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公开(公告)号：CN102128751A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201010593748.9
申请日：2010-12-17
Applicant: 上海工程技术大学
IPC: G01N3/14
Abstract: 本发明涉及力学性能测试技术领域，一种研究金属薄膜断裂性能的方法，取衬底(2)为脆性材料，同一组衬底(2)的尺寸相同，长宽比不小于2∶1，衬底(2)的厚度与薄膜(1)的厚度之比不小于100∶1；衬底(2)非薄膜生长面的中间预设一条缺口(2a)，衬底(2)在薄膜(1)生长前正反面清洗干净，去除油污灰尘，并保证用于生长薄膜(1)的衬底(2)面的表面平整光滑；在不改变衬底(2)形状和性能的条件下，以适用的方式在衬底(2)上生长薄膜(1)；在衬底(2)两端各去除部分薄膜(1)，作为夹持和载荷作用区域，施加静载荷直至衬底(2)断裂；在保持断面完整无污染条件下，以适用的电镜微观分析。本发明降低了基体和夹层之间变形的失配；具有动载荷，变形断裂速度快，且能够使薄膜沿特定方向断裂的特点。
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公开(公告)号：CN101805892A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010141206.8
申请日：2010-04-02
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化锌薄膜的制备方法，具体步骤如下：衬底材料在丙酮和无水乙醇中用超声波振荡清洗1-3次；将靶材和衬底材料放入真空磁控溅射仪中，空磁控溅射仪的真空度为1.0×10-3～1.0×10-4Pa，充入惰性气体；工作气压为3.0Pa～0.1Pa，溅射间隙为40mm-120mm，溅射功率为20-60W；溅射获得金属锌薄膜与衬底材料一起转移到电阻炉中，热氧化气氛中氧分压约1KPa～30KPa，氧化温度为400℃-1200℃，热氧化时间10sec-1h，获得产物。本发明技术方案，具有工艺简单、速度快、适合连续化工业生产。能够制备大面积，厚度均匀，晶粒均匀、致密的氧化锌薄膜。
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公开(公告)号：CN101499784A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200910046390.5
申请日：2009-02-20
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本发明涉及微电子工艺及其器件技术领域，具体地是一种新型压电薄膜谐振器的制备方法，其特征在于采用SOI晶片，在其顶层硅上刻蚀出腐蚀槽或腐蚀孔，然后用氢氟酸腐蚀掉槽或孔间所围范围的绝缘层，在晶片顶层上形成一个悬空的硅层；接着在这个悬空的顶层硅上先后沉积底电极材料，压电薄膜材料，顶电极材料，构成一个压电薄膜谐振器；本发明有益效果：采用SOI晶片制作空腔型压电薄膜谐振器，其中利用两层硅之间的氧化层作牺牲层，省去了沉积牺牲层的步骤，简化了工艺，并可用其与硅工艺相兼容，这可将谐振器阵列和外电路集成在一起，使电路具有高速、低压、低功耗、灵敏度高，响应速度快并且多通道的优点，同时使器件微型化、集成化程度更高。
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公开(公告)号：CN101429648A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810204439.0
申请日：2008-12-11
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本发明涉及磁控共溅处理表面材料的技术领域，具体地说是一种三靶磁控共溅射制备铝—铜—铁准晶涂层的方法及其应用，其特征在于：磁控共溅射中采用Al靶、Cu靶和Fe靶三种靶材同时进行磁控溅射；磁控共溅射工艺参数为：Al靶溅射功率为116－125W、Cu靶溅射功率为12－13W、Fe靶溅射功率为30－38W、背底真空度为1.5×10－4Pa，充入Ar气后工作气压为2.0Pa，基底负偏压为－120V，基底温度为550℃，溅射60min。本发明与现有技术相比，准晶涂层的硬度高，摩擦系数低，耐磨及抗高温氧化性能好，镀层组织均匀和致密，涂层附着力高；采用磁控溅射方法有利于控制合金靶材的成分，勿需经过退火热处理。
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公开(公告)号：CN101403099A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810200801.7
申请日：2008-10-06
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本发明涉及半导体材料领域，具体地是一种金属掺杂ZnO薄膜的制备方法，其特征在于步骤如下衬底清洗后放入磁控溅射装置室中，其反应室抽取成高洁净度真空；采用高纯度金属条为掺杂物及高纯度Zn为原料，将金属条按若干比例固定于Zn靶上；以纯Ar气和纯氧气为溅射气体和反应气体，经流量计控制输入真空反应溅射室，进行溅射生长；生长后在真空环境下退火处理；本发明有益效果：实现了对金属掺杂量的控制，反应中采用射频溅射的模式能有效降低金属靶在反应溅射中受氧化的影响，使得溅射保持持续稳定，最后接合相应的真空退火工艺，优化了MZO薄膜的光学和电学性能。该方法简化了工艺过程，减少了整体研发工序，缩短了周期，节约了成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100414002C
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200510030349.0
申请日：2005-10-10
Applicant: 上海工程技术大学
IPC: C25D5/08
Abstract: 本发明涉及机械装置技术领域，具体地说是一种高速电喷镀装置，包括镀液循环系统、机械传动系统、微机电路控制系统及控制台。本发明同现有技术相比，结构新颖，高速电喷镀时，一定流量和压力的电解液从阳极喷嘴高速喷射到阴极工件表面，不仅对镀层进行了机械活化，同时还有效地减少了附面层和扩散层的厚度，加快了溶液的搅拌速度，能有效地提高极限电流密度，从而提高了沉积速度；同时，具有选择性、快速、低成本和不需要罩具等优点。
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公开(公告)号：CN101020631A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710038382.7
申请日：2007-03-23
Applicant: 上海工程技术大学
IPC: C07C67/08 , C07C69/14 , B01J27/053
CPC classification number: Y02P20/584
Abstract: 本发明公开了一种S2O82－/TiO2－Al2O3固体超强酸催化合成乙酸正丁酯的方法，是一种以乙酸和正丁醇为原料、以S2O82－/TiO2－Al2O3固体超强酸为催化剂合成乙酸正丁酯的方法，本发明方法将正丁醇与乙酸按摩尔比(1～1.7)∶1，依次加入反应器中，再加入占醇酸总质量0.5％～6％的S2O82－/TiO2－Al2O3固体超强酸，控温加热，回流温度为112～118℃，反应时间为0.5h～3.5h，冷却，抽滤回收催化剂，反应液用10％碳酸钠溶液洗涤至中性，然后用蒸馏水洗涤，干燥，过滤后，将粗产品进行蒸馏，收集124℃～126℃的馏分，即得精制的乙酸正丁酯。本发明方法具有反应活性高、操作简便、产品分离提纯容易、催化剂可重复使用及环境污染小等优点。
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公开(公告)号：CN2837906Y
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：CN200520045265.X
申请日：2005-09-23
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本实用新型涉及机械装置技术领域，具体地说是一种腐蚀性镀液温控装置，包括加热环、热电偶、控温仪表、气体泵及软管，其中沉积室底部管道插入镀液槽内，由电阻丝、绝缘布及不锈钢外套组成的加热环套在镀液槽外部，镀液槽底部连接不锈钢管道，不锈钢管道连接磁力泵，热电偶一端探头插于镀液槽中，热电偶另一端连接控温仪表的一端，控温仪表的另一端连接要加热环的紧扣装置上，软管的一端插入镀液槽内底部，软管的另一端连接气体泵。本实用新型同现有技术相比，采用了加热环、热电偶及恒温控温方式，使操作方便，经济实用，适用性强。
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公开(公告)号：CN206287541U
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201621299267.6
申请日：2016-11-30
Applicant: 上海工程技术大学 , 上海中国弹簧制造有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种碳纤维复合材料螺旋弹簧及其制作方法和成型模具，该弹簧包括呈螺旋状的弹簧丝，弹簧丝由芯轴、包裹在芯轴外的中层及包裹在中层外的外层组成，芯轴由若干根碳纤维增强体组成，并且该芯轴呈扭转状，碳纤维增强体由浸渍有树脂的若干根碳纤维束及包裹在若干根碳纤维束外的一层浸渍有树脂的碳纤维布组成，中层为浸渍有树脂的若干层碳纤维布或浸渍有树脂的碳纤维束，外层为由软管构成的保护套。与现有技术相比，本实用新型的弹簧质轻，强度、刚度及疲劳寿命高，吸收弹簧自身震动能力强，同时绝缘及防锈好，制作方法简单、易行，可操作性强，而且节省成本，节约资源；成型模具可设计性强、开模成本低、模具拆卸容易、模具污染小。
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公开(公告)号：CN201360245Y
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200920067906.X
申请日：2009-02-20
Applicant: 上海工程技术大学
IPC: H03H9/15
Abstract: 本实用新型涉及微电子器件，具体地是一种改进型压电薄膜谐振器，其特征在于：在SOI晶片的顶层硅上光刻刻出腐蚀槽或者腐蚀孔，顶层硅下面的SiO2层为一空腔结构，使顶层硅形成一悬空的顶层硅，在悬空的顶层硅上依次沉积底电极层、压电薄膜和顶电极层；本实用新型有益效果：可用其与硅工艺相兼容，这可将谐振器阵列和外电路集成在一起，使电路具有高速、低压、低功耗、灵敏度高，响应速度快并且多通道的优点，同时使器件微型化、集成化程度更高，比及其他的空腔型压电薄膜谐振结构，基于SOI晶片的空腔结构可以获得更大、更稳定的谐振区域，其悬空硅层的机械性能较其他的空腔型谐振支撑结构更加牢固，不易断裂。
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