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公开(公告)号：CN105794320B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201480066214.7
申请日：2014-09-17
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/3211 , H01L51/0017 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供能够防止混色的发生、提高显示品质并且提高制造效率的有机EL显示面板的制造方法。本发明的有机EL显示面板的制造方法依次包括以下工序：在第一像素形成显示第一发光色的发光材料的膜而形成第一发光层的工序(1)；对包含相邻的第一像素和第二像素的区域进行蚀刻处理，留下上述第一发光层，将在上述工序(1)中附着于上述第二像素的比上述第一发光层薄的显示上述第一发光色的发光材料的薄膜除去的工序(2)；在上述第二像素形成显示与上述第一发光色不同的第二发光色的发光材料的膜而形成第二发光层的工序(3)；和对包含上述第一像素和上述第二像素的区域进行蚀刻处理，留下上述第二发光层，将在上述工序(3)中附着于上述第一像素的比上述第二发光层薄的显示上述第二发光色的发光材料的薄膜除去的工序(4)。
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公开(公告)号：CN103385035B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201280008716.5
申请日：2012-03-07
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/542 , C23C14/564 , H01L51/0003 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀颗粒放出喷嘴部(30)包括蒸镀颗粒发生部(41)、至少一级的中间喷嘴部(51)、蒸镀颗粒放出喷嘴部(61)和热交换器(43、63、53)。蒸镀颗粒放出喷嘴部(61)由热交换器(63)控制成比蒸镀材料成为气体的温度低的温度，中间喷嘴部(51)由热交换器(53)控制成蒸镀颗粒发生部(41)与蒸镀颗粒放出喷嘴部(61)之间的温度。
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公开(公告)号：CN103340012B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201280005773.8
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L27/3295 , C23C14/042 , C23C14/56 , H01L27/3211 , H01L27/3276 , H01L27/3283 , H01L51/56 , H01L2227/323
Abstract: 在利用蒸镀装置（50）形成有蒸镀部的TFT基板（10）中，蒸镀装置（50）包括具有射出口（86）的蒸镀源（85）和具有开口部（82）的蒸镀掩模（81），蒸镀颗粒经开口部（82）被蒸镀而形成蒸镀部，TFT基板（10）具有在像素区域（AG）二维排列的像素和与各像素电连接的配线（14），相互隔着间隙（X）地形成有多个蒸镀部（Q），配线（14）的各端子配置于间隙（X）。
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公开(公告)号：CN103328681B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201280005720.6
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C16/448 , C23C14/243 , C23C16/042 , G03B37/06 , H01L51/0008
Abstract: 本发明的坩埚（50）具备：对被成膜基板射出蒸镀颗粒的开口部（55a）；在与开口部（55a）相对的位置设置，对从开口部（55a）射出的蒸镀颗粒进行反射的焦点部件（54a）；和将由焦点部件（54a）反射后的蒸镀颗粒向被成膜基板反射的旋转抛物面（55b）。
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公开(公告)号：CN103237916B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201180057574.7
申请日：2011-11-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L31/18 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C14/542 , H01L51/001 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 防镀板（3）和挡板（4）的至少一部分由多个小片（3a、3b、4a、4b）连结而成，在各个小片（3a、3b、4a、4b）设置有能够将小片彼此连结和解除连结的连结部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103124803B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201180046519.8
申请日：2011-09-15
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L33/44 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/0008 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 一边使基板(10)相对于蒸镀掩模(70)在隔开固定间隔分离的状态下相对移动，一边使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)通过蒸镀掩模的掩模开口(71)附着于基板，形成覆膜(90)。设与基板的法线方向正交并且与基板的相对移动方向正交的方向为第一方向、基板的法线方向为第二方向时，在蒸镀源开口和蒸镀掩模之间，沿第一方向配置有各自包括沿第二方向排列的多个控制板(80a、80b)的多个控制板列。由此，能够在大型的基板上形成抑制了端缘的模糊及其偏差的覆膜。
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公开(公告)号：CN103282540B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201180063869.5
申请日：2011-12-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/02263 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L21/67017 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀装置(50)的掩模(60)具有周期性的图案，仅一周期的图案的形成区域露出。掩模基材的与长边方向垂直的方向的长度比被成膜基板(200)的扫描方向的长度短。掩模(60)配设成掩模基材的长边方向与扫描方向垂直，并设置成能够通过卷出辊(91)和卷取辊(92)的旋转使露出区域在与扫描方向垂直的方向上移动。
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公开(公告)号：CN103210113B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201180054721.5
申请日：2011-12-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0011 , H01L51/50
Abstract: 依次配置有蒸镀源（60）、限制板单元（80）和蒸镀掩模（70）。限制板单元具备沿第一方向配置的多个限制板（81）。在第一方向上规定限制空间的限制板的侧面构成为：相对于在第一方向上相邻的限制板间的限制空间（82）的第一方向尺寸最狭窄的最狭窄部（81n），至少在蒸镀源侧，形成限制空间的第一方向尺寸比最狭窄部宽的部位。由此，能够在大型基板上的期望位置形成端缘的模糊被抑制的覆膜。
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公开(公告)号：CN103154300B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201180046926.9
申请日：2011-09-26
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/562 , H01L51/001
Abstract: 蒸镀装置(50)包括：掩模单元(54)，其包括蒸镀源(70)、蒸镀掩模(60)和掩模保持部件(80)；基板保持具(52)；掩模单元移动机构(55)和基板移动机构(53)中的至少一个。在基板保持具(52)和掩模保持部件(80)中的至少一个的与另一个相对的面，设置有辊(83)。
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公开(公告)号：CN103477713A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201280015935.6
申请日：2012-03-27
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/504 , H01L27/3213 , H01L27/3218 , H01L27/3244 , H01L51/5265 , H01L51/56 , H05B33/145
Abstract: TFT基板(10)具有包含至少三种颜色的发光区域的多个像素区域，该至少三种颜色的发光区域分别具有由蒸镀膜构成的发光层(23R(1)、23G、23R(2)、23B)，相邻的两个发光区域是在由各种颜色的发光区域的发光层产生相同亮度的光时具有最大电流效率的颜色的发光层(23G)的发光区域和具有最小电流效率的颜色的发光层(23B)的发光区域的组合以外的组合。
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