1,1-二氟乙烷的提纯方法
    71.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100455555C

    公开(公告)日:2009-01-28

    申请号:CN200480033083.9

    申请日:2004-11-04

    Inventor: 大野博基

    Abstract: 本发明涉及使含有选自各自在分子内具有两个碳原子的不饱和化合物和各自在分子内具有两个碳原子的饱和含氯化合物中的至少一种化合物的粗1,1-二氟乙烷与沸石和/或碳质吸附剂接触,或使含有氟化氢和作为杂质的选自各自在分子内具有两个碳原子的不饱和化合物中的至少一种化合物的粗1,1-二氟乙烷与氟化催化剂在气相状态下接触。可以在工业上以有利的方式生产可用作低温制冷剂或蚀刻气体的高纯度1,1-二氟乙烷。

    三氟化氮的制造方法及其制造装置

    公开(公告)号:CN101248006A

    公开(公告)日:2008-08-20

    申请号:CN200680031146.6

    申请日:2006-08-25

    Abstract: 本发明的三氟化氮的制造方法,其特征在于,将氟气和氨气供给到管状反应器中,使其在稀释气体的存在下、气相中、无催化剂条件下进行反应,生成主要含有三氟化氮的气体生成物和主要含有氟化铵和/或酸式氟化铵的固态生成物,利用安装在上述管状反应器上的用于除去上述固态生成物的装置,来除去附着在上述管状反应器的内壁的上述固态生成物。

    微量成分的分析方法及其分析装置

    公开(公告)号:CN101031794A

    公开(公告)日:2007-09-05

    申请号:CN200580033032.0

    申请日:2005-09-14

    CPC classification number: G01N30/14 G01N30/88 G01N2030/025 G01N2030/8859

    Abstract: 本发明提供可简便且高精度地进行含氟气的混合气体中所含的微量成分的分析的方法以及微量成分的分析装置。本发明的微量成分的分析方法,其特征在于,使(i)由氟气和稀释气体组成、并含有微量成分的混合气体、和(ii)含氢物质进行反应,将该氟气转化成氟化氢,将该氟化氢进行固定化除去之后,利用气相色谱仪对该微量成分进行分析。本发明的微量成分的分析装置,具有使(i)由氟气和稀释气体组成、并含有微量成分的混合气体、和(ii)含氢物质进行反应的反应管、填充有碱金属的氟化物的管、在可切换载气的流路的六通切换阀上连接有能分取一定量的样品的试样计量管的气体采样器、以及气相色谱仪,进行配管以使得上述混合气体和上述含氢物质按该顺序流过。

    氢氟烃的制造方法,其制品及其用途

    公开(公告)号:CN1330615C

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200480001220.0

    申请日:2004-09-09

    CPC classification number: C07C17/206 C07C19/08

    Abstract: 使卤代甲烷混合物和氟化氢,在气相中在氟化催化剂的存在下在单一的反应带中反应,将生成的气体导入蒸馏塔中进行分离精制后,获得2种或2种以上的氢氟烃。根据本发明,可以有利于工业地制造在半导体器件的制造工艺中可以作为蚀刻气体或清洗气体而使用的,高纯度的氢氟烃类、特别是氟代甲烷、二氟甲烷。

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