7)，将波长可变干涉滤波器(5)固定于壳体(610)。固定部(7)设置在沿着固定基板(51)的厚度方向的侧面(517)与壳体(610)(内面(627B))之间。
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公开(公告)号：CN103676135A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310384238.4
申请日：2013-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
CPC classification number: G02B5/28 , G02B5/284 , G02B26/001 , Y10T156/10 , Y10T156/1052
Abstract: 本发明提供了波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5）具备：具有固定反射膜（55）的第一基板（51）、与第一基板（5）1接合且具备可动部（522）及固定于可动部（522）的可动反射膜（56）的第二基板（52）、以及在第一基板（51）的相反侧与第二基板（52）接合的第三基板（53），且波长可变干涉滤波器（5）还包括：通过第一基板（51）和第二基板（52）夹着的第一内部空间（581）、连通第一内部空间（581）和外部的第一间隙（591）、通过第二基板（52）和第三基板（53）夹着的第二内部空间（582）、连通第二内部空间（582）和外部的第二间隙（592），第一间隙（591）和第二间隙（592）通过密封材料（518）密封。
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公开(公告)号：CN103424865A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310175617.2
申请日：2013-05-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
CPC classification number: G02B5/28 , G01J3/26 , G01J3/45 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供了光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。该光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部，该波长可变干涉滤波器具备相互相对的反射膜、以及具有第一静电致动器及第二静电致动器且用于改变反射膜间间隙的静电致动器部，电压控制部具备对第一静电致动器施加偏压的偏压驱动部、间隙检测器以及对第二静电致动器施加与检测出的间隙量相对应的反馈电压的反馈控制部。
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