光助电化学刻蚀装置
    71.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101503817B

    公开(公告)日:2010-10-06

    申请号:CN200910105069.X

    申请日:2009-01-15

    Applicant: 深圳大学

    Abstract: 本发明公开了一种光助电化学刻蚀装置,包括装有反应溶液的反应槽、耐酸泵、与直流电源相连的网孔阴极和环形阳极、红外截止滤光片,以及与硅片位置相对应的卤素灯阵列,该装置在反应槽外套装一个底部开有透光窗的降温槽,在降温槽内通入冷却液,隔断因卤素灯阵列照射而产生的热量向反应槽内传导。同时,在耐酸泵输出管的输出端连接有对硅片上方反应溶液进行循环的花洒式冲刷机构。本发明提供一种保持反应溶液温度基本恒定、避免硅片上气泡堆积的光助电化学刻蚀装置,适用于对大面积硅片实施长时间的稳定深刻蚀。

    一种场助多碱红外光电阴极

    公开(公告)号:CN101159209B

    公开(公告)日:2010-09-15

    申请号:CN200610063499.6

    申请日:2006-11-01

    Applicant: 深圳大学

    Abstract: 本发明公开了一种场助多碱红外光电阴极,在多碱光电阴极后预定距离设置有一金属栅网,并通过外接电路施加电压,以在光电子的出射端面形成均匀电场;所述多碱光电阴极经红外延伸处理,其成份包括Na2KSb为80%-90%,K2CsSb为10%-20%。本发明装置由于采用在光电阴极发射面一定距离内形成一个均匀的外加电场,使可见光多碱光电阴极对波长至少1064nm的近红外波段产生光电响应,并且其稳定性和噪声背景均优于Ag-O-Cs阴极,其光电灵敏度和时间特性均优于组合式光电阴极,并且相对III-V族负电子亲和势光电阴极,其工艺和设备简单、容易实现,从而获得了一种可产品化的红外光电阴极,填补了我国目前真空型实用红外光电阴极的空白。

    一种荧光内窥成像方法及装置

    公开(公告)号:CN101375786A

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN200710077050.X

    申请日:2007-09-12

    Applicant: 深圳大学

    Abstract: 本发明公开了一种荧光内窥成像方法及装置,其采用:散斑图像产生单元产生散斑图像;与散斑图像产生单元耦合,一端可插入到体内待测组织处的光传导单元,将散斑图像通过其末端的物镜聚焦在待测组织上激发出荧光图像,同时将荧光图像逆向传出体外;分光单元在光传导单元的体外端将荧光图像从光路中分离出来;与分光单元耦合的图像采集单元,将荧光图像记录下来;图像分析及处理单元,对所记录的荧光图像进行处理及分析。采用本发明技术方案的荧光内窥成像方法能够以宽场的方式,对体内待测组织在细胞层次上进行无损伤、高空间分辨率的成像,而且后期数据处理容易,成像速度快。采用本发明技术方案的荧光内窥成像装置,结构简单、性价比高。

    用动态散斑照明实现准共焦荧光显微的方法及装置

    公开(公告)号:CN101303302A

    公开(公告)日:2008-11-12

    申请号:CN200710106240.X

    申请日:2007-05-11

    Applicant: 深圳大学

    Abstract: 本发明是一种将动态散斑照明与传统的宽场荧光显微镜有机地结合起来,实现近似共焦荧光显微(也就是准共焦荧光显微)的新方法和新装置。本发明采用氩离子激光器作为光源,激发光经散射体后通过扩束、整形等中继光路系统后耦合到荧光显微镜中,并聚焦到样品上。用计算机控制散射体的步进旋转,在样品上产生动态散斑照明图案。对接收到的一系列荧光图像处理后可在无需扫描的情况下,获得高空间分辨的层析图像。该方法能够以非侵入的方式,获取生物组织样品的高时间和空间分辨三维层析显微图像信息,装置结构简单、性价比高、后期数据处理方便、易于操作和推广,有巨大的应用前景和市场,对于临床疾病诊断和生命科学研究等都具有非常重要的意义。

    一种合成的固体侧向纳米孔

    公开(公告)号:CN101225436A

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN200710072986.3

    申请日:2007-01-19

    Applicant: 深圳大学

    Inventor: 王凯歌 牛憨笨

    Abstract: 本发明为“一种合成的固体侧向纳米孔”,涉及一种由绝缘晶体材料研制成的纳米孔,由纳米孔、样品进出通道、样品存储池和回收池等组成。其特征是:制作该侧向纳米孔不但成品率高,而且成本低;纳米孔的孔径为1.5-10纳米、孔厚为亚纳米,纳米孔与样品的进出通道等完整地连接为一体;在分析样品的特性时,本发明能够对样品进行操纵,能够保证生物样品分子DNA等在进入纳米孔前和离开后的伸展性,保证DNA分子单个、有序、匀速地进入、穿越、离开纳米孔。为合成这种新型侧向纳米孔,本发明首先采用聚焦离子束或高能细束电子束等在高电绝缘性能的晶体材料平整光洁的表面上刻蚀出开口的纳米孔、样品进出通道以及样品池等,再利用阳极键合技术密封成完整的侧向纳米孔。本发明的关键部件纳米孔的孔径大小由能量束刻蚀绝缘材料的分辨率、能量束的移动精度、能量束的漂移、绝缘材料的表面平均粗糙度、以及阳极键合技术等所决定。本发明提供的侧向纳米孔,本身既可以作为一种独立的分子分析用芯片,又能够方便地与其它分子分析用芯片集成形成功能更加强大的新系统。它能够用来操纵单个分子,能够准确、高效、经济地应用于基因(DNA分子)的超快速测序;能够应用于生物分子多种特性的分析;能够应用于纳米级大小药物分子的多种特性分析。

    时间分辨荧光光谱测量和成像方法及其装置

    公开(公告)号:CN1912587A

    公开(公告)日:2007-02-14

    申请号:CN200510092520.0

    申请日:2005-08-12

    Applicant: 深圳大学

    Abstract: 本发明是一种利用皮秒扫描相机同时获取样品荧光光谱和荧光寿命信息的测量方法和装置。从超短脉冲激光器所发出的蓝紫光或近红外光在扩束后被物镜聚焦到样品上用于样品的单光子或双光子激发,样品所发出的荧光被物镜收集后由分光元件分光,通过聚束透镜会聚成像在皮秒扫描相机的光电阴极上。荧光的色散方向与扫描相机的狭缝方向相同,与扫描方向垂直,通过扫描电路和扫描变像管偏转系统的共同作用,可以同时测量出不同光谱的荧光寿命。由于荧光寿命和荧光光谱分别对荧光分子所处的微环境和荧光团分子的种类敏感,因此,二者的同时测量能够为生物医学检测和分析提供互补的功能信息,本发明将在生物学、医学、材料科学等研究领域以及临床医学诊断方面具有重要的应用。

    硅衬底Ⅲ族氮化物外延生长

    公开(公告)号:CN1824849A

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN200510052006.4

    申请日:2005-02-25

    Applicant: 深圳大学

    Abstract: 本发明阐述了一种硅单晶衬底上生长无微裂厚III族氮化物半导体单晶材料的新技术。该技术首先采用金属诱导纳米生长技术在硅单晶衬底上形成尺寸为纳米到微米数量级的图形2,以该纳米到微米数量级的图形为掩膜进行区域选择性外延生长,采用高温AlN成核层3加变组分AlGaN层4加高温GaN 5加低温AlN插入层6加高温变组分AlGaN 7加高温GaN 8外延生长III族氮化物半导体材料。并且在高温生长工艺完成后采用线性慢降温工艺,减少由于温度突变造成应力过大而引起的外延层微裂。硅衬底上纳米数量级的低应力图形介质薄膜将大大释放硅单晶衬底和III族氮化物半导体材料因热膨胀系数和晶格失配太大而造成III族氮化物外延单晶材料中的张应力,消除硅衬底上III族氮化物外延单晶材料中的微裂。区域选择性外延生长降低外延材料中的位错密度,从而提高III族氮化物半导体材料的晶体质量,改善外延III族氮化物半导体材料的光电特性。

    多通道像增强器
    79.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1725105A

    公开(公告)日:2006-01-25

    申请号:CN200410054825.8

    申请日:2004-07-23

    Applicant: 深圳大学

    Abstract: 本发明涉及一种利用单个近贴像增强器实现多通道分幅装置。其特征在于将像增强器光电阴极分为若干个相互隔离的区域,每个相互隔离的区域可以单独施加电脉冲,也可同时施加电脉冲,曝光时间取决于所加脉冲宽度。曝光时间与画幅时间间隔任意可调。对于多通道分幅相机来说,利用本发明组成的分幅相机只使用一个近贴聚焦像增强器和一个CCD摄像机就可得到多幅图像,大大降低了多通道分幅相机的成本。本发明在超快现象诊断技术领域有着重要的应用,特别是在曝光时间为纳秒和亚纳秒范围。

    基于虚拟光学的三维数字水印嵌入/检测方法及装置

    公开(公告)号:CN1220144C

    公开(公告)日:2005-09-21

    申请号:CN03130553.9

    申请日:2003-08-11

    Applicant: 深圳大学

    Inventor: 彭翔 张鹏 牛憨笨

    Abstract: 本发明公开了一种基于虚拟光学的三维数字水印嵌入/检测方法及装置,属于模式识别领域。该方法使用并行硬件和算法的电子装置及软件,仿真虚拟光学成像过程将数字水印信息加入到静止图像、音频或视频数据中。在水印嵌入过程中,将虚拟光路的几何结构参数作为密钥,从而设计出了多重“密钥”。在水印检测过程中,通过使用多重解密密钥,不依赖原始数据即可从含水印的信息中提取出数字水印。水印可以是文本、数字、签名或管理机构的标识等数字文档。采用的装置包括由通用PC机和数字信号处理器、可编程专用集成电路构成的主从式系统,或脱离PC机单独运行的嵌入式系统。本发明的优点在于:鲁棒性强、安全性高、灵活性高、适应性强等特点。

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