公开(公告)号：CN1285244C

公开(公告)日：2006-11-15

申请号：CN02106404.0

申请日：2002-02-27

Applicant: 住友电气工业株式会社 ,  株式会社渕上微

Inventor： 改森信吾 ,  野中毅 ,  越牟田聪 ,  鹤ケ崎正人

IPC: H05K3/06 ,  H01L21/306 ,  B32B15/08 ,  G03F7/00

CPC classification number: H05K3/002 ,  Y10T428/24917 ,  Y10T428/31681 ,  Y10T428/31721

Abstract: 本发明公开了一种蚀刻叠层组件的方法，该叠层组件具有通过热塑性聚酰亚胺结合在一起的金属层和非热塑性的聚酰亚胺层，该方法包括使用至少含有碱金属氢氧化物、水和烷氧基胺的蚀刻剂，其中碱金属氢氧化物浓度(X重量%)与水浓度(Y重量%)之间的关系由下列的公式[1]和[2]定义的区域(包括边界线)内的坐标点来表示：Y＝(1/2)X(条件是7≤X≤45) [1]；Y＝(5/20)X+17.5(条件是7≤X≤45) [2]。条件是X和Y是基于碱金属氢氧化物、水及烷氧基胺的总重量为100来表示的。

公开(公告)号：CN1394111A

公开(公告)日：2003-01-29

申请号：CN02106404.0

申请日：2002-02-27

Applicant: 住友电气工业株式会社 ,  株式会社渕上微

Inventor： 改森信吾 ,  野中毅 ,  越牟田聪 ,  鹤ケ崎正人

IPC: H05K3/06 ,  H01L21/306 ,  C09K13/02 ,  B32B15/08

CPC classification number: H05K3/002 ,  Y10T428/24917 ,  Y10T428/31681 ,  Y10T428/31721

Abstract: 本发明公开了一种蚀刻叠层组件的方法，该叠层组件具有通过热塑性聚酰亚胺结合在一起的金属层和非热塑性的聚酰亚胺层，该方法包括使用至少含有碱金属氢氧化物、水和烷氧基胺的蚀刻剂，其中碱金属氢氧化物浓度(X重量％)与水浓度(Y重量％)之间的关系由下列的公式[1]和[2]定义的区域(包括边界线)内的坐标点来表示：Y＝(1/2)X(条件是7≤X≤45)[1]，Y＝(5/20)X+17.5(条件是7≤X≤45)[2]，条件是X和Y是基于碱金属氢氧化物、水及烷氧基胺的总重量为100来表示的。