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公开(公告)号：CN115398334B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202180027875.9
申请日：2021-04-02
Applicant: 三井化学株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
Abstract: 一种曝光用防护膜，其包含碳纳米管膜，碳纳米管膜含有碳纳米管，碳纳米管膜在波长13.5nm时的EUV光的透射率为80％以上，碳纳米管膜的厚度为1nm以上50nm以下，将碳纳米管膜配置于硅基板上，对于配置后的碳纳米管膜，使用反射分光膜厚度计，以下述条件测定反射率时，反射率的3σ为15％以下。＜条件＞测定点的直径：20μm，基准测定波长：波长285nm，测定点数：121点，相邻的测定点的中心点间距离：40μm。
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公开(公告)号：CN117270314A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311217958.1
申请日：2021-04-02
Applicant: 三井化学株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: G03F1/62 , G03F7/20 , C01B32/168 , C01B32/17 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供曝光用防护膜、防护膜组件、曝光原版、曝光装置及曝光用防护膜的制造方法。一种曝光用防护膜，其包含碳纳米管膜，碳纳米管膜含有碳纳米管，碳纳米管膜在波长13.5nm时的EUV光的透射率为80％以上，碳纳米管膜的厚度为1nm以上50nm以下，将碳纳米管膜配置于硅基板上，对于配置后的碳纳米管膜，使用反射分光膜厚度计，以下述条件测定反射率时，反射率的3σ为15％以下。＜条件＞测定点的直径：20μm，基准测定波长：波长285nm，测定点数：121点，相邻的测定点的中心点间距离：40μm。
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公开(公告)号：CN115398334A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202180027875.9
申请日：2021-04-02
Applicant: 三井化学株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
Abstract: 一种曝光用防护膜，其包含碳纳米管膜，碳纳米管膜含有碳纳米管，碳纳米管膜在波长13.5nm时的EUV光的透射率为80％以上，碳纳米管膜的厚度为1nm以上50nm以下，将碳纳米管膜配置于硅基板上，对于配置后的碳纳米管膜，使用反射分光膜厚度计，以下述条件测定反射率时，反射率的3σ为15％以下。＜条件＞测定点的直径：20μm，基准测定波长：波长285nm，测定点数：121点，相邻的测定点的中心点间距离：40μm。
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公开(公告)号：CN117270313A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311217869.7
申请日：2021-04-02
Applicant: 三井化学株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: G03F1/62 , C01B32/168 , C01B32/17 , B82Y40/00 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供曝光用防护膜、防护膜组件、曝光原版、曝光装置及曝光用防护膜的制造方法。一种曝光用防护膜，其包含碳纳米管膜，碳纳米管膜含有碳纳米管，碳纳米管膜在波长13.5nm时的EUV光的透射率为80％以上，碳纳米管膜的厚度为1nm以上50nm以下，将碳纳米管膜配置于硅基板上，对于配置后的碳纳米管膜，使用反射分光膜厚度计，以下述条件测定反射率时，反射率的3σ为15％以下。＜条件＞测定点的直径：20μm，基准测定波长：波长285nm，测定点数：121点，相邻的测定点的中心点间距离：40μm。
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公开(公告)号：CN108291029B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201680069905.1
申请日：2016-11-30
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G73/16 , C08G69/10 , C08G69/44 , C08L77/04 , C08L101/16
Abstract: 本发明公开了一种共聚物及其制造方法，以及包含该共聚物的树脂组合物，所述共聚物是具有来源于羟基羧酸的结构单元(X)和来源于含有氨基的多元羧酸的结构单元(Y)的非水溶性共聚物，结构单元的摩尔比(X/Y)为2/1≤(X/Y)＜8/1，下式(1)所示的结构单元(Y)的酰胺键比例处于下式(2‑1)～(2‑3)的范围内。酰胺键比例(％)＝A/Asp×100(1)[A＝(Y)中的酰胺键的摩尔数，Asp＝(Y)的摩尔数][2/1≤(X/Y)＜4/1的情况下]酰胺键比例(％)≥25(2‑1)[4/1≤(X/Y)≤6.5/1的情况下]酰胺键比例(％)≥30(2‑2)[6.5/1＜(X/Y)＜8/1的情况下]酰胺键比例(％)≥50(2‑3)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104017152A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410228721.8
申请日：2010-06-30
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G18/42 , C08L75/00 , C08L101/16
CPC classification number: C08L67/04 , C08G18/428 , C08G18/73 , C08G18/757 , C08G63/912 , C08L75/06 , C08G18/4202 , C08L2205/025
Abstract: 本发明涉及一种立体络合物聚乳酸树脂组合物及立体络合物聚乳酸树脂组合物的制造方法，所述立体络合物聚乳酸树脂组合物的重均分子量为70,000～500,000，且满足下述要件(i)～(iv)∶(i)立体结晶化比率为51％以上；在保持温度240℃、保持时间1分钟的差示扫描量热(DSC)测定中；(ii)第一升温过程中的立体化度(S)为60％以上；(iii)第二升温过程中的立体化度(S)为88％以上；(iv)第二升温过程后的重均分子量(Mw)保持率为77％以上。
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公开(公告)号：CN104017152B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201410228721.8
申请日：2010-06-30
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G18/42 , C08L75/00 , C08L101/16
CPC classification number: C08L67/04 , C08G18/428 , C08G18/73 , C08G18/757 , C08G63/912 , C08L75/06
Abstract: 本发明涉及一种立体络合物聚乳酸树脂组合物及立体络合物聚乳酸树脂组合物的制造方法，所述立体络合物聚乳酸树脂组合物的重均分子量为70,000～500,000，且满足下述要件(i)～(iv)∶(i)立体结晶化比率为51％以上；在保持温度240℃、保持时间1分钟的差示扫描量热(DSC)测定中，(ii)第一升温过程中的立体化度(S)为60％以上；(iii)第二升温过程中的立体化度(S)为88％以上；(iv)第二升温过程后的重均分子量(Mw)保持率为77％以上。
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公开(公告)号：CN104017153A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410228722.2
申请日：2010-06-30
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G18/42 , C08L75/00 , C08L101/16
CPC classification number: C08L67/04 , C08G18/428 , C08G18/73 , C08G18/757 , C08G63/912 , C08L75/06 , C08G18/4202 , C08L2205/025
Abstract: 本发明涉及一种聚乳酸树脂组合物，其特征在于，含有以L-乳酸作为主成分的聚乳酸树脂(A-1)和以D-乳酸作为主成分的聚乳酸树脂(A-2)，聚乳酸树脂(A-1)或(A-2)的至少一方为具有酰胺键的聚乳酸树脂(B)，所述聚乳酸树脂(B)是使多异氰酸酯与以L-乳酸作为主成分的乳酸低聚物(a-1)或以D-乳酸作为主成分的乳酸低聚物(a-2)反应得到的。
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公开(公告)号：CN108291029A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680069905.1
申请日：2016-11-30
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G73/16 , C08G69/10 , C08G69/44 , C08L77/04 , C08L101/16
Abstract: 本发明公开了一种共聚物及其制造方法，以及包含该共聚物的树脂组合物，所述共聚物是具有来源于羟基羧酸的结构单元(X)和来源于含有氨基的多元羧酸的结构单元(Y)的非水溶性共聚物，结构单元的摩尔比(X/Y)为2/1≤(X/Y)＜8/1，下式(1)所示的结构单元(Y)的酰胺键比例处于下式(2-1)～(2-3)的范围内。酰胺键比例(％)＝A/Asp×100(1)[A＝(Y)中的酰胺键的摩尔数，Asp＝(Y)的摩尔数][2/1≤(X/Y)＜4/1的情况下]酰胺键比例(％)≥25(2-1)[4/1≤(X/Y)≤6.5/1的情况下]酰胺键比例(％)≥30(2-2)[6.5/1＜(X/Y)＜8/1的情况下]酰胺键比例(％)≥50(2-3)。
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公开(公告)号：CN104619773A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201380046516.3
申请日：2013-09-05
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08L67/04 , C08L67/00 , C08L77/12 , C08J3/05 , C08L101/16
Abstract: 本发明的水性分散液是使微细固体状的生物降解性树脂组合物(C)分散在水性介质中而成的，所述生物降解性树脂组合物(C)含有由来源于多元羧酸的构成单元(a-1)和来源于羟基羧酸的构成单元(a-2)构成的共聚物(A)、以及生物降解性树脂(B)，在将共聚物(A)和生物降解性树脂(B)的合计量设为100时，共聚物(A)与生物降解性树脂(B)的质量组成比[(A)/(B)]为1/99～100/0。
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