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公开(公告)号:CN100447218C
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN200480000774.9
申请日:2004-03-12
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
CPC classification number: C09K3/1409
Abstract: 本发明的目的是提供研磨速度更高,损伤发生更少的铈系研磨材料。本发明的铈系研磨材料是以氟(F)和稀土类氧化物为主成分的铈系研磨材料,前述稀土类氧化物中所含的稀土类元素至少有铈、镧、镨和钕,并且在该铈系研磨材料中,氧化钕的重量占总稀土类氧化物换算重量(TREO)的比例(Nd2O3/TREO)为0.001重量%~5重量%。使用该研磨材料研磨玻璃等研磨对象面,则与使用以往的铈系研磨材料相比,能够以更短的时间进行研磨。而且,能够更切实地防止在经研磨所得到的研磨面上产生损伤。
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公开(公告)号:CN1701108A
公开(公告)日:2005-11-23
申请号:CN200480000774.9
申请日:2004-03-12
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
CPC classification number: C09K3/1409
Abstract: 本发明的目的是提供研磨速度更高,损伤发生更少的铈系研磨材料。本发明的铈系研磨材料是以氟(F)和稀土类氧化物为主成分的铈系研磨材料,前述稀土类氧化物中所含的稀土类元素至少有铈、镧、镨和钕,并且在该铈系研磨材料中,氧化钕的重量占总稀土类氧化物换算重量(TREO)的比例(Nd2O3/TREO)为0.001重量%~5重量%。使用该研磨材料研磨玻璃等研磨对象面,则与使用以往的铈系研磨材料相比,能够以更短的时间进行研磨。而且,能够更切实地防止在经研磨所得到的研磨面上产生损伤。
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