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公开(公告)号：CN111693906B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202010587423.3
申请日：2020-06-24
Applicant: 电子科技大学 , 苏州芯镁信电子科技有限公司
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种硅基腔光机械系统洛伦兹力磁场传感器加工方法，包括以下步骤S1、准备SOI衬底；S2、在SOI衬底表面蒸镀一层绝缘介质层，在绝缘介质层上蒸镀一层金属薄膜形成洛伦兹线圈结构；S3、通过图形化处理和等离子体增强蚀刻工艺在SOI衬底上蚀刻出大质量块、固定块、悬臂梁以及周期排列的腐蚀孔；S4、采用电子束曝光刻蚀技术，刻蚀出光子晶体结构；S5、采用HF气体腐蚀大质量块、固定块以及光子晶体区域下方SOI衬底埋氧层。本发明采用了新型的金属氧化物和氟化物作为介质层，并使用HF干法释放工艺，解决了传统介质层无法耐受HF溶液的问题，极大的缩短了工艺时间，且不存在局部F离子浓度不均匀的状况，刻蚀更加均匀。
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公开(公告)号：CN111707391B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202010198563.1
申请日：2020-03-20
Applicant: 电子科技大学 , 西南电子技术研究所(中国电子科技集团公司第十研究所)
Abstract: 本发明公开了一种基于液态金属的高Q值温度感知Anapole谐振结构，用于感知探测、辐射控制等技术领域。本发明由具有n×n个高Q值谐振单元按周期排列构成。该种高Q值谐振单元根据静环向偶极矩(Anapole)理论，并结合液态金属的受热膨胀性、流动性等特性设计而成，使该谐振单元具有高Q值特性，能实现较高的温度感知分辨率。同时为了提高温度感知能力，在谐振结构中添加了一个储液结构，从而实现较高的感知灵敏度。
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公开(公告)号：CN111707391A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010198563.1
申请日：2020-03-20
Applicant: 电子科技大学 , 西南电子技术研究所(中国电子科技集团公司第十研究所)
Abstract: 本发明公开了一种基于液态金属的高Q值温度感知Anapole谐振结构，用于感知探测、辐射控制等技术领域。本发明由具有n×n个高Q值谐振单元按周期排列构成。该种高Q值谐振单元根据静环向偶极矩(Anapole)理论，并结合液态金属的受热膨胀性、流动性等特性设计而成，使该谐振单元具有高Q值特性，能实现较高的温度感知分辨率。同时为了提高温度感知能力，在谐振结构中添加了一个储液结构，从而实现较高的感知灵敏度。
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公开(公告)号：CN108682943A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810619049.3
申请日：2018-06-15
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种兼容5G与Wi‑Fi/WiMax频段的小型化天线，包括自下而上装配的介质覆层和金属辐射面；所述金属辐射面包括共面安装的Y型平面单极子与馈电共面波导，以及连接于Y型平面单极子的三叉戟馈电线、带状调谐臂，连接于馈电共面波导地平面的折叠金属边框，和分别加载在Y型平面单极子与馈电共面波导上的辐射缝隙。该天线可以满足5G商用所必须面临的同时兼容5G频段与现有工作频段的终端的应用需求，具有尺寸小、加工方便、易于共形安装、宽频带内辐射性能稳定等优点。
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公开(公告)号：CN108365320A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810126480.4
申请日：2018-02-08
Applicant: 电子科技大学
CPC classification number: H01Q1/38 , H01Q1/12 , H01Q1/48 , H01Q1/50 , H01Q9/30 , H01Q21/00 , H01Q21/0075
Abstract: 本发明公开了一种超宽带低剖面对数周期单极子端射天线，包括从上到下依次连接的上层介质板、支撑介质板、金属地、下层介质板和微带连接件，支撑介质板上安装有金属单极阵子组，金属单极阵子组包括二十四个长度呈对数周期分布的金属单极阵子，金属单极阵子之间的距离满足对数周期律，金属单极阵子长度超过支撑介质板高度的部分折弯与上层介质板的下表面贴合。本发明所提供的一种超宽带低剖面对数周期单极子端射天线，能够解决现有传统端射天线频带窄、体积大且不易共形、端射性能不稳定等问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107834207A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201711211712.8
申请日：2017-11-28
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明公开了一种汞基温度可调谐电磁超材料，包括双环形玻璃管，双环形玻璃管内封装有汞柱和两个汞球，汞球和汞柱封装在双环形玻璃管内，双环形玻璃管包括第一环形玻璃管和第二环形玻璃管，第一环形玻璃管和第二环形玻璃管的结构相同，第一环形玻璃管和第二环形玻璃管连通；两个汞球的位置关于双环形玻璃管的圆心对称布置，汞球的直径为0.8毫米到1.5毫米之间。汞柱为圆弧结构，汞柱的直径为0.05毫米到0.15毫米之间，汞柱的初始弧长为20毫米到22毫米之间。
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公开(公告)号：CN102931495A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210427068.9
申请日：2012-10-31
Applicant: 电子科技大学 , 无锡成电科大科技发展有限公司
IPC: H01Q17/00
Abstract: 本发明公开一种单频/双频电磁超介质吸波材料，所述吸波材料的基材为PCB基板，在PCB基板的一面刻蚀有周期排列的雪花状谐振结构；所述雪花状谐振结构是由主臂和主臂上的次级臂构成的层级结构，其中，主臂有三条，且三条主臂的中心均相交于同一点，三条主臂相互成60度角，至多只有两条主臂的长度相等；所述主臂上的次级臂呈中心对称分布。该吸波材料在微波频段内可以通过改变谐振单元臂长的长短来实现单频/双频的转换并且智能调节双频吸波的工作频段。
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公开(公告)号：CN102769205A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201210257971.5
申请日：2012-07-24
Applicant: 电子科技大学 , 无锡成电科大科技发展有限公司
Abstract: 本发明涉及一种基于亚铁磁体的可调谐双频负折射率媒质及制备方法，属于微波电磁材料技术领域。所述媒质可分别由刻蚀有SRR和金属线结构、Ω状结构、截断金属短线和金属线的介质板与亚铁磁体层叠构成。本发明所构造的双频负折射率媒质具有智能可调谐特性，可用于可调谐双频带通/带阻滤波器、可调谐双频电磁隐形材料和吸波材料等领域。
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公开(公告)号：CN101494310B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200810147694.6
申请日：2008-11-27
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种可调谐负折射率材料，属于微波材料技术领域。由等效负磁导率的片状绝缘型亚铁磁材料和片状等效负介电常数的材料周期性层叠而成；所述片状绝缘型亚铁磁材料为釔铁石榴石类亚铁磁材料，其介电常数为13.8，饱和磁化强度为1830Gs，损耗角正切为0.0004，厚度为1mm～2mm；所述片状等效负介电常数的材料为沉积在厚度为0.254mm～0.508mm的聚四氟乙烯玻璃纤维电路基板上的相互平行的金属线构成的金属线阵列，每条金属线的厚度为0.018mm～0.035mm，宽度为0.2mm，金属线间的间隔为1.508mm～2mm。本发明所构造的负折射率材料，其工作频率宽；实现负折射率的频带可随外加磁场大小的改变而改变。该种材料在隐身材料、天线工程、微波、毫米波器件等领域将有着广阔的应用前景。
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