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公开(公告)号：CN105467577B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201510628093.7
申请日：2015-09-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率下降的光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。光学滤波器器件(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具有彼此相对的一对反射膜和作为设有一对反射膜中任一反射膜的基板的固定基板(51)；底座(620)，固定基板(51)固定于底座(620)；以及固定部件(624)，将固定基板(51)的一处固定于底座(620)，其中，固定基板(51)的表面中的除被固定部件(624)固定以外的面与底座(620)隔着间隙(间隙(CL1))而配置。
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公开(公告)号：CN102645741B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201210034461.1
申请日：2012-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
Abstract: 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器即标准具包括固定基板和与固定基板相对的可动基板。固定基板包括通过接合膜与可动基板接合的第一接合面和形成有第一电极的一部分的第一电极面。可动基板包括通过接合膜与第一接合面接合的第二接合面和形成有第二电极的一部分的第二电极面。在固定基板与可动基板通过接合膜接合的状态下，形成在第一电极面上的第一电极与形成在第二电极面上的第二电极接触。
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公开(公告)号：CN105319797A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510275094.8
申请日：2015-05-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
IPC: G02F1/21
Abstract: 本发明提供MEMS驱动装置、电子设备及MEMS驱动方法，即使施加有干扰振动的情况下也能够进行高精度地驱动控制。分光测定装置具备：波长可变干涉滤波器(5)，具有固定基板(51)、可动基板(52)、和改变基板(51)、(52)之间的间隙尺寸的静电致动器(56)；振动干扰检测部(151)，检测施加于波长可变干涉滤波器(5)的振动；以及偏压驱动部(152)，将基于振动干扰检测部(151)的检测值的前馈电压施加于静电致动器(56)。
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公开(公告)号：CN105319703A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510364469.8
申请日：2015-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够低成本且小型化的分光图像拍摄装置以及分光图像拍摄方法。分光相机具备：波长可变干涉滤波器(5)，其具有一对反射膜(54、55)以及能够变更一对反射膜(54、55)的间隙尺寸的静电致动器；拍摄部(122)，其具有配置成二维阵列结构的多个像素(123)，接收透过波长可变干涉滤波器(5)的光；以及接收光波长获取部，其针对拍摄部(122)的各像素(123)，获取入射至该像素的光的中心波长，接收光波长获取部获取由各像素接收的光的基于射向一对反射膜的入射位置处的入射角的中心波长。
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公开(公告)号：CN112835193B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202011305986.5
申请日：2020-11-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
Abstract: 本发明涉及分光装置以及分光装置的驱动方法，在分光装置中存在如下课题，即，在仅基于波长偏差量的错误检测中，甚至将对测量精度没有影响的波长偏差也作为错误而进行检测。分光装置具备干涉滤波器、间隙传感器以及错误检测部，所述干涉滤波器具备一对反射膜，并输出与一对所述反射膜的间隙尺寸相应的分光波长的光，所述间隙传感器检测所述间隙尺寸，所述错误检测部基于通过所述间隙传感器检测到的所述间隙尺寸所对应的所述分光波长与从所述干涉滤波器输出的光的目标波长之差来检测错误，所述错误检测部在将所述差的绝对值在时间轴上进行积分而得的积分值超过阈值时检测错误。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105045292B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201510205381.1
申请日：2015-04-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明提供能够以简单的构成高精度地实施使用静电致动器的间隙控制的致动器装置、电子设备、以及控制方法。光学模块(10)具备彼此相对的一对基板(51、52)、使一对基板(51、52)间的间隙尺寸变化的多个偏压致动器(57)、检测间隙尺寸的电容检测器(152)、以及基于电容检测器(152)所检测出的间隙尺寸控制偏压致动器(57)的驱动的电压控制部(15)，偏压致动器(57)相对于驱动中心轴呈非对称，并且能够分别独立地驱动，电压控制部(15)基于依次切换偏压致动器(57)而使其驱动时的电压和间隙尺寸，导出用于驱动偏压致动器(57)的驱动参数。
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公开(公告)号：CN105319703B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201510364469.8
申请日：2015-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够低成本且小型化的分光图像拍摄装置以及分光图像拍摄方法。分光相机具备：波长可变干涉滤波器(5)，其具有一对反射膜(54、55)以及能够变更一对反射膜(54、55)的间隙尺寸的静电致动器；拍摄部(122)，其具有配置成二维阵列结构的多个像素(123)，接收透过波长可变干涉滤波器(5)的光；以及接收光波长获取部，其针对拍摄部(122)的各像素(123)，获取入射至该像素的光的中心波长，接收光波长获取部获取由各像素接收的光的基于射向一对反射膜的入射位置处的入射角的中心波长。
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公开(公告)号：CN107479182A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710831835.5
申请日：2013-05-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
Abstract: 本发明提供了光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。该光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部，该波长可变干涉滤波器具备相互相对的反射膜、以及具有第一静电致动器及第二静电致动器且用于改变反射膜间间隙的静电致动器部，电压控制部具备对第一静电致动器施加偏压的偏压驱动部、间隙检测器以及对第二静电致动器施加与检测出的间隙量相对应的反馈电压的反馈控制部。
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公开(公告)号：CN103424865B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201310175617.2
申请日：2013-05-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
CPC classification number: G02B5/28 , G01J3/26 , G01J3/45 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供了光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。该光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部，该波长可变干涉滤波器具备相互相对的反射膜、以及具有第一静电致动器及第二静电致动器且用于改变反射膜间间隙的静电致动器部，电压控制部具备对第一静电致动器施加偏压的偏压驱动部、间隙检测器以及对第二静电致动器施加与检测出的间隙量相对应的反馈电压的反馈控制部。
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公开(公告)号：CN102636828B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201210028988.3
申请日：2012-02-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , B81B7/0035 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供了一种波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置，该波长可变干涉滤波器包括：第一基板，具有固定镜；第二基板，与第一基板接合，包括可动部和固定在可动部上的可动镜；第三基板，在与第一基板相反的一侧上与第二基板接合；以及静电致动器，使可动部沿基板相对方向移位，其中，形成有使第一基板和第二基板之间的出射侧空间以及第二基板和第三基板之间的入射侧空间与外部连通的贯通孔，贯通孔被密封材料密封，以将各空间密闭为减压状态。
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