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公开(公告)号：CN1400995A
公开(公告)日：2003-03-05
申请号：CN01804918.4
申请日：2001-12-12
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
CPC classification number: B24D3/346 , C01F17/00 , C01F17/0043 , C01P2002/54 , C01P2002/72 , C01P2002/77 , C01P2002/78 , C09G1/02 , C09K3/1409 , G01N23/20
Abstract: 本发明旨在提供一种能形成高精度的研磨面、切削性良好的铈系研磨材料。还提供一种能比较简易地评价铈系研磨材料的方法。为了达到上述目的，使含有40重量％以上(与全部稀土类氧化物的比例)氧化铈的铈系研磨材料中，对应于铈系研磨材料的重量含有以原子重量换算的0.5～10重量％的氟，同时还含有由粉末X射线衍射法测得的晶格常数为0.544～0.560nm的结晶构成的研磨粒子。本发明的铈系研磨材料的评价方法是取作为评价对象的铈系研磨材料，用粉末X射线衍射法对其进行分析，从规定的四个不同区域出现的最大峰中，求出至少1个最大峰的衍射角(θ)，再由此算出构成研磨粒子的结晶的晶格常数。
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公开(公告)号：CN1202197C
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN01804918.4
申请日：2001-12-12
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
CPC classification number: B24D3/346 , C01F17/00 , C01F17/0043 , C01P2002/54 , C01P2002/72 , C01P2002/77 , C01P2002/78 , C09G1/02 , C09K3/1409 , G01N23/20
Abstract: 本发明旨在提供一种能形成高精度的研磨面、切削性良好的铈系研磨材料。还提供一种能比较简易地评价铈系研磨材料的方法。为了达到上述目的，使含有40重量%以上(与全部稀土类氧化物的比例)氧化铈的铈系研磨材料中，对应于铈系研磨材料的重量含有以原子重量换算的0.5～10重量%的氟，同时还含有由粉末X射线衍射法测得的晶格常数为0.544～0.560nm的结晶构成的研磨粒子。本发明的铈系研磨材料的评价方法是取作为评价对象的铈系研磨材料，用粉末X射线衍射法对其进行分析，从规定的四个不同区域出现的最大峰中，求出至少1个最大峰的衍射角(θ)，再由此算出构成研磨粒子的结晶的晶格常数。
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公开(公告)号：CN1464901A
公开(公告)日：2003-12-31
申请号：CN01815781.5
申请日：2001-09-18
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
IPC: C09K3/14 , C01F17/00 , B24B37/00 , H01L21/304
CPC classification number: C01F17/0018 , C01F17/0012 , C01P2002/72 , C01P2002/74 , C01P2006/12 , C01P2006/80 , C09K3/1409
Abstract: 本发明提供了铈系研磨材料的品质检验方法，该方法能对铈系研磨材料的研磨特性简便地进行品质检验。具体地说，该方法是使用X射线衍射测定法的品质检验方法，例如根据由对应于LnxOy的峰强A与对应于LnF3的峰强B求出的B/A来进行品质检验。本发明还提供了可获得具有给定研磨特性的铈系研磨材料的铈系研磨材料制造方法、以及具有与用途对应的给定研磨特性的铈系研磨材料。
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公开(公告)号：CN1300276C
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN01815781.5
申请日：2001-09-18
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
IPC: C09K3/14 , C01F17/00 , B24B37/00 , H01L21/304
CPC classification number: C01F17/0018 , C01F17/0012 , C01P2002/72 , C01P2002/74 , C01P2006/12 , C01P2006/80 , C09K3/1409
Abstract: 本发明提供了铈系研磨材料的品质检验方法，该方法能对铈系研磨材料的研磨特性简便地进行品质检验。具体地说，该方法是使用X射线衍射测定法的品质检验方法，例如根据由对应于LnxOy的峰强A与对应于LnF3的峰强B求出的B/A来进行品质检验。本发明还提供了可获得具有给定研磨特性的铈系研磨材料的铈系研磨材料制造方法、以及具有与用途对应的给定研磨特性的铈系研磨材料。
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