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公开(公告)号：CN104733496B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201410690142.5
申请日：2014-11-25
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本发明公开了一种利用用于在基底上形成有机层的沉积设备来制造有机发光显示设备的方法，所述方法包括：在装载单元中将基底固定到用于形成公共层的掩模组件或用于形成图案层的掩模组件；当沉积设备的沉积单元中的一个或更多个沉积组件与基底分离时，在通过第一传送单元使基底相对于所述一个或更多个沉积组件移动的同时，通过将从所述一个或更多个沉积组件排出的沉积材料沉积到基底上来形成中间层；以及在卸载单元中将完成了沉积的基底与用于形成公共层的掩模组件或用于形成图案层的掩模组件分离。
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公开(公告)号：CN103774095B
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201310067210.8
申请日：2013-03-04
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明涉及线性沉积源及包括该线性沉积源的真空沉积装置。本发明的线性沉积源包括：坩埚，存储蒸发物质；加热部，加热所述坩埚；及侧面反射器。所述侧面反射器包围所述加热部的侧面，设置为多个。多个所述侧面反射器分别包括第一反射器及第二反射器。所述第一反射器与所述加热部隔开而结合，具有多个第一开口。所述第二反射器能够移动地与所述第一反射器结合，具有第二开口。多个所述侧面反射器的开口率是相互独立地调节的，因此能够按区域调节所述坩埚的温度，结果是能够提高线性沉积源的沉积均匀度。
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公开(公告)号：CN110739243A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201910536598.9
申请日：2019-06-20
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L51/56
Abstract: 提供了用于制造显示设备的设备和方法。所述设备包括：腔室，被构造成在其中容纳第一显示基底和第二显示基底；沉积源，位于腔室中并包括多个坩埚，所述多个坩埚被构造成移动并向第一显示基底或第二显示基底供应至少两种沉积材料；掩模组件，布置在第一显示基底或第二显示基底与沉积源之间；以及挡板部分，布置在掩模组件与沉积源之间并被构造成控制从所述多个坩埚供应的所述至少两种沉积材料的量。
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公开(公告)号：CN110106479A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910079736.5
申请日：2019-01-28
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/34 , C23C14/50 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/513 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开一种显示装置的制造装置。本发明包括：源部，产生电场或磁场；载体，与所述源部相面对地布置，并且固定显示基板；位置调节部，与所述载体相隔地布置，并且沿第一方向调节所述载体的位置；载体移送部，沿第二方向移送所述载体；载体引导部，与所述载体相隔地布置，并调整所述载体的位置；以及屏蔽部，布置于所述位置调节部、所述载体移送部和所述载体引导部中的至少一个，从而阻断从所述位置调节部、所述载体移送部和所述载体引导部中的至少一个产生的磁场。
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公开(公告)号：CN103774095A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201310067210.8
申请日：2013-03-04
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/243
Abstract: 本发明涉及线性沉积源及包括该线性沉积源的真空沉积装置。本发明的线性沉积源包括：坩埚，存储蒸发物质；加热部，加热所述坩埚；及侧面反射器。所述侧面反射器包围所述加热部的侧面，设置为多个。多个所述侧面反射器分别包括第一反射器及第二反射器。所述第一反射器与所述加热部隔开而结合，具有多个第一开口。所述第二反射器能够移动地与所述第一反射器结合，具有第二开口。多个所述侧面反射器的开口率是相互独立地调节的，因此能够按区域调节所述坩埚的温度，结果是能够提高线性沉积源的沉积均匀度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118748158A
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202410774621.9
申请日：2019-07-24
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 提供了一种用于制造显示装置的方法。用于制造显示装置的方法包括：将显示面板和掩模组件布置在腔室中；将沉积材料从多个源单元中的至少一个源单元供应到腔室中，并将沉积材料沉积在显示面板上；测量多个源单元中的至少一个源单元的内部温度；将多个源单元中的至少一个源单元的测量的内部温度与预设温度进行比较；使从多个源单元中的至少一个源单元供应到腔室中的沉积材料中断；以及将沉积材料从多个源单元中的至少另一源单元供应到腔室中。
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公开(公告)号：CN110783225B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN201910669080.2
申请日：2019-07-24
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 提供了一种用于制造显示装置的设备。所述用于制造显示装置的设备包括：腔室；多个源单元，位于腔室的外部，其中，多个源单元容纳沉积材料并将沉积材料转化为气体；喷嘴单元，位于腔室中，其中，喷嘴单元连接到多个源单元，并且将从多个源单元中的一个源单元供应的沉积材料喷射到腔室中；以及调节单元，位于多个源单元中的每个源单元与喷嘴单元之间，其中，调节单元使从多个源单元中的每个源单元供应到喷嘴单元的沉积材料中断，并且选择性地将多个源单元与喷嘴单元连接。
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公开(公告)号：CN110117770A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201811357355.0
申请日：2018-11-15
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本发明公开一种有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法。本发明的有机物沉积装置设置于真空腔室内，并包括：沉积物质供应部；容器部，存储从沉积物质供应部供应的沉积物质；气化部，在内部设置有使沉积物质气化的第一加热器；移送部，结合于容器部，借助直线往复运动而将容器部移送至所述气化部的内部；以及喷嘴部，与气化部分离布置，且借助连接管而与气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。
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公开(公告)号：CN106783714A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201610261222.8
申请日：2016-04-25
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/687 , H01L21/02104 , H01L21/6831
Abstract: 提供了沉积装置及沉积方法。作为示例，沉积装置包括：多个衬底支承部，支承衬底的两端部并配置成能够上升和下降移动；多个衬底夹持部，与所述衬底的两端部重叠地布置在所述多个衬底支承部中的每个的上方并配置成能够上升和下降移动；多个拉伸块，布置在所述各衬底支承部与所述各衬底夹持部之间，并且所述多个拉伸块在所述各衬底夹持部下降移动时彼此远离地水平移动从而拉伸所述衬底；以及多个推杆，能够上升和下降移动地布置在所述各拉伸块内部并通过下降移动使所述各拉伸块彼此远离地水平移动。
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公开(公告)号：CN118726914A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410774617.2
申请日：2019-07-24
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 提供了一种用于制造显示装置的设备。所述用于制造显示装置的设备包括：腔室；多个源单元，位于腔室的外部，其中，多个源单元容纳沉积材料并将沉积材料转化为气体；喷嘴单元，位于腔室中，其中，喷嘴单元连接到多个源单元，并且将从多个源单元中的一个源单元供应的沉积材料喷射到腔室中；以及调节单元，位于多个源单元中的每个源单元与喷嘴单元之间，其中，调节单元使从多个源单元中的每个源单元供应到喷嘴单元的沉积材料中断，并且选择性地将多个源单元与喷嘴单元连接。
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