酸感应性共聚物及其用途

    公开(公告)号:CN1980962A

    公开(公告)日:2007-06-13

    申请号:CN200480006412.0

    申请日:2004-03-05

    CPC classification number: G03F7/0392

    Abstract: 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物,其具有高灵敏度,并且能使用便宜的光酸发生剂,可以近紫外曝光及弱碱显像,具有高分辨率,也能应用于含通孔的基板。该正型光致抗蚀剂组合物由酸感应性共聚物构成,所述酸感应性共聚物包括第1构成单元、第2单元和第3单元,所述第1单元衍生自4-(1-甲基乙烯基)苯酚和/或4-乙烯基苯酚,所述第2单元衍生自(甲基)丙烯酸酯类、所述第3单元衍生自(甲基)丙烯酸烷氧基烷基酯类。

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