-
公开(公告)号：CN119797900A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411983677.1
申请日：2024-12-31
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
IPC: C04B35/111 , C04B35/622 , C04B35/64 , C04B35/632 , C04B35/634 , C04B35/636
Abstract: 本发明属于氧化铝陶瓷结构件领域，具体的涉及一种低介电损耗氧化铝陶瓷结构件及其制备方法。低介电损耗氧化铝陶瓷结构件的制备原料按照质量份数计，包括：100份氧化铝粉末，0.1‑0.3份烧结助剂，2‑4份分散剂，3‑2份粘接剂，0.8‑2.5份润滑剂，0.2‑0.4份造粒粉表面改性剂，0.01‑0.05份消泡剂，0.5‑1份塑化剂改性剂，消泡剂和塑化剂；其中烧结助剂为镁源化合物，镁源化合物中的镁元素含量为氧化铝粉末质量的500‑1200ppm。本发明制得的氧化铝陶瓷结构件具有较高的密度，并且在MHz频段下具有较低的介电损耗，尤其适合纳米级芯片生产设备的使用。
-
公开(公告)号：CN117377151A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202210776481.X
申请日：2022-07-01
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
Abstract: 本申请提供一种可拆卸更换陶瓷加热器顶部结构的方法，所述陶瓷加热器为分体结构，所述分体结构包括原有的加热部件、晶圆承载件，所述晶圆承载件可拆卸更换，在所述加热部件和所述晶圆承载件之间设置气隙面、金属焊接层或者有机硅胶层，本申请通过在晶圆加热器上设有晶圆加热承载结构，在解决匹配不同大小晶圆的同时保证了导热性的要求，结构简单，很大程度上降低了成本。
-
公开(公告)号：CN111546463B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202010406733.0
申请日：2020-05-14
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种超大导程多头陶瓷螺纹加工方法，包括：配置多组样本粉料，以获取平均生坯压缩比数据和平均烧结收缩率的步骤S1；配置造粒粉末采用冷等静压压制，形成密度均匀的坯体的步骤S2；按照预设的螺旋升角和左右后角度制备特定螺纹刀具，并将所述螺纹刀具与数控车床配置，根据所述平均生坯压缩比数据和平均烧结收缩率数据对所述坯体进行车削加工的步骤S3；配置所述坯体进行煅烧以烧结形成初烧成品的步骤S4，取代现有技术下螺纹刀具与大导程多头陶瓷螺纹的螺纹槽之间面接触的磨削方式容易导致多头陶瓷螺纹出现开裂的问题，在烧结前采用刀具与螺纹槽的槽壁之间线接触的磨削方式，以降低磨削过程对螺纹槽的磨损。
-
公开(公告)号：CN108818298A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810594726.0
申请日：2018-06-11
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种研磨盘，制备研磨盘的原料包括：按重量份计，60-75份金刚石粉、8-25份氧化铝粉、5-15份铜粉、25-45份树脂、10-25份固化剂、0.1-0.5份硅烷偶联剂及5-20份辅料。上述研磨盘的原料配比合理，分散均匀，且具有适中的软硬度，研磨制品的良品率高的优点。
-
公开(公告)号：CN119388252A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411558201.3
申请日：2024-11-04
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种小型碳化硅喷嘴外圆加工方法及加工工装，加工方法包括包括：将多个碳化硅喷嘴逐个串联后形成串联体，并使相邻所述碳化硅喷嘴紧密接触；利用固定件对所述串联体的两端进行固定；将所述串联体放置到磨具中进行加工。加工工装包括串联件，所述串联件用于将多个碳化硅喷嘴串联为一体，以形成待打磨的串联体；固定件，所述固定件套设于所述串联件的两端，所述固定件用于固定所述串联体。本发明可增加碳化硅喷嘴外圆与磨具的接触面积，可使用现有的无心磨机床对碳化硅喷嘴外圆进行打磨，提升了加工效率的同时，也需要更换更高精度的无心磨机床，降低了硬件成本与维护成本的投入。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119371216A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411506419.4
申请日：2024-10-28
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
IPC: C04B35/64 , C04B35/581 , F27B14/10
Abstract: 本发明公开了一种氮化铝薄盘类产品热处理工艺及脱火坩埚，热处理工艺，包括：步骤一：选择与产品的平面度相匹配的退火坩埚，所述退火坩埚的平面度不大于0.04mm；步骤二：调整步骤一中所述退火坩埚与产品的位置，使两者进行组合；步骤三：调整所述退火坩埚在退火炉中的摆放位置；步骤四：对退火炉的温度曲线进行控制；步骤五：对经过多次使用的所述退火坩埚进行平面度修整。退火坩埚包括坩埚主体，所述坩埚主体内部开设有容纳腔，所述容纳腔底壁的平面度不大于0.04mm。本发明可使氮化铝薄盘类产品的平面度得到稳定控制，可有效提高热处理设备的效率和精度，满足高端制造对热处理设备的高要求。
-
公开(公告)号：CN119223218A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411739512.X
申请日：2024-11-29
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
IPC: G01B15/02 , G01N23/2202 , G01N23/2251
Abstract: 本发明涉及检测领域，具体地说，涉及一种氧化钇陶瓷件加工表面损伤层的检测方法。氧化钇陶瓷件加工表面损伤层的检测方法主要包括：镶嵌处理，研磨抛光处理，煅烧处理，清洗处理，烘干处理和损伤层检测。本发明氧化钇陶瓷件加工表面损伤层的检测方法检测步骤较为简单，易于实施操作，可以准确测试出损伤层的深度以及形貌，对于氧化钇陶瓷件的加工工艺优化具有重要的指导意义。
-
公开(公告)号：CN119198052A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411486029.5
申请日：2024-10-23
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
IPC: G01M13/00
Abstract: 本发明公开了一种机械手臂气道检测工装及使用方法，工装包括底座；多个转接通气嘴，设置于底座的上方，转接通气嘴连接有接气管；支撑架，与底座可拆卸连接，且支撑架用于封装转接通气嘴；上盖，与底座固定连接。使用方法包括将转接通气嘴放置于底座的贯通槽中，并调整转接通气嘴的位置，将转接通气嘴固定在底座上；将待测机械手臂气道接口与转接通气嘴相连接，并通过支撑架与上盖固定机械手臂；将转接通气嘴与接气管相连接，将接气管与测量设备相连接，通过测量设备对机械手臂气道进行检测本发明可对机械手臂内部气道进行准确检测，保证吸附口出气量合理且均匀，有效减少在传递晶圆的过程中出现滑片现象的概率。
-
公开(公告)号：CN113580339A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110886569.2
申请日：2021-08-03
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种陶瓷生胚加工用工装，设置底板、第一托板和第二托板，通过上述结构组合，实现对整体工装的定位设置，使其能够在卡盘上调整位置，操作简单，使用方便；同时，通过设置多组夹紧单元，实现陶瓷生胚的固定；所述夹紧单元仿形压块和压块螺栓，所述压块螺栓通过设置在所述仿形压块的压块孔以及设置在所述第二托板上的压块螺栓孔固定所述仿形压块，通过手动调节方向压块的位置及固定，使操作人员可以直接感受实现对陶瓷生胚的用力大小，避免卡盘固定陶瓷生胚时无法感受用力大小的缺陷；同时，该工装在成角度的运动交叉，可以快速实现工装定位，进而结合夹紧单元，更进一步实现陶瓷生胚的定位，以实现车床或者机床的加工位。
-
公开(公告)号：CN112008501A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN202010817086.2
申请日：2020-08-14
Applicant: 苏州珂玛材料科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种提高氮化铝陶瓷磨削表面平面度的方法，在经过机床磨削前，先将氮化铝陶瓷部件在碱性溶液中浸泡，在浸泡过程中，碱性溶液与氮化铝发生化学反应，即氮化铝在碱性溶液中发生腐蚀现象，该腐蚀方式为晶粒腐蚀，如图2所示。经过控制合适的碱性溶液浓度、浸泡时间和温度，进而通过增加超声波的超声过程，使得经过浸泡腐蚀后的氮化铝陶瓷在经过清洗后，经过限定磨削的条件，可以实现氮化铝陶瓷部件小于10μm的平面度，进而，本发明的方法，在经过一系列浸泡腐蚀和磨削的条件后达到不使用高精度抛光机的情况下，提高了经过磨削过程的氮化铝陶瓷部件的平面度，降低了生产加工成本。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
88
records
(took 0.083 seconds)
