质量流量计以及速度计
    71.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106461438A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580029242.6

    申请日:2015-05-07

    CPC classification number: G01F1/6888 G01F1/684 G01F23/0007 G01P5/10

    Abstract: 本发明提供质量流量计以及速度计。质量流量计具备在加热器部(13)的两侧分别形成有第1、第2传感器部(11、12)的流量传感器(10)。流量传感器(10)具备由热塑性树脂构成且多个层叠的绝缘层(100、110、120)、以及相对于这些绝缘层形成且相互连接的第1导电体、第2导电体(130、140),由将多个绝缘层(100、110、120)一边加热一边加压而一体化的多层基板构成。当具有从加热器部(13)放出的热的流体沿着流量传感器(10)的一面移动时,第1、第2传感器部(11、12)产生与在各自的区域内的一面与另一面之间产生的温度差相应的大小的电动势。流量传感器化从而制造的构造,且为不存在隔膜正下方的空间那样的大的空间的构造,因此与具有隔膜构造的传感器相比难以破损。(10)为将多个绝缘层一边加热一边加压而一体

    液面高度检测计
    72.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105683723A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201480059374.9

    申请日:2014-10-29

    CPC classification number: G01F23/22

    Abstract: 液面高度检测计具备:检测元件,其具有一面和与该一面相反的一侧的另一面,上述一面朝向液体并且上述一面成为与液面的高度方向平行的状态;珀尔帖元件,其设置于检测元件的另一面侧;以及控制部,其进行上述液体的液面高度的检测处理。上述珀尔帖元件形成从上述另一面朝向上述一面而在上述检测元件的内部通过并朝向上述液体或气体的热流。上述控制部基于与在上述检测元件的内部通过的热流对应地输出的电信号的输出值、和检测元件的输出值与上述液面高度的关系,计算液面高度。

    洁净室装置
    73.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101559388B

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN200910134506.0

    申请日:2009-04-17

    Abstract: 本发明提供能够确保必要的清洁度而且设备的重新构筑容易、且能够短时间启动生产线的洁净室装置。通过根据需要将相邻的工作机械的洁净作业室单元(10)彼此相互连结,能够构筑具备构成比周围的空间清洁度高的作业空间的局部洁净室(33)的作业工序生产线。

    层间连接用导电体的制造方法

    公开(公告)号:CN101594749B

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN200910138964.1

    申请日:2009-05-21

    Abstract: 本发明提供一种被配置于绝缘层(1)内的通孔(4)中的层间连接用导电体(5)的制造方法。在由模部件(21)和移动部件(22)构成的封闭空间中填充银粒子与锡粒子的混合粉体,该模部件具有与要形成的导电体形状对应的槽部;使所述移动部件进行相对移动以接近所述模部件,对填充到所述封闭空间中的混合粉体加压并压入所述模部件的槽部;使在所述模部件和所述移动部件之间构成所述封闭空间的侧面部件(20)与残留在所述模部件表面上的混合粉体一起在所述模部件上滑动,从而将未能进入所述模部件的槽部而残留在所述模部件表面上的混合粉体从被压入所述模部件的槽部的混合粉体上切离;从所述模部件的槽部取出层间连接用导电体。

    层间连接用导电体的制造方法

    公开(公告)号:CN101594749A

    公开(公告)日:2009-12-02

    申请号:CN200910138964.1

    申请日:2009-05-21

    Abstract: 本发明提供一种被配置于绝缘层(1)内的通孔(4)中的层间连接用导电体(5)的制造方法。在由模部件(21)和移动部件(22)构成的封闭空间中填充银粒子与锡粒子的混合粉体,该模部件具有与要形成的导电体形状对应的槽部;使所述移动部件进行相对移动以接近所述模部件,对填充到所述封闭空间中的混合粉体加压并压入所述模部件的槽部;使在所述模部件和所述移动部件之间构成所述封闭空间的侧面部件(20)与残留在所述模部件表面上的混合粉体一起在所述模部件上滑动,从而将未能进入所述模部件的槽部而残留在所述模部件表面上的混合粉体从被压入所述模部件的槽部的混合粉体上切离;从所述模部件的槽部取出层间连接用导电体。

    载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置

    公开(公告)号:CN101451879A

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200810179771.6

    申请日:2008-12-03

    Abstract: 本发明提供一种载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置。在根据本发明的载荷测定方法中,使用接收载荷时弹性变形的挠曲梁(14)和平面间隙构造体(13),平面间隙构造体的间隙量随挠曲梁的变形而变化。气体馈送至由平面间隙构造体形成的间隙(g)且流经该间隙的气体的流量被转换成载荷以测定载荷。载荷传感器(1)包括平板状上表面构件(11)、平板状下表面构件(12)、夹持于上表面构件与下表面构件之间的挠曲梁、和平面间隙构造体,平面间隙构造体与上表面构件形成间隙且具有喷射口(13b),喷射口向间隙馈送气体。由设置于气体流路中的气体流量计(2)测定馈送到间隙的气体流量,由处理单元(4)将其转换成载荷。

    流体材料填充装置及其填充方法

    公开(公告)号:CN1188020C

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN02147510.5

    申请日:2002-10-10

    CPC classification number: H05K3/4053 H05K2203/0126 H05K2203/085

    Abstract: 一种流体材料填充装置及其填充方法。真空泵(16)使排气腔(5)压力降低以排出残留在通路孔(21)中的空气或气体。接着,将设置在排气腔(5)邻近的导电膏腔(9)移动到已排气的通路孔(21)。导电膏腔(9)上设置的挤压单元(6)将导电膏(13)推入通路孔(21)中。通路孔(21)的内部空间保持减压状态,使得导电膏(13)深入通路孔(21)。因而使通路孔(21)的内部空间完全充满导电膏(13)。

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