喷墨打印装置、偶极子对准方法和显示装置制造方法

    公开(公告)号:CN113272145A

    公开(公告)日:2021-08-17

    申请号:CN201980087762.0

    申请日:2019-03-13

    Abstract: 提供喷墨打印装置、偶极子对准方法和显示装置制造方法。所述喷墨打印装置包括:载物台单元,包括载物台;喷墨头单元,包括将墨水喷射到所述载物台上的喷墨头中的至少一者,所述墨水包含偶极子和其中分散有所述偶极子的溶剂;热处理装置,用于去除喷射到所述载物台上的所述溶剂;第一感测单元,用于测量从所述喷墨头喷射到所述载物台上的所述墨水的位置;第二感测单元,用于测量所述喷墨头的位置;以及第三感测单元,用于测量喷射到所述载物台上的所述偶极子的位置。

    喷墨印刷设备和用于使用喷墨印刷设备检查喷墨头的方法

    公开(公告)号:CN115066334B

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202080096049.5

    申请日:2020-06-02

    Abstract: 提供了一种喷墨印刷设备和用于使用该喷墨印刷设备检查喷墨头的方法。喷墨印刷设备包括:检查台单元,检查基底位于检查台单元上;喷墨头单元,包括至少一个喷墨头,所述至少一个喷墨头在检查台单元上喷射包含溶剂和分散在溶剂中的偶极子的墨;以及颗粒计数检查单元,设置为在一个方向上与喷墨头单元间隔开。颗粒计数检查单元包括:第一热处理单元,设置在检查台单元的顶部上;以及第一感测单元,设置在检查台单元的底部上并且测量喷射到检查基底上的偶极子的数量。

    喷墨印刷设备和使用喷墨印刷设备的印刷方法

    公开(公告)号:CN116113546A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202180057324.7

    申请日:2021-07-26

    Abstract: 提供一种喷墨印刷设备及使用该喷墨印刷设备的印刷方法。本发明包括:载物台,包括衬底安置部分,在衬底安置部分上安置有用于喷墨印刷设备的衬底;印刷头单元,定位在载物台上方,用于喷涂包含多个颗粒的墨水;以及抽吸设备,定位在衬底安置部分的多侧,并且构成为在上方的区域中产生声压。

    沉积装置及沉积方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106783714A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201610261222.8

    申请日:2016-04-25

    CPC classification number: H01L21/687 H01L21/02104 H01L21/6831

    Abstract: 提供了沉积装置及沉积方法。作为示例,沉积装置包括:多个衬底支承部,支承衬底的两端部并配置成能够上升和下降移动;多个衬底夹持部,与所述衬底的两端部重叠地布置在所述多个衬底支承部中的每个的上方并配置成能够上升和下降移动;多个拉伸块,布置在所述各衬底支承部与所述各衬底夹持部之间,并且所述多个拉伸块在所述各衬底夹持部下降移动时彼此远离地水平移动从而拉伸所述衬底;以及多个推杆,能够上升和下降移动地布置在所述各拉伸块内部并通过下降移动使所述各拉伸块彼此远离地水平移动。

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