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公开(公告)号：CN102358612A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201110241625.3
申请日：2011-08-23
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明属于微纳电子器件技术领域，具体涉及一种建立在硅基底上、加热电极和信号电极共居于同一介质平面上的硅基共平面低功耗微型气体传感器芯片及用于制备微型气体传感器，该结构传感器可实现在较低温度下工作。本发明所述的微型气体传感器芯片是利用常规热氧化法在 晶向的Si基片上制做SiO2绝缘层；采用半导体平面工艺，在绝缘层SiO2上依次溅射Ti粘附层和Pt电极层(加热电极和信号电极)；然后经过光刻、划片，得到共平面型微气体传感器的芯片。本发明制备的气体传感器芯片功耗低，远远优越于悬臂梁型微传感器。本发明工艺简单，成本低廉，功耗较小，易于集成。
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公开(公告)号：CN1147636A
公开(公告)日：1997-04-16
申请号：CN96102646.4
申请日：1996-02-02
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种检测NO2的LB膜修饰的悬栅场效应型气体传感器及制作方法。其结构为在悬栅场效应晶体管的包括栅区的整个表面拉制6～60nm厚的钴卟啉季胺盐或硫化酞菁铜或它们的衍生物的LB膜。制备过程为将悬栅场效应管的芯片在漂有LB膜的液体中拉过，使LB膜附于芯片表面，再在真空中干燥；反复拉膜干燥使LB膜达合适厚度，切割成单个芯片引AL电极。本发明的气体传感器灵敏度高、选择性好、响应迅速、一致性好，工艺简单，适合批量生产。
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公开(公告)号：CN115184411B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202210811044.7
申请日：2022-07-11
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于铜离子修饰聚吡咯/还原氧化石墨烯(Cux+‑PPy‑rGO)的室温DMMP传感器、制备方法及在室温下对DMMP检测中的应用，属于电阻型室温气体传感器技术领域。由柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底、印刷在PET衬底上的具有金属层结构的叉指电极和涂覆在叉指电极上的Cux+‑PPy‑rGO气体敏感薄膜组成。本发明中铜离子以Cu2+离子和Cu+离子的形式稳定的存在于杂化物中，Cu+离子的存在意味着更多的电荷N原子转移到Cu+离子以及形成稳定的Cu‑N结构，可以有效调控PPy中N原子和H原子周围电子云密度，进而调控PPy与DMMP分子之间的氢键作用，提升传感器的敏感特性。
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公开(公告)号：CN117783224A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410032028.7
申请日：2024-01-09
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种由脉冲电压驱动的富含氧空位的氧化铟基MEMS二氧化氮气体传感器及其制备方法，属于MEMS气体传感器技术领域。是由悬膜式MEMS微热板、位于悬膜式MEMS微热板插齿状测试电极一侧表面的富含氧空位氧化铟传感层组成；悬膜式MEMS微热板的背部包含有两组焊点，一组焊点为加热电极的引出使其与微控制器ESP32相连接，为传感器提供脉冲加热电压，使MEMS微热板分别工作在加热阶段和休眠阶段。本发明采用脉冲电压驱动方式使传感器对NO2具有更好的响应，对1ppm NO2的灵敏度由传统直流方式下的1.09提升至3.68，检测下限由传统直流方式下的1ppm降低至100ppb，传感器稳定性好且可靠性强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108872327B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201810304251.7
申请日：2018-04-08
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种介孔二氧化硅/聚吡咯复合基电容型湿敏元件及其制备方法，属于湿敏元件及其制备技术领域。元件由衬底、衬底上的叉指状碳电极、在衬底和叉指状碳电极上原位聚合制备的介孔二氧化硅/聚吡咯复合感湿膜组成。本发明通过在介孔二氧化硅的孔道结构中进行吡咯单体的气相聚合获得复合感湿膜，利用聚合时间控制复合感湿膜中聚合物的含量。原位制备得到的介孔二氧化硅/聚吡咯具有很好的稳定性，有利于获得高性能的湿敏元件，通过检测元件的电容信号变化实现对环境相对湿度的检测。
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公开(公告)号：CN106872533B
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201710247698.0
申请日：2017-04-17
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于石墨化碳化氮/二氧化锡复合材料的电阻型丙酮传感器、制作方法及其在检测丙酮中的应用，属于气体传感器技术领域。由在陶瓷片的上表面印刷的一对叉指结构的U形金电极作为信号电极，在陶瓷片下表面平铺印刷的二氧化钌膜作为加热层，在二氧化钌膜的表面印刷的一对条形金电极作为加热电极，在陶瓷片的上表面和U形金电极的表面涂覆的气体敏感薄膜组成；该气体敏感薄膜为石墨化碳化氮/二氧化锡复合材料，薄膜的厚度为10～50μm；所述石墨化碳化氮/二氧化锡复合材料中，石墨化碳化氮与二氧化锡的质量比为1：0.02～43。传感器具有很高的响应灵敏度、快速的响应恢复速率和良好的响应可逆性，解决了纯态金属氧化物对丙酮响应差的问题。
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公开(公告)号：CN108020586B
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201711256700.7
申请日：2017-12-04
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 一种以核桃壳为原料制作三电极体系中工作电极的方法，属于碳材料的制备及应用和分析检测技术领域。是将核桃壳浸渍于水溶液中去除表面杂质，震荡、洗涤后烘干，然后切割成长条，再在800℃～900℃热处理2小时～4小时，得到碳材料；用导电银胶在碳材料短边的一个端面连接铜导线，在室温放置10小时～20小时，使得银浆固化；然后用硫化硅橡胶作为绝缘材料涂覆到碳材料上表面与铜导线表面，在室温条件下固化12小时～24小时；并在碳材料上表面的前段区域露出部分碳材料作为电极，从而制备得到工作电极。所制作的工作电极主要成分为碳元素，具有导电性好、稳定性好、电极尺寸易于调控等优点，在电化学实验和电化学分析领域有着重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN109342522A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811200138.0
申请日：2018-10-16
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 一种基于聚吡咯/石墨烯复合材料的电阻型NH3传感器、制备方法及其应用，属于气体传感器技术领域。是以陶瓷片为衬底，采用丝网印刷技术在陶瓷片表面沉积碳叉指电极，在碳叉指电极上连接有引线，在陶瓷片和碳叉指电极表面涂覆有气体敏感薄膜，该气体敏感薄膜为聚吡咯/石墨烯复合材料，薄膜的厚度为10～30μm；气体敏感薄膜接触待测气体前后其电阻会发生变化，通过测量碳叉指电极间电阻的变化，可以获得传感器的灵敏度。本发明制备的复合材料溶液可以采用旋涂等方法在叉指电极上成膜，易于加工，可以方便地制备气体传感器，解决了传统的金属氧化物气体传感器需要高温烧结，加工复杂的问题。
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公开(公告)号：CN105784788B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201610300970.2
申请日：2016-05-09
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种纸基电阻型湿敏元件及其制备方法，属于湿敏元件及其制备技术领域。是以打印纸为柔性衬底，通过打印机直接打出不同结构的电极结构图案，利用铅笔在打印出的电极结构处涂写石墨电极，将敏感材料经过表面修饰制成墨水后，在纸基衬底上的叉指电极及电极之间的区域涂写敏感材料墨水，干燥后即可得到纸基柔性湿敏元件。本发明中的电极可以在不同纸基上批量写出不同图案，碳基敏感材料也是写在电极区域，实现了全碳型的湿敏元件的制备。本发明方法简单可靠、易于实现低成本柔性湿敏元件的批量生产。
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