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公开(公告)号:CN119619156A
公开(公告)日:2025-03-14
申请号:CN202411278023.9
申请日:2024-09-12
Applicant: 三星显示有限公司 , 弥耀泰科韩国有限公司
Abstract: 一种缺陷检查装置包括:第一单元、第二单元和第三单元,分别向样品架照射第一检查光、第二检查光和第三检查光;相机,包括使用时间延迟积分生成在样品架上线性移动的样品的图像的单个图像传感器;以及检测器,基于由相机提供的第一图像、第二图像和第三图像检测样品的缺陷,其中,第一检查光、第二检查光和第三检查光同时向样品架照射,并且其中,单个图像传感器包括:第一部分、第二部分和第三部分,第一部分生成通过第一检查光拍摄的样品的第一图像,第二部分生成通过第二检查光拍摄的样品的第二图像,并且第三部分生成通过第三检查光拍摄的样品的第三图像。
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公开(公告)号:CN116581105A
公开(公告)日:2023-08-11
申请号:CN202310140389.9
申请日:2023-02-08
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L23/544 , H01L33/62
Abstract: 根据本发明的实施例的发光元件测试装置包括:台,支承包括多个发光堆叠图案的基板;电源部,向多个发光堆叠图案提供电流;第一探头,向多个发光堆叠图案中的一部分发光堆叠图案的p型半导体层提供空穴;第二探头,向多个发光堆叠图案的n型半导体层提供电子;以及光检测部,接收从一部分发光堆叠图案发射的光。第一探头包括:第一主体部;导电弹性聚合物,布置在第一主体部的下端部处;以及导电金属膜,布置在导电弹性聚合物的一表面上。
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