具有集成特征的传感器组件

    公开(公告)号:CN111855028A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010325826.0

    申请日:2020-04-23

    Abstract: 一种传感器组件(40),包括具有第一构件(44)和第二构件(46)的传感器管芯(42)。第一构件(44)包括在第一构件的相反的表面之间延伸的膜片(54)。多个电感测元件(58)设置在第一构件内,并且沿着第一构件表面定位在膜片(54)附近。第二构件(46)沿着包括电感测元件(58)的表面与第一构件(44)附接。第二构件具有与第一构件形成腔室(76)的凹入部分(75)以适应膜片(54)的偏弯。第一构件包括致动元件(47),该致动元件从表面向外延伸,并且直接定位在膜片(43)上。传感器组件包括金属连接件(56)和触头(60),用于促进电感测元件(58)与传感器管芯的外表面之间的连接,以提供传感器组件的表面安装电连接(70)。

    压差传感器和制造
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109952498A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201780069860.2

    申请日:2017-11-10

    Inventor: D.E.瓦格纳

    Abstract: 一种压差传感器包括第一传感器壳体构件和第二传感器壳体构件,该第一传感器壳体构件具有用于接收第一压力下的第一流体的第一流体入口端口,该第二传感器壳体构件具有用于接收第二压力下的第二流体的第二流体入口端口。一种压力传感子组件包括具有用于传感压力的敏感隔膜的半导体压力传感管芯。压力传感子组件配置为用于插入到压差传感器中,使得一旦被插入则第一流体入口端口与敏感隔膜的第一表面流体连通且第二流体入口端口与敏感隔膜的第二表面流体连通。

    压差感测基座
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106461481A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580010811.2

    申请日:2015-02-27

    Abstract: 一种压差传感器包括压力感测基座,压力感测基座包括半导体基座,半导体基座具有形成膜的减薄部分。膜包括压阻元件,其呈现基于施加在膜上的力的变化的阻抗。第一支撑结构连结到半导体基座的第一表面,具有孔,该孔限定为穿过该支撑结构使得膜的第一表面通过该孔而暴露。第二支撑结构连结到半导体基座的相反侧,并且具有与膜的相反侧对齐的孔。与压阻元件电连通的电气部件布置在由第一和第二支撑元件及半导体基座之间的连结部限定的区域之外。油填充的空间可被限定在半导体基座和恶劣的媒介之间,其将流体压力传递至基座,而恶劣的媒介没有接触基座。

    气泡检测传感器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114762748B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202210030621.9

    申请日:2022-01-12

    Abstract: 一种气泡检测传感器(100),包括具有发射表面(132)的发射器(130)和位于流体导管(300)的与发射器(130)相对的一侧的接收器(150)。接收器(150)具有接收表面(152),其适于接收由发射器(130)发射的经过流体导管(300)的流体(310)的信号。正交于发射表面(132)和接收表面(152)延伸的传感器轴线(S)相对于正交于流体导管(300)的纵向导管轴线(L)延伸的平面(P)以旋转偏移角度(A)设置。旋转偏移角度(A)设置为优化由接收器(150)接收到的信号的灵敏度与由接收器(150)接收到的信号的效率的比率。

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