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公开(公告)号：CN105319703B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201510364469.8
申请日：2015-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够低成本且小型化的分光图像拍摄装置以及分光图像拍摄方法。分光相机具备：波长可变干涉滤波器(5)，其具有一对反射膜(54、55)以及能够变更一对反射膜(54、55)的间隙尺寸的静电致动器；拍摄部(122)，其具有配置成二维阵列结构的多个像素(123)，接收透过波长可变干涉滤波器(5)的光；以及接收光波长获取部，其针对拍摄部(122)的各像素(123)，获取入射至该像素的光的中心波长，接收光波长获取部获取由各像素接收的光的基于射向一对反射膜的入射位置处的入射角的中心波长。
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公开(公告)号：CN109814246A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201811379050.X
申请日：2018-11-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
Abstract: 一种波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备，可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降。该波长可变干涉滤波器包括：可动部，具有在第一方向上与第一反射镜相对的反射镜区域；以及电极，在从所述第一方向观察的俯视下，配置于所述反射镜区域的外侧，沿周向包围所述反射镜区域，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述电极在所述俯视下的宽度在所述周向上不同。
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公开(公告)号：CN105334561B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201510783816.0
申请日：2012-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/28 , G02B5/284 , G02B5/285
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；第二基板，以与第一基板相对的方式配置；第一反射膜，配置在第一基板和第二基板之间；第二反射膜，配置在第二基板和第一反射膜之间；以及第一电极，用于除去第一反射膜的带电，在从第二基板侧看第一基板侧时，具有第一反射膜和第二反射膜重合的第一区域以及第一反射膜和第一电极的至少一部分重合的第二区域，第二区域的第一基板和第二基板之间的距离比第一区域的第一基板和第二基板之间的距离大。
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公开(公告)号：CN103913836B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201410001372.6
申请日：2014-01-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T156/10 , Y10T156/1056
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器及制造方法、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5）具备：变更固定反射膜（54）及可动反射膜（55）之间的间隙尺寸的静电致动器（56）；与静电致动器（56）连接的固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）；及具备顶面部（531）和侧壁部（532）的第三基板（53），接合侧壁部（532）的端面及第一基板（51），由顶面部（531）、侧壁部（532）以及第一基板（51）围成的空间（D1）被气密密封，在空间（D1）中，配置有第二基板（52）及静电致动器（56），固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）设置于第一基板（51），跨空间（D1）的内外而延伸。
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公开(公告)号：CN106094197A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610380460.0
申请日：2011-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明涉及光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备。该光滤波器包括：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；第一反射膜，其被设置于所述第一基板；第二反射膜，其被设置于所述第二基板并与所述第一反射膜对置；第一电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一反射膜的周围；第二电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一电极的周围；第三电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第一电极对置；及第四电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第二电极对置。
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公开(公告)号：CN105259603A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510624769.5
申请日：2011-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供了一种滤光器元件、滤光器模块及分析设备。该滤光器元件具有设置在第一基板上的第一电极、设置在第二基板上并与上述第一基板相对的第二电极、与上述第一电极连接的一对第一引出电极以及设置在上述第二基板上并与上述第二电极连接的一对第二引出电极。
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公开(公告)号：CN104034418A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410077503.9
申请日：2014-03-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/26 , G01J2003/2813 , G01J2003/2826
Abstract: 本发明涉及分光测定装置。该分光测定装置具备：波长可变干涉滤波器（5），可以变更选择的光的波长，使来自测定对象物X的光分光；摄像部（摄像元件（32）以及光量取得部（63）），分别接收由波长可变干涉滤波器5分光为多个波长的光而取得多个分光图像；位置偏移量检测部（位置对准点选择部（742）以及补正量检测部（743）），从由摄像部取得的多个分光图像中选择基准图像，在该基准图像与基准图像以外的至少一个分光图像之间，检测接收到来自测定对象物X的规定位置的光的像素位置的位置偏移量；以及位置补正部（744），根据检测出的位置偏移量，进行基准图像以外的分光图像的位置对准。
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公开(公告)号：CN103913836A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201410001372.6
申请日：2014-01-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T156/10 , Y10T156/1056
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器及制造方法、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5）具备：变更固定反射膜（54）及可动反射膜（55）之间的间隙尺寸的静电致动器（56）；与静电致动器（56）连接的固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）；及具备顶面部（531）和侧壁部（532）的第三基板（53），接合侧壁部（532）的端面及第一基板（51），由顶面部（531）、侧壁部（532）以及第一基板（51）围成的空间（D1）被气密密封，在空间（D1）中，配置有第二基板（52）及静电致动器（56），固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）设置于第一基板（51），跨空间（D1）的内外而延伸。
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公开(公告)号：CN102736156A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210106425.1
申请日：2012-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/28 , G02B5/284 , G02B5/285
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器，该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，与第一基板相对；第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上，第二反射膜隔着反射膜间间隙与第一反射膜相对；以及第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上，其中，该第一基板具有：第一反射膜固定面，设置有第一反射膜；以及第一电极面，设置有第一电极，第一电极面与第二基板的距离不同于第一反射膜固定面与第二基板的距离，在第一反射膜固定面和第一电极面的与第二基板的距离大的面上，设置层叠有第一反射膜和第一电极的层叠部。
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