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公开(公告)号：CN118006164A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410159943.2
申请日：2024-02-04
Applicant: 厦门大学
IPC: C09D11/102 , G01K7/02 , C09D11/03 , C09D11/52
Abstract: 本发明提出了一种自封装耐高温电子墨水，其特征在于，包括以下原料成分：100份金属纳米粉末、50～100份硅基陶瓷先驱体聚合物、10～30份有机稀释溶剂。上述自封装耐高温电子墨水的应用方法，包括以下步骤：S1，将自封装耐高温电子墨水印刷成敏感薄膜；S2，将敏感薄膜于700～1400℃的高温空气环境中退火，冷却后即可实现耐高温导电薄膜的制备。
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公开(公告)号：CN112138731A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010966487.4
申请日：2019-04-09
Applicant: 厦门大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明涉及微纳3D打印以及微流控器件技术领域。本发明提出一种微流控器件的制造方法：在下基底层上通过打印的方式形成具有微流道基本单元和/或微阀基本单元的功能区，最后键合上基底层；其中，功能区的形成具体是：通过打印的方式沉积纳米纤维膜基层，而后通过打印的方式将疏水材料按照设定的图案转移至纳米纤维膜基层并固化，以形成纳米纤维膜功能层，按照此过程构建至少一层纳米纤维膜功能层。同时，本发明还提出一种根据上述制造方法所制造的微流控器件。以及本发明还提出一种微流控器件的制造装置，包括：高压直流电源、注射泵系统、喷头模块、收集板、位移执行组件和控制系统。本发明能够大幅的节约微流控器的制造成本。
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公开(公告)号：CN108193290A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711485921.1
申请日：2017-12-29
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00
Abstract: 一种高效纳米纤维纺丝装置，涉及静电纺丝装置。设有高压直流电源、电机驱动装置、传动装置、转动轴、轴承、溶液槽、箅状板、旋转针芯、收集板和供液装置；所述高压直流电源正极与溶液槽相接，高压直流电源负极与收集板连接并接地，为液面锥尖激发射流提供高压电场；所述收集板位于溶液槽上方，用于沉积固体纳米纤维；所述箅状板上设置微管道阵列，所述旋转针芯安装于微管道内，旋转针芯的针尖伸出微管道；电机驱动装置通过传动装置驱动各转动轴同轴旋转；轴承内圈套在转动轴上，轴承外圈固定在溶液槽底部；转动轴经夹具与旋转针芯相连；所述供液装置通过输液管与溶液槽连接。
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公开(公告)号：CN104457548B
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201510006642.7
申请日：2015-01-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种非接触式硅片减薄厚度测量装置，涉及厚度测量装置。设有座架、基板、成对推挽式电容器阵列、载样台、交流恒压源、信号处理电路和控制模块；基板固定在座架上端且位于载样台上方，成对推挽式电容器阵列设于基板上，载样台设于座架支承面上，交流恒压源设于座架外部，交流恒压源与基板3中的成对推挽式电容传感器及载样台串联形成闭合回路，信号处理电路与所述闭合回路并联，信号处理电路中设有用于传感信号放大的放大器电路、用于去除共模干扰的同步侦测器及减法运算器，控制模块的输入端接信号处理电路输出端，控制模块用于将信号处理电路输出的信号整合为待测硅片或载样台的位置数据信息，并拟合二次曲面。
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公开(公告)号：CN104190570B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201410443015.5
申请日：2014-09-02
Applicant: 厦门大学
Abstract: 安培力驱动的S型流道焊料喷射头，涉及一种焊料微熔滴喷射装置。设有基体、喷嘴、加热室、加热圈、导电膜、压力传感器、泄气管和电磁阀；基体设有S型弯折状的流道，流道壁面上镀有导电膜，导电膜作为电极，基体设有电极导线引出孔，导电膜与外部电连接，喷嘴设于基体底部，喷嘴与所述流道的底端连通，加热室设于基体上方，加热室上端设有盖板，加热圈设于加热室的外围，压力传感器设于盖板上，泄气管设于盖板上，泄气管设有泄气孔，泄气管通过电磁阀与外部气源连通。可增大熔融焊料所受安培力，同时增大熔融焊料的加速距离，更容易实现喷射。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103551696B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310556204.9
申请日：2013-11-11
Applicant: 厦门大学
IPC: B23K3/06
Abstract: 一种利用安培力驱动的喷射式焊料分配装置，涉及一种焊料分配装置。设有基体、焊料加热器、螺旋形绝缘管、微孔喷嘴、电源、励磁线圈、铁芯、供料仓和焊丝固定柱；基体设有中空腔，励磁线圈套在铁芯上，铁芯设中心通孔，励磁线圈和铁芯设于基体内，焊料加热器设于铁芯的中空孔内，螺旋形绝缘管套在焊料加热器上，螺旋形绝缘管下端设有焊料喷嘴，螺旋形绝缘管上端伸入供料仓中，螺旋形绝缘管上部设有上导线接线端子，螺旋形绝缘管下部设有下导线接线端子，电源正负两极分别与螺旋形绝缘管上导线接线端子和下导线接线端子连接，焊丝固定柱设于供料仓内，供料仓腔壁设有气体输入口。尺寸可小型化，可明显节省焊料，有效提高焊接质量及自动控制程度。
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公开(公告)号：CN103413780B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310365926.6
申请日：2013-08-20
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法，涉及硅通孔互联技术。在硅层上刻蚀出沟槽，形成硅柱；将带有图案的丝网版与硅层刻蚀后的图案对准；将玻璃粉置于丝网版上，在竖直方向挤压使玻璃粉填充沟槽，移走丝网版；去除硅柱顶部表面玻璃粉；将填充有玻璃粉硅层加热熔融，内部无气泡，冷却后得熔融玻璃结构，将得到熔融玻璃结构的硅层置于腐蚀液中，采用湿法腐蚀工艺去除硅柱顶部表面残留的熔融玻璃结构，得到沟槽内的熔融玻璃骨架；采用机械研磨方式，将硅层下部减薄加工至暴露出硅柱底部，再采用化学机械抛光方式修复研磨损伤，从而获得所述基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构。
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公开(公告)号：CN103145093B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201310085087.2
申请日：2013-03-18
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法，涉及微惯性器件。提供简单、可保证电学特性且成本低的一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法。加工梳状结构的硅微惯性器件半成品主体结构；加工与硅微惯性器件半成品主体结构配合的带凹槽的封装盖；制备高深宽比的梳齿间隙；制备硅微惯性器件成品。先将原本的固定梁制备成悬浮梁，然后通过施加反向电压，在静电吸合的作用下，使悬浮梁移动定位，自热形成高深宽比梳齿间隙。简单易操作，而且加工中所需的刻蚀、键合等工艺已非常成熟，不需要高精密的刻蚀仪器或者繁杂的沉积方法就可以获得高深宽比的梳齿间隙，而且因为不需要重复刻蚀等步骤，梳齿间隙的均匀性可以很好地保证。
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公开(公告)号：CN103234669B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201310106170.3
申请日：2013-03-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种利用静电负刚度的压力传感器及其制作方法，涉及压力传感器。传感器自下而上设压力敏感层、悬臂式谐振层、真空封装盖层和电极。光刻胶做掩膜，在玻璃片上加工电极孔和引线缺口，再与硅片连接，腐蚀出驱动硅电极和检测硅电极；在金属或氧化硅掩膜上开掩膜窗口，再腐蚀出悬臂式谐振层上下表面的盲槽；刻蚀出悬臂式谐振层的引线缺口、带质量块的悬臂梁；用氧化硅层或氮化硅做掩膜，单面腐蚀出压力敏感膜和接地电极，制成压力敏感层，上端与悬臂式谐振层下端连接形成组合片，再与真空封装盖层连接形成三层组合片，装于硬板夹具，通过溅射或蒸镀得覆盖接地电极的金属层、驱动硅电极的引线电极、检测硅电极的引线电极以及直流偏压金属电极得传感器。
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公开(公告)号：CN103193195B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201310074216.8
申请日：2013-03-08
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种重掺杂硼硅片的再分布方法，涉及一种重掺杂硼硅片。将重掺杂硼硅片放在托盘上，然后置于石英腔体中，关闭屏蔽箱门，旋转压紧密封机构；将石英腔体抽真空，通过气体进口和气体出口，对石英腔体内通入再分布所需气体；开启电源，通过电极片在空间中施加电场，然后开通射频电源，通过自动匹配器实现负载匹配，让感应线圈产生高频变化的磁场；打开温度传感器，利用温度传感器的温度指示，调节输入功率达到要求的温度，对重掺杂硼硅片进行加热，开始再分布过程；为确保操作人员安全，电磁感应线圈外装有电磁屏蔽外壳，在整个再分布过程中要保持干扰场强仪的开启，以实时监测场强大小，使其在相关规定的范围内。加热速率快，成本低，有效减小残余应力。
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